Vakuumpumpe brukt på halvlederprosessens sikkerhet betyr vannringvakuumpumpeventilflenstilkobling
I løpet av de siste tiårene, med den raske utviklingen av halvlederteknologi, er halvlederutstyr også i generasjon etter generasjon innovasjon og utvikling. I dag involverer produksjon og bruk av halvlederutstyr en rekke kjemiske elementer og mange andre aspekter av høyteknologi, med en sterk teknisk omfattende. Ikke bare som sådan integrerer utviklingen av halvlederutstyrsteknologi gradvis prosessteknologimodulariseringen i utstyret, noe som gjør det svært automatisert og svært intelligent, gradvis endrer situasjonen for naturlig separasjon av utstyr og prosess, og går alltid i forkant av utviklingen. av halvledersystemer produksjonsindustrien, spiller en spesiell viktig rolle. Med videreutviklingen av halvlederutstyr blir bruksområdet mer og mer bredt. I andre felt for produksjon av elektroniske enheter blir halvlederutstyr eller utstyr utviklet fra halvlederutstyr også tatt i bruk i varierende grad, og blir et nytt felt for bruk av halvlederutstyr. Spesielt innen mikro/nano elektroniske enheter, mikro/nano optoelektromekaniske systemer og andre produktproduksjonsfelt av ekstremt liten størrelse og høy presisjon, har det ekstremt viktig betydning for utviklingen av elektroniske komponenter.
Halvlederprosessvakuum brukes hovedsakelig i fordampning, sputtering, PECVD, vakuumtørretsing, vakuumadsorpsjon, testutstyr, støvsuging og andre bindingsprosesser, halvlederproduksjon og produksjonsprosess som lett produserer brennbar, eksplosiv og giftig gass, vil utgjøre en trussel mot produksjon og personalsikkerhet, derfor må bruken av halvledervakuumpumpe ta hensyn til flere sikkerhetsspørsmål:
1. Filtrer og rengjør vakuumpumpe og annet tilbehør, filter og rør etter planen for å unngå overtrykk:
Ved bruk av halvledervakuumpumpe kan sammensetningen av mediet ekstrahert gjennom reaksjonskammeret og vakuumpumpen være ekstremt kompleks. For eksempel danner SiH4 og O2 SiO2 ved pumpeporten, og hydrolysen av TiCl4 vil danne HCl; Forutsatt at oljetetningstypen mekanisk pumpe, kan disse gassstoffene også reverseres med pumpeoljen. Disse endringene forutsetter dannelse av partikler, koagulerbart materiale eller erosive medier, som kan tette til vakuumpumpen eller rørsystemet, påvirke vakuumpumpens funksjon, forårsake trykkøkning eller overtrykk, og risikoen nevnt i det andre punktet er større. Derfor er det nødvendig å rengjøre i tide, og sette opp filtreringsutstyr når det er nødvendig.
2, effektiv fortynning av skadelig gasskonsentrasjon:
Halvleder er tilbøyelig til å produsere de ovennevnte brennbare og eksplosive, giftige og skadelige gassene. Derfor, ved bruk av en halvledervakuumpumpe, når du trekker ut disse mediene, er det nødvendig å forhindre at de har noen ukontrollerbare reaksjoner i vakuumpumpen eller i eksosprosessen. Slik som SiH4, PH3, AsH3, B2H6 og andre stoffer, i kontakt med luft eller oksygen, vil forårsake forbrenning eller til og med; Hydrogengass brenner også når blandingsforholdet i luften når en viss temperatur. Alt avhenger av mengden av stoffet og dets forhold til trykket og temperaturen i miljøet. Derfor, når halvledervakuumpumpen trekker ut disse mediene, må den bruke en inert gass, for eksempel nitrogen, for å fortynne disse gassene til et trygt område før komprimering.
3. Vær oppmerksom på konsentrasjonen av oksygen:
Hvis oksygen i luften er for høy, vil det oppstå forbrenning og risiko. Derfor, i noen tilfeller, bør oppmerksomhet rettes mot konsentrasjonen av oksygen, ved å bruke inert gass for å fortynne, for å forhindre for høy konsentrasjon; Forutsatt at oljetetningens mekaniske pumpe også må bruke litt inert og oksygenkompatibel vakuumpumpeolje, og rettidig utskifting av oljefiltre og oljeprodukter.
4, unngå for høy temperatur:
Det er lett å forstå dette poenget. Ved bruk av halvleder i vakuumpumpe er det flere skadelige gasser. Enten tørrvakuumpumpe fortsatt er en mekanisk oljetetningspumpe, er temperaturen i pumpekammeret for høy, og brannfarlig og eksplosiv og du gass vil lett være farlig ved høy temperatur.
Ovennevnte 4 aspekter er de viktigste sikkerhetsspørsmålene ved bruk av halvledervakuumpumpe. Generelt må mekaniske pumper med oljetetninger ta hensyn til flere sikkerhetsdetaljer enn tørre vakuumpumper, avhending er mer kompleks. Når vi bruker vakuumpumper, må vi ta hensyn til sikkerhetsreglene i lederen, og gjøre en god jobb i bruksanvisningen ved senere bruk. På grunn av de små problemene med drift, ytelse, effektivitet og sikkerhet er knyttet sammen, bør vi forlenge levetiden til vakuumpumpen, strebe etter å koordinere balanse, sikre effektivitet og sikkerhet.
Vannring vakuumpumpe ventil flens tilkoblingsform
I henhold til formen på leddflaten kan den deles inn i følgende typer:
1, O-ring type: dette er en ny type vannring vakuumpumpe flens tilkoblingsform, etterfølges av en rekke gummi O-ring utvikling, den er mer pålitelig i tetningseffekt enn den generelle flate skiven
2, trapesformet sportype: vannring vakuumpumpeventilflenstilkobling med oval metallring som skive, brukt for arbeidstrykk 64 kg/cm2 ventil eller høytemperaturventil
3. Innskjærings- og sportype: Pakningen med stor plastisk deformasjon kan brukes i det korrosive mediet. Forseglingseffekten til vannringvakuumpumpe er bedre
4. Konkav og konveks type: arbeidstrykket til vannringvakuumpumpen er høyere, og den harde vaskemaskinen kan brukes
5, linsetype: skiven er formen på linsen, laget av metall. Høytrykksventiler eller høytemperaturventiler med arbeidstrykk på 100kg/cm2
6, glatt type: for trykket er ikke høy ventil, behandling mer praktisk
Vannring vakuumpumpe flenstilkobling er det er mange former, men de har forskjellige anledninger, i bruk, bør vi ta hensyn til egnetheten til anledningen, sikre effekten av tilkoblingen, ikke forårsake tilkoblingsfeil, noe som resulterer i skade på vannet ringvakuumpumpe
Innleggstid: Jan-07-2023
