ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିରାପତ୍ତା ପାଇଁ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଉଥିବା ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ୱାଟର ରିଙ୍ଗ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଭଲଭ୍ ଫ୍ଲେଞ୍ଜ୍ ସଂଯୋଗ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ସୁରକ୍ଷା ପାଇଁ ପ୍ରୟୋଗ ହୋଇଥିବା ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ୱାଟର ରିଙ୍ଗ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ |ଭଲଭ୍ |ଫ୍ଲେଞ୍ଜ୍ ସଂଯୋଗ

ବିଗତ ଦଶନ୍ଧି ମଧ୍ୟରେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ଦ୍ରୁତ ବିକାଶ ସହିତ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଯନ୍ତ୍ରପାତି ମଧ୍ୟ ପି generation ଼ିରେ ନବସୃଜନ ଏବଂ ବିକାଶ ପରେ | ଆଜିକାଲି, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବ୍ୟବହାରରେ ବିଭିନ୍ନ ରାସାୟନିକ ଉପାଦାନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ବ technology ଷୟିକ ଜ୍ଞାନର ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଦିଗ ରହିଛି, ଏକ ବ technical ଷୟିକ ବିସ୍ତୃତ ସହିତ | କେବଳ ସେତିକି ନୁହେଁ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଯନ୍ତ୍ରପାତି ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ବିକାଶ ଧୀରେ ଧୀରେ ଉପକରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମଡ୍ୟୁଲାରାଇଜେସନକୁ ଯନ୍ତ୍ରରେ ଏକୀଭୂତ କରେ, ଏହାକୁ ଅତ୍ୟଧିକ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ ବୁଦ୍ଧିମାନ କରେ, ଧୀରେ ଧୀରେ ଉପକରଣ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ପ୍ରାକୃତିକ ପୃଥକତା ସ୍ଥିତିକୁ ବଦଳାଇଲା ଏବଂ ସର୍ବଦା ବିକାଶର ଅଗ୍ରଭାଗରେ ଚାଲିଲା | ଏକ ବିଶେଷ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରୁଥିବା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସିଷ୍ଟମ ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପର | ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣର ପରବର୍ତ୍ତୀ ବିକାଶ ସହିତ ଏହାର ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ର ଅଧିକରୁ ଅଧିକ ପ୍ରଶସ୍ତ ହୋଇଯାଏ | ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବ electronic ଦ୍ୟୁତିକ ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ କିମ୍ବା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣରୁ ବିକଶିତ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟ ବିଭିନ୍ନ ସ୍ତରରେ ଗ୍ରହଣ କରାଯାଏ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ପ୍ରୟୋଗର ଏକ ନୂତନ କ୍ଷେତ୍ର ହୋଇଗଲା | ବିଶେଷକରି ମାଇକ୍ରୋ / ନାନୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣ, ମାଇକ୍ରୋ / ନାନୋ ଅପ୍ଟୋଲେକ୍ଟ୍ରୋମେକାନିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅତି ଛୋଟ ଆକାର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା, ଏହାର ବ electronic ଦ୍ୟୁତିକ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ବିକାଶ ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ମୁଖ୍ୟତ ev ବାଷ୍ପୀକରଣ, ସ୍ପୁଟର୍, PECVD, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଶୁଖିଲା ଇଚିଂ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆଡସର୍ପସନ୍, ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସଫା କରିବା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସହଜରେ ଜାଳେଣୀ, ବିସ୍ଫୋରକ ଏବଂ ବିଷାକ୍ତ ପଦାର୍ଥ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ପାଦନ କରେ | ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ କର୍ମଚାରୀଙ୍କ ସୁରକ୍ଷା, ତେଣୁ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର ପ୍ରୟୋଗ ଅନେକ ସୁରକ୍ଷା ବିଷୟ ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଆବଶ୍ୟକ:

1. ଅଧିକ ଚାପକୁ ଏଡାଇବା ପାଇଁ କାର୍ଯ୍ୟସୂଚୀରେ ଫିଲ୍ଟର୍ ଏବଂ ସଫା କରନ୍ତୁ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଆନୁଷଙ୍ଗିକ, ଫିଲ୍ଟର୍ ଏବଂ ପାଇପ୍:

