د ویکیوم پمپ د سیمی کنډکټر پروسې خوندیتوب مسلو کې پلي شوی د اوبو حلقه ویکیوم پمپ والو فلینج اتصال

د ویکیوم پمپ د سیمی کنډکټر پروسې خوندیتوب مسلو لپاره د اوبو حلقه ویکیوم پمپ پلي کیږيوالوflange پیوستون

په تیرو لسیزو کې، د سیمیک کنډکټر ټیکنالوژۍ د چټک پرمختګ سره، د سیمی کنډکټر تجهیزات هم د نسل نسل نوښت او پراختیا په حال کې دي. نن ورځ، د سیمی کنډکټر تجهیزاتو تولید او کارول د کیمیاوي عناصرو مختلف ډولونه او د لوړې ټیکنالوژۍ ډیری نور اړخونه لري، د قوي تخنیکي جامع سره. نه یوازې دا چې د سیمیکمډکټر تجهیزاتو ټیکنالوژۍ پراختیا په تدریجي ډول په تجهیزاتو کې د پروسې ټیکنالوژي ماډلر کولو سره مدغم کوي ، دا خورا اتوماتیک او خورا هوښیار کوي ، په تدریجي ډول د تجهیزاتو او پروسې طبیعي جلا کیدو وضعیت بدلوي ، او تل د پرمختګ په سر کې ګرځي. د سیمی کنډکټر سیسټم تولید صنعت، یو ځانګړی مهم رول لوبوي. د سیمیکمډکټر تجهیزاتو نور پرمختګ سره ، د دې غوښتنلیک ساحه نوره پراخه کیږي. د بریښنایی وسیلو تولید په نورو برخو کې ، د سیمی کنډکټر تجهیزات یا تجهیزات چې د سیمیکمډکټر تجهیزاتو څخه رامینځته شوي هم مختلف درجو ته منل شوي ، د سیمی کنډکټر تجهیزاتو غوښتنلیک نوې ساحه کیږي. په ځانګړي توګه د مایکرو / نانو بریښنایی وسیلو ، مایکرو / نانو آپټو الیکټرو میخانیکي سیسټمونو او نورو محصولاتو تولید کولو ساحه کې چې خورا کوچنۍ اندازې او لوړ دقیقیت لري ، دا د بریښنایی اجزاو پراختیا لپاره خورا مهم اهمیت لري.

د سیمی کنډکټر پروسس ویکیوم په عمده ډول په تبخیر ، سپټرینګ ، PECVD ، ویکیوم وچ اینچنګ ، د ویکیوم جذبولو ، ازموینې تجهیزاتو ، د ویکیوم پاکولو او نورو تړلو پروسو کې کارول کیږي ، د سیمی کنډکټر تولید او تولید پروسه په اسانۍ سره د اور اخیستونکي ، چاودیدونکي او زهرجن موادو ګاز تولیدوي ، د تولید او کارمندانو خوندیتوب ، له همدې امله ، د سیمی کنډکټر ویکیوم پمپ غوښتنلیک باید د خوندیتوب ډیری مسلو ته پاملرنه وکړي:

1. د ویکیوم پمپ او نور لوازم فلټر او پاک کړئ، فلټر او پایپ په مهالویش کې د فشار څخه مخنیوي لپاره:

د سیمی کنډکټر ویکیوم پمپ په کارولو کې ، د عکس العمل چیمبر او ویکیوم پمپ له لارې استخراج شوي مینځنۍ ترکیب ممکن خورا پیچلي وي. د مثال په توګه، SiH4 او O2 د پمپ په بندر کې SiO2 جوړوي، او د TiCl4 هایدرولیسس به HCl جوړوي؛ فرض کړئ چې د تیلو مهر ډول میخانیکي پمپ، دا ګازونه کیدای شي د پمپ تیلو سره هم بیرته راشي. دا بدلونونه د ذراتو، د ککړتیا وړ موادو، یا د تخریب وړ میډیا رامینځته کوي، کوم چې کیدای شي د ویکیوم پمپ یا پایپ سیسټم بند کړي، د ویکیوم پمپ فعالیت اغیزه وکړي، د فشار لوړیدو یا ډیر فشار لامل شي، او په دویمه نقطه کې ذکر شوي خطر ډیر دی. نو ځکه، دا اړینه ده چې په وخت کې پاک کړئ، او د اړتیا په وخت کې د فلټر کولو تجهیزات تنظیم کړئ.

2، د زیان رسونکي ګاز غلظت اغیزمن کمول:

سیمیکمډکټر د پورته ذکر شوي سوځیدونکي او چاودیدونکي ، زهرجن او زیان رسونکي ګازونو تولید لپاره حساس دی. له همدې امله ، د سیمی کنډکټر ویکیوم پمپ په غوښتنلیک کې ، کله چې دا میډیا استخراج کیږي ، نو اړینه ده چې د ویکیوم پمپ یا د اخراج پروسې کې د ځینې غیر کنټرول شوي عکس العملونو څخه مخنیوی وشي. لکه SiH4, PH3, AsH3, B2H6 او نور مادې چې د هوا یا اکسیجن سره په تماس کې وي د احتراق یا حتی د احتراق لامل کیږي. هایدروجن ګاز هم هغه وخت سوزیږي کله چې په هوا کې د مخلوط تناسب یوې ټاکلې تودوخې ته ورسیږي. دا ټول د موادو مقدار او د چاپیریال د فشار او تودوخې سره د هغې اړیکې پورې اړه لري. نو ځکه، کله چې د سیمی کنډکټر ویکیوم پمپ دا میډیا استخراج کوي، نو دا اړتیا لري چې غیر فعال ګاز وکاروي، لکه نایتروجن، ترڅو دا ګازونه د کمپریشن دمخه خوندي حد ته کم کړي.

3. د اکسیجن غلظت ته پام وکړئ:

که په هوا کې اکسیجن ډیر وي، احتراق او خطر به پیښ شي. له همدې امله، په ځینو مواردو کې، د اکسیجن غلظت ته باید پاملرنه وشي، د ضعیف ګاز په کارولو سره د ډیر لوړ غلظت مخه ونیسي؛ فرض کړئ چې د تیلو مهر میخانیکي پمپ ممکن د ځینې غیر فعال او اکسیجن سره مطابقت لرونکي ویکیوم پمپ تیلو کارولو ته هم اړتیا ولري ، او د تیلو فلټرونو او د تیلو محصولاتو په وخت بدلولو ته اړتیا لري.

4، د تودوخې ډیر لوړ مخنیوی وکړئ:

د دې ټکي پوهیدل اسانه دي. په ویکیوم پمپ کې د سیمیکمډکټر په کارولو کې ، ډیر زیان رسونکي ګازونه شتون لري. که وچ ویکیوم پمپ لاهم د تیلو مهر میخانیکي پمپ وي ، د پمپ چیمبر کې تودوخه خورا لوړه ده ، او د اور وړ او چاودیدونکي او دو ګاز به په لوړه تودوخه کې په اسانۍ سره خطرناک وي.

پورته 4 اړخونه د سیمی کنډکټر ویکیوم پمپ غوښتنلیک کې د خوندیتوب اصلي مسلې دي. په عموم کې ، د تیلو مهر میخانیکي پمپونه اړتیا لري د وچ ویکیوم پمپونو په پرتله ډیر خوندیتوب توضیحاتو ته پاملرنه وکړي ، ضایع کول خورا پیچلي دي. کله چې موږ د ویکیوم پمپونو څخه کار اخلو، موږ باید په کنډکټر کې د خوندیتوب احتیاطاتو ته پام وکړو، او د عملیاتو لارښود کې ښه کار وکړو کله چې وروسته کاروئ. د عملیاتو په اړه د کوچنیو ستونزو له امله ، محصول ، موثریت او خوندیتوب سره تړلي دي ، موږ باید د ویکیوم پمپ خدمت ژوند وغزوو ، د توازن همغږي کولو هڅه وکړو ، موثریت او خوندیتوب ډاډمن کړو.

د اوبو حلقوي خلا پمپ والو flange پیوستون فورمه

د ګډ سطح د شکل له مخې، دا په لاندې ډولونو ویشل کیدی شي:

1، د O-ring ډول: دا د اوبو د حلقوي ویکیوم پمپ فلانج اتصال نوی ډول دی، د ربړ O-ring ډول ډول پراختیا سره تعقیب کیږي، دا د عمومي فلیټ واشیر په پرتله د سیل کولو اغیزو کې خورا معتبر دی.

2، د trapezoidal نالی ډول: د اوبو حلقه ویکیوم پمپ والو فلینج د اوول فلزي حلقې سره د واشر په توګه اړیکه، د کاري فشار 64 kg/cm2 والو یا د لوړ حرارت والو لپاره کارول کیږي

3. د مورټیز او نالی ډول: هغه ګازکیټ چې لوی پلاستیکي تخریب لري د کنسرو په مینځ کې کارول کیدی شي. د اوبو حلقې ویکیوم پمپ سیل کولو اغیزه غوره ده

4. مقعر او محدب ډول: د اوبو حلقې ویکیوم پمپ کاري فشار لوړ دی ، او سخت واشیر کارول کیدی شي

5، د لینز ډول: واشیر د لینز شکل دی، له فلزي څخه جوړ شوی. د لوړ فشار والوز یا د لوړ حرارت والوز د 100kg/cm2 کاري فشار سره

6، اسانه ډول: د دې لپاره چې فشار لوړ والو نه وي، پروسس کول ډیر اسانه دي

د اوبو حلقه ویکیوم پمپ فلانج اتصال ډیری ډولونه شتون لري ، مګر دوی مختلف وختونه لري ، په کارولو کې ، موږ باید د فرصت مناسبیت ته پاملرنه وکړو ، د پیوستون اغیز ډاډمن کړو ، د اتصال ناکامۍ لامل نه کیږي ، په پایله کې اوبو ته زیان رسوي. حلقوي ویکیوم پمپ