Pompa próżniowa zastosowana do bezpieczeństwa procesu półprzewodnikowego ma znaczenie dla pompy próżniowej z pierścieniem wodnymzawórpołączenie kołnierzowe
W ciągu ostatnich dziesięcioleci, wraz z szybkim rozwojem technologii półprzewodników, sprzęt półprzewodnikowy jest również wprowadzany z pokolenia na pokolenie w zakresie innowacji i rozwoju. Obecnie produkcja i wykorzystanie sprzętu półprzewodnikowego obejmuje różnorodne pierwiastki chemiczne i wiele innych aspektów wysokiej technologii, z silnym kompleksowym zapleczem technicznym. Nie tylko jako taki, rozwój technologii sprzętu półprzewodnikowego stopniowo integruje modularyzację technologii procesowej ze sprzętem, czyniąc go wysoce zautomatyzowanym i wysoce inteligentnym, stopniowo zmieniając sytuację naturalnego oddzielenia sprzętu i procesu i zawsze stojąc w czołówce rozwoju przemysłu produkującego systemy półprzewodnikowe, odgrywając szczególnie ważną rolę. Wraz z dalszym rozwojem sprzętu półprzewodnikowego zakres jego zastosowań staje się coraz szerszy. W innych dziedzinach produkcji urządzeń elektronicznych sprzęt półprzewodnikowy lub sprzęt będący rozwinięciem sprzętu półprzewodnikowego jest również w różnym stopniu adaptowany, stając się nową dziedziną zastosowania sprzętu półprzewodnikowego. Szczególnie w urządzeniach mikro/nano elektronicznych, systemach optoelektromechanicznych mikro/nano i innych produktach o wyjątkowo małych rozmiarach i wysokiej precyzji ma to niezwykle ważne znaczenie dla rozwoju komponentów elektronicznych.
Próżnia procesowa półprzewodników jest stosowana głównie do odparowywania, rozpylania katodowego, PECVD, trawienia próżniowego na sucho, adsorpcji próżniowej, sprzętu testowego, czyszczenia próżniowego i innych procesów łączenia, produkcja półprzewodników i proces produkcyjny z łatwością wytwarzają łatwopalny, wybuchowy i toksyczny gaz, będą stanowić zagrożenie dla produkcja i bezpieczeństwo personelu, dlatego przy stosowaniu półprzewodnikowej pompy próżniowej należy zwrócić uwagę na kilka kwestii związanych z bezpieczeństwem:
1. Przefiltruj i wyczyść pompę próżniową oraz inne akcesoria, filtr i rurę zgodnie z harmonogramem, aby uniknąć nadmiernego ciśnienia:
W przypadku zastosowania półprzewodnikowej pompy próżniowej skład ośrodka ekstrahowanego przez komorę reakcyjną i pompę próżniową może być niezwykle złożony. Na przykład SiH4 i O2 tworzą SiO2 na króćcu pompy, a hydroliza TiCl4 tworzy HCl; Zakładając, że jest to pompa mechaniczna z uszczelnieniem olejowym, te substancje gazowe mogą również zostać odwrócone wraz z olejem pompy. Zmiany te polegają na tworzeniu się cząstek, materiału koagulującego lub mediów erozyjnych, które mogą zatkać pompę próżniową lub instalację rurową, wpłynąć na działanie pompy próżniowej, spowodować wzrost ciśnienia lub nadciśnienie, a ryzyko, o którym mowa w punkcie drugim, jest większe. Dlatego konieczne jest terminowe czyszczenie i, jeśli to konieczne, ustawienie sprzętu filtrującego.
2, skuteczne rozcieńczenie szkodliwego stężenia gazu:
Półprzewodnik ma skłonność do wytwarzania wyżej wymienionych gazów łatwopalnych i wybuchowych, toksycznych i szkodliwych. Dlatego przy stosowaniu półprzewodnikowych pomp próżniowych podczas ekstrakcji tych mediów konieczne jest zapobieganie ich niekontrolowanym reakcjom w pompie próżniowej lub w procesie wydechowym. Takie jak SiH4, PH3, AsH3, B2H6 i inne substancje w kontakcie z powietrzem lub tlenem spowodują zapalenie lub nawet; Wodór spala się również, gdy stosunek mieszaniny w powietrzu osiągnie określoną temperaturę. Wszystko zależy od ilości substancji i jej związku z ciśnieniem i temperaturą otoczenia. Dlatego też, gdy półprzewodnikowa pompa próżniowa wyodrębnia te media, musi użyć gazu obojętnego, takiego jak azot, aby rozcieńczyć te gazy do bezpiecznego zakresu przed sprężaniem.