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର ପ୍ରୟୋଗରେ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ମାଧ୍ୟମରେ ବାହାର କରାଯାଇଥିବା ମାଧ୍ୟମର ରଚନା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜଟିଳ ହୋଇପାରେ | ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ପମ୍ପ ବନ୍ଦରରେ SiH4 ଏବଂ O2 SiO2 ଗଠନ କରେ, ଏବଂ TiCl4 ର ହାଇଡ୍ରୋଲାଇସିସ୍ HCl ଗଠନ କରିବ; ମନେକରନ୍ତୁ ତେଲ ସିଲ୍ ପ୍ରକାର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ, ଏହି ଗ୍ୟାସ୍ ପଦାର୍ଥଗୁଡିକ ପମ୍ପ ତେଲ ସହିତ ଓଲଟା ହୋଇପାରେ | ଏହି ପରିବର୍ତ୍ତନଗୁଡ଼ିକ କଣିକା, ଜମାଟ ବାନ୍ଧୁଥିବା ପଦାର୍ଥ, କିମ୍ବା କ୍ଷତିକାରକ ମିଡିଆ ଗଠନକୁ ଅନୁମାନ କରେ, ଯାହା ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ କିମ୍ବା ପାଇପ୍ ସିଷ୍ଟମକୁ ବନ୍ଦ କରିପାରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ, ଚାପ ବ or ଼ିବା କିମ୍ବା ଅତ୍ୟଧିକ ଚାପ ସୃଷ୍ଟି କରିଥାଏ ଏବଂ ଦ୍ୱିତୀୟ ବିନ୍ଦୁରେ ଉଲ୍ଲେଖ କରାଯାଇଥିବା ବିପଦ ଅଧିକ | ତେଣୁ, ସମୟ ସମୟରେ ସଫା କରିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ଆବଶ୍ୟକ ସମୟରେ ଫିଲ୍ଟର ଉପକରଣ ସ୍ଥାପନ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ |

2, କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସର ଏକାଗ୍ରତାର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ମିଶ୍ରଣ:

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପରୋକ୍ତ ପ୍ରଦାହଜନକ ଏବଂ ବିସ୍ଫୋରକ, ବିଷାକ୍ତ ଏବଂ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ପାଦନ କରିବାକୁ ପ୍ରବୃତ୍ତ | ତେଣୁ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର ପ୍ରୟୋଗରେ, ଏହି ମିଡିଆ ବାହାର କରିବାବେଳେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପରେ କିମ୍ବା ନିଷ୍କାସନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସେମାନଙ୍କୁ କିଛି ଅନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ନହେବା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ | ଯେପରିକି SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପଦାର୍ଥ, ବାୟୁ କିମ୍ବା ଅମ୍ଳଜାନ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସି ଜାଳେଣି କିମ୍ବା ଏପରିକି; ବାୟୁରେ ମିଶ୍ରଣ ଅନୁପାତ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ତାପମାତ୍ରାରେ ପହଞ୍ଚିବା ପରେ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ମଧ୍ୟ ଜଳିଯାଏ | ଏହା ସବୁ ପଦାର୍ଥର ପରିମାଣ ଏବଂ ପରିବେଶର ଚାପ ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ସହିତ ଏହାର ସମ୍ପର୍କ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ | ତେଣୁ, ଯେତେବେଳେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଏହି ମିଡିଆକୁ ବାହାର କରେ, ସଙ୍କୋଚନ ପୂର୍ବରୁ ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକୁ ଏକ ନିରାପଦ ସୀମା ମଧ୍ୟରେ ମିଶାଇବା ପାଇଁ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ପରି ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟବହାର କରିବା ଆବଶ୍ୟକ |

3. ଅମ୍ଳଜାନର ଏକାଗ୍ରତା ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦିଅନ୍ତୁ:

ଯଦି ବାୟୁରେ ଅମ୍ଳଜାନ ଅଧିକ ଥାଏ, ଜାଳେଣି ଏବଂ ବିପଦ ଆସିବ | ତେଣୁ, କେତେକ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଅମ୍ଳଜାନର ଏକାଗ୍ରତା ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଉଚିତ୍, ନିଷ୍କାସିତ ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟବହାର କରି, ଅତ୍ୟଧିକ ଏକାଗ୍ରତାକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ; ମନେକରନ୍ତୁ ଯେ ତେଲ ସିଲ୍ ମେକାନିକାଲ୍ ପମ୍ପରେ କିଛି ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନ ସୁସଙ୍ଗତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ତେଲ ଏବଂ ତ oil ଳ ଫିଲ୍ଟର ଏବଂ ତ oil ଳ ଦ୍ରବ୍ୟର ଠିକ୍ ସମୟରେ ବଦଳାଇବା ଆବଶ୍ୟକ ହୋଇପାରେ |

4, ତାପମାତ୍ରାକୁ ଅଧିକ ରୋକନ୍ତୁ:

