Vacuümpomp toegepast op de veiligheid van halfgeleiderprocessen, waterringvacuümpompventielflensaansluiting
In de afgelopen decennia, met de snelle ontwikkeling van de halfgeleidertechnologie, wordt ook halfgeleiderapparatuur generatie na generatie geïnnoveerd en ontwikkeld. Tegenwoordig omvat de vervaardiging en het gebruik van halfgeleiderapparatuur een verscheidenheid aan chemische elementen en vele andere aspecten van hoogwaardige technologie, met een sterk technisch alomvattend karakter. Niet alleen als zodanig integreert de ontwikkeling van de technologie van halfgeleiderapparatuur geleidelijk de modularisering van de procestechnologie in de apparatuur, waardoor deze sterk geautomatiseerd en zeer intelligent wordt, waardoor geleidelijk de situatie van natuurlijke scheiding van apparatuur en proces verandert en altijd voorop loopt in de ontwikkeling van de halfgeleidersysteemproductie-industrie, die een bijzondere belangrijke rol speelt. Met de verdere ontwikkeling van halfgeleiderapparatuur wordt het toepassingsgebied ervan steeds breder. Op andere gebieden van de vervaardiging van elektronische apparaten wordt halfgeleiderapparatuur of apparatuur die is voortgekomen uit halfgeleiderapparatuur in verschillende mate ook toegepast, waardoor het een nieuw toepassingsgebied voor halfgeleiderapparatuur wordt. Vooral op het gebied van micro-/nano-elektronische apparaten, micro-/nano-opto-elektromechanische systemen en andere producten die extreem klein van formaat en met hoge precisie worden vervaardigd, is dit van uiterst belangrijke betekenis voor de ontwikkeling van elektronische componenten.
Halfgeleiderprocesvacuüm wordt voornamelijk gebruikt bij verdamping, sputteren, PECVD, vacuümdroogetsen, vacuümadsorptie, testapparatuur, stofzuigen en andere hechtingsprocessen. De productie van halfgeleiders en het productieproces produceren gemakkelijk ontvlambaar, explosief en giftig materiaalgas en vormen een bedreiging voor productie en personeelsveiligheid, daarom moet bij de toepassing van halfgeleidervacuümpompen aandacht worden besteed aan verschillende veiligheidskwesties:
1. Filter en reinig de vacuümpomp en andere accessoires, filter en leiding op tijd om overdruk te voorkomen:
Bij de toepassing van een halfgeleidervacuümpomp kan de samenstelling van het medium dat door de reactiekamer en de vacuümpomp wordt geëxtraheerd uiterst complex zijn. SiH4 en O2 vormen bijvoorbeeld SiO2 bij de pomppoort, en de hydrolyse van TiCl4 zal HCl vormen; Ervan uitgaande dat het een mechanische pomp van het oliekeerringtype betreft, kunnen deze gassubstanties ook met de pompolie worden omgedraaid. Deze veranderingen veronderstellen de vorming van deeltjes, coaguleerbaar materiaal of erosieve media, die de vacuümpomp of het leidingsysteem kunnen verstoppen, de werking van de vacuümpomp kunnen beïnvloeden, drukstijging of overdruk kunnen veroorzaken, en het in het tweede punt genoemde risico is groter. Daarom is het noodzakelijk om op tijd schoon te maken en indien nodig filterapparatuur op te zetten.
2, effectieve verdunning van schadelijke gasconcentratie:
Halfgeleiders zijn geneigd de bovengenoemde ontvlambare en explosieve, giftige en schadelijke gassen te produceren. Daarom is het bij de toepassing van halfgeleidervacuümpompen bij het extraheren van deze media noodzakelijk om te voorkomen dat ze oncontroleerbare reacties in de vacuümpomp of in het uitlaatproces veroorzaken. Zoals SiH4, PH3, AsH3, B2H6 en andere stoffen zullen in contact met lucht of zuurstof verbranding veroorzaken of zelfs; Waterstofgas brandt ook als de mengverhouding in de lucht een bepaalde temperatuur bereikt. Het hangt allemaal af van de hoeveelheid van de stof en de relatie ervan met de druk en temperatuur van de omgeving. Wanneer de halfgeleidervacuümpomp deze media extraheert, moet deze daarom een inert gas, zoals stikstof, gebruiken om deze gassen tot een veilig bereik te verdunnen voordat ze worden gecomprimeerd.
3. Let op de zuurstofconcentratie:
Als het zuurstofgehalte in de lucht te hoog is, treden er verbranding en risico op. Daarom moet in sommige gevallen aandacht worden besteed aan de zuurstofconcentratie, waarbij inert gas wordt gebruikt om te verdunnen, om een te hoge concentratie te voorkomen; Ervan uitgaande dat de mechanische pomp van de oliekeerring mogelijk ook wat inerte en zuurstofcompatibele vacuümpompolie moet gebruiken, en tijdige vervanging van oliefilters en olieproducten.
4, voorkomen dat de temperatuur te hoog is:
Dit punt is gemakkelijk te begrijpen. Bij de toepassing van halfgeleiders in vacuümpompen zijn er meer schadelijke gassen. Of de droge vacuümpomp nog steeds een mechanische pomp met oliekeerringen is, de temperatuur in de pompkamer is te hoog en ontvlambaar en explosief en du-gas zal gemakkelijk gevaarlijk zijn bij hoge temperaturen.
De bovenstaande 4 aspecten zijn de belangrijkste veiligheidskwesties bij de toepassing van halfgeleidervacuümpompen. Over het algemeen moeten mechanische pompen met oliekeerringen aandacht besteden aan meer veiligheidsdetails dan droge vacuümpompen; afvoer is complexer. Wanneer we vacuümpompen gebruiken, moeten we aandacht besteden aan de veiligheidsmaatregelen in de geleider en goed werk doen in de bedieningshandleiding bij later gebruik. Vanwege de kleine problemen op het gebied van bediening, output, efficiëntie en veiligheid moeten we de levensduur van de vacuümpomp verlengen, ernaar streven de balans te coördineren en efficiëntie en veiligheid te garanderen.
Waterring vacuümpomp klepflens aansluitvorm
Afhankelijk van de vorm van het gewrichtsoppervlak kan het worden onderverdeeld in de volgende typen:
1, O-ringtype: dit is een nieuw type waterringvacuümpompflensverbindingsvorm, gevolgd door een verscheidenheid aan rubberen O-ringontwikkeling, het is betrouwbaarder wat betreft afdichtingseffect dan de algemene platte ring
2, trapeziumvormige groeftype: waterring vacuümpomp klepflensaansluiting met ovale metalen ring als ring, gebruikt voor werkdruk 64 kg/cm2 klep of hoge temperatuur klep
3. Insteek- en groeftype: de pakking met grote plastische vervorming kan in het corrosieve medium worden gebruikt. Het afdichtende effect van de waterringvacuümpomp is beter
4. Concaaf en convex type: de werkdruk van de waterringvacuümpomp is hoger en de harde wasmachine kan worden gebruikt
5, lenstype: de ring heeft de vorm van de lens, gemaakt van metaal. Hogedrukkleppen of hogetemperatuurkleppen met een werkdruk van 100kg/cm2
6, glad type: voor de druk is geen hoge klep, verwerking handiger
Waterringvacuümpompflensverbinding is er in vele vormen, maar ze hebben verschillende gelegenheden. Bij gebruik moeten we aandacht besteden aan de geschiktheid van de gelegenheid, het effect van de verbinding garanderen, geen verbindingsfouten veroorzaken, wat resulteert in schade aan het water ringvacuümpomp
Posttijd: 07-jan-2023