3. Zwróć uwagę na stężenie tlenu:
Jeśli zawartość tlenu w powietrzu jest zbyt wysoka, nastąpi zapłon i zagrożenie. Dlatego w niektórych przypadkach należy zwrócić uwagę na stężenie tlenu, stosując do rozcieńczenia gaz obojętny, aby zapobiec zbyt wysokiemu stężeniu; Zakładając, że pompa mechaniczna z uszczelnieniem olejowym może również wymagać użycia obojętnego i kompatybilnego z tlenem oleju do pompy próżniowej oraz terminowej wymiany filtrów oleju i produktów naftowych.
4, zapobiegaj zbyt wysokiej temperaturze:
Łatwo jest zrozumieć ten punkt. Podczas stosowania półprzewodników w pompie próżniowej występuje więcej szkodliwych gazów. Niezależnie od tego, czy pompa próżniowa na sucho jest nadal pompą mechaniczną z uszczelnieniem olejowym, temperatura w komorze pompy jest zbyt wysoka, a gaz łatwopalny i wybuchowy oraz duż mogą być niebezpieczne w wysokiej temperaturze.
Powyższe 4 aspekty to główne kwestie bezpieczeństwa w stosowaniu półprzewodnikowej pompy próżniowej. Ogólnie rzecz biorąc, w przypadku pomp mechanicznych z uszczelnieniem olejowym należy zwrócić uwagę na więcej szczegółów związanych z bezpieczeństwem niż w przypadku suchych pomp próżniowych, a utylizacja jest bardziej złożona. Kiedy używamy pomp próżniowych, musimy zwrócić uwagę na środki ostrożności w przewodniku i wykonać dobrą robotę zgodnie z instrukcją obsługi podczas późniejszego użytkowania. Ze względu na powiązane ze sobą drobne problemy związane z działaniem, wydajnością, wydajnością i bezpieczeństwem, powinniśmy przedłużyć żywotność pompy próżniowej, starać się skoordynować równowagę, zapewnić wydajność i bezpieczeństwo.
Formularz połączenia kołnierzowego zaworu pompy próżniowej z pierścieniem wodnym
Ze względu na kształt powierzchni złącza można je podzielić na następujące typy:
1, typ O-ringu: jest to nowy typ połączenia kołnierzowego pompy próżniowej z pierścieniem wodnym, po którym następuje różnorodny rozwój gumowych O-ringów, jest bardziej niezawodny w działaniu uszczelniającym niż ogólna podkładka płaska
2, rowek trapezowy, typ: pierścień wodny, zawór pompy próżniowej, połączenie kołnierzowe z owalnym metalowym pierścieniem jako podkładką, stosowane do zaworu o ciśnieniu roboczym 64 kg/cm2 lub zaworu wysokotemperaturowego
3. Typ wpuszczany i wpustowy: Uszczelka o dużym odkształceniu plastycznym może być stosowana w środowisku korozyjnym. Efekt uszczelniający pompy próżniowej z pierścieniem wodnym jest lepszy
4. Typ wklęsły i wypukły: ciśnienie robocze pompy próżniowej z pierścieniem wodnym jest wyższe i można zastosować twardą podkładkę
5, typ soczewki: podkładka ma kształt soczewki, wykonana z metalu. Zawory wysokociśnieniowe lub zawory wysokotemperaturowe o ciśnieniu roboczym 100kg/cm2
6, typ gładki: ponieważ ciśnienie nie jest wysokie, obróbka jest wygodniejsza
Połączenie kołnierzowe pompy próżniowej z pierścieniem wodnym ma wiele form, ale mają różne okazje, w użyciu powinniśmy zwrócić uwagę na przydatność okazji, zapewnić efekt połączenia, nie powodować awarii połączenia, powodując uszkodzenie wody pierścieniowa pompa próżniowa
Czas publikacji: 07-01-2023