ଏହି କଥା ବୁ to ିବା ସହଜ ଅଟେ | ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପରେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରର ପ୍ରୟୋଗରେ ଅଧିକ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସ୍ ଅଛି | ଶୁଖିଲା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଏପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏକ ତେଲ ସିଲ୍ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ ହେଉ, ପମ୍ପ ଚାମ୍ବରରେ ତାପମାତ୍ରା ଅତ୍ୟଧିକ ଅଧିକ, ଏବଂ ଜ୍ୱଳନ୍ତ ଏବଂ ବିସ୍ଫୋରକ ଏବଂ ଡୁ ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସହଜରେ ବିପଜ୍ଜନକ ହେବ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ପ୍ରୟୋଗରେ ଉପରୋକ୍ତ 4 ଟି ଦିଗ ହେଉଛି ମୁଖ୍ୟ ସୁରକ୍ଷା ବିଷୟ | ସାଧାରଣତ oil, ତେଲ ସିଲ୍ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଶୁଖିଲା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସୁରକ୍ଷା ବିବରଣୀ ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଆବଶ୍ୟକ, ନିଷ୍କାସନ ଅଧିକ ଜଟିଳ | ଯେତେବେଳେ ଆମେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ବ୍ୟବହାର କରୁ, କଣ୍ଡକ୍ଟରରେ ଥିବା ସୁରକ୍ଷା ସାବଧାନତା ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଆବଶ୍ୟକ ଏବଂ ପରେ ବ୍ୟବହାର କରିବା ସମୟରେ ଅପରେସନ୍ ମାନୁଆଲରେ ଏକ ଭଲ କାମ କରିବା | ଅପରେସନ୍, ଆଉଟପୁଟ୍, ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ନିରାପତ୍ତା ଉପରେ ଛୋଟ ସମସ୍ୟା ହେତୁ, ଆମକୁ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର ସେବା ଜୀବନ ବ extend ାଇବା ଉଚିତ, ସନ୍ତୁଳନକୁ ସମନ୍ୱୟ କରିବାକୁ, ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ନିରାପତ୍ତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଚେଷ୍ଟା କରିବା |

ୱାଟର ରିଙ୍ଗ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଭଲଭ୍ ଫ୍ଲେଞ୍ଜ୍ ସଂଯୋଗ ଫର୍ମ |

ଗଣ୍ଠି ପୃଷ୍ଠର ଆକୃତି ଅନୁଯାୟୀ ଏହାକୁ ନିମ୍ନ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ:

1, ଓ-ରିଙ୍ଗ ପ୍ରକାର: ଏହା ହେଉଛି ଏକ ନୂତନ ପ୍ରକାରର ୱାଟର ରିଙ୍ଗ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଫ୍ଲେଞ୍ଜ୍ ସଂଯୋଗ ଫର୍ମ, ବିଭିନ୍ନ ରବର ଓ-ରିଙ୍ଗ ବିକାଶ ଦ୍ followed ାରା ଅନୁସରଣ କରାଯାଏ, ସାଧାରଣ ଫ୍ଲାଟ ୱାଶର୍ ଅପେକ୍ଷା ଏହା ସିଲ୍ ପ୍ରଭାବରେ ଅଧିକ ବିଶ୍ୱାସଯୋଗ୍ୟ |

2, ଟ୍ରାପେଜଏଡାଲ୍ ଗ୍ରୀଭ୍ ପ୍ରକାର: ୱାଟର ରିଙ୍ଗ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଭଲଭ୍ ଫ୍ଲେଞ୍ଜ୍ ସଂଯୋଗ ଓଭାଲ୍ ଧାତୁ ରିଙ୍ଗ ସହିତ ୱାଶର୍ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ ଚାପ 64 କିଲୋଗ୍ରାମ / ସେମି 2 ଭଲଭ୍ କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଭଲଭ୍ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

3. ମୋର୍ଟାଇଜ୍ ଏବଂ ଗ୍ରୀଭ୍ ପ୍ରକାର: ବଡ଼ ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ ବିକୃତି ସହିତ ଗ୍ୟାସ୍କେଟ୍ କ୍ଷତିକାରକ ମାଧ୍ୟମରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ | ୱାଟର ରିଙ୍ଗ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର ସିଲ୍ ପ୍ରଭାବ ଭଲ |

4. କନକ୍ଭ ଏବଂ କନଭକ୍ସ ପ୍ରକାର: ୱାଟର ରିଙ୍ଗ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର କାର୍ଯ୍ୟ ଚାପ ଅଧିକ, ଏବଂ ହାର୍ଡ ୱାଶର୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ |

5, ଲେନ୍ସ ପ୍ରକାର: ଧୋଇବା ହେଉଛି ଧାତୁରେ ନିର୍ମିତ ଲେନ୍ସର ଆକୃତି | 100 କିଲୋଗ୍ରାମ / ସେମି 2 ର ଚାପ ସହିତ ଉଚ୍ଚ ଚାପ ଭଲଭ୍ କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଭଲଭ୍ |

6, ଚିକ୍କଣ ପ୍ରକାର: ଚାପ ଉଚ୍ଚ ଭଲଭ୍ ନୁହେଁ, ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଅଧିକ ସୁବିଧାଜନକ ଅଟେ |

ୱାଟର ରିଙ୍ଗ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଫ୍ଲେଞ୍ଜ୍ ସଂଯୋଗରେ ଅନେକ ଫର୍ମ ଅଛି, କିନ୍ତୁ ସେମାନଙ୍କର ଭିନ୍ନ ଭିନ୍ନ ଘଟଣା ଅଛି, ବ୍ୟବହାରରେ, ଆମେ ଏହି ଉତ୍ସବର ଉପଯୁକ୍ତତା ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଉଚିତ୍, ସଂଯୋଗର ପ୍ରଭାବ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା, ସଂଯୋଗ ବିଫଳତା ସୃଷ୍ଟି କରିବା ନାହିଁ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଜଳର କ୍ଷତି ଘଟାଏ | ରିଙ୍ଗ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ |