Bomba de vácuo aplicada a questões de segurança de processo de semicondutores bomba de vácuo de anel de águaválvulaconexão de flange
Nas últimas décadas, com o rápido desenvolvimento da tecnologia de semicondutores, os equipamentos semicondutores também estão em inovação e desenvolvimento geração após geração. Hoje em dia, a fabricação e utilização de equipamentos semicondutores envolve uma variedade de elementos químicos e muitos outros aspectos de alta tecnologia, com uma forte abrangência técnica. Não só assim, o desenvolvimento da tecnologia de equipamentos semicondutores integra gradativamente a modularização da tecnologia de processo ao equipamento, tornando-o altamente automatizado e altamente inteligente, mudando gradativamente a situação de separação natural entre equipamento e processo, e sempre caminhando na vanguarda do desenvolvimento da indústria de fabricação de sistemas semicondutores, desempenhando um papel especialmente importante. Com o desenvolvimento de equipamentos semicondutores, seu campo de aplicação torna-se cada vez mais amplo. Em outros campos de fabricação de dispositivos eletrônicos, equipamentos semicondutores ou equipamentos evoluídos a partir de equipamentos semicondutores também são adotados em graus variados, tornando-se um novo campo de aplicação de equipamentos semicondutores. Especialmente na área de dispositivos micro/nano eletrônicos, sistemas micro/nano optoeletromecânicos e outras áreas de fabricação de produtos de tamanho extremamente pequeno e alta precisão, tem um significado extremamente importante para o desenvolvimento de componentes eletrônicos.
O vácuo do processo de semicondutores é usado principalmente em evaporação, pulverização catódica, PECVD, gravação a vácuo a seco, adsorção a vácuo, equipamentos de teste, limpeza a vácuo e outros processos de ligação, produção de semicondutores e processos de fabricação produzem facilmente gás de material inflamável, explosivo e tóxico, representará uma ameaça para produção e segurança do pessoal, portanto, a aplicação da bomba de vácuo semicondutora precisa prestar atenção a diversas questões de segurança:
1. Filtre e limpe a bomba de vácuo e outros acessórios, filtro e tubo dentro do cronograma para evitar sobrepressão:
Na aplicação de bomba de vácuo semicondutora, a composição do meio extraído através da câmara de reação e da bomba de vácuo pode ser extremamente complexa. Por exemplo, SiH4 e O2 formam SiO2 na porta da bomba, e a hidrólise do TiCl4 formará HCl; Supondo que a bomba mecânica do tipo selo de óleo, essas substâncias gasosas também podem ser revertidas com o óleo da bomba. Estas alterações pressupõem a formação de partículas, material coagulável ou meio erosivo, que podem entupir a bomba de vácuo ou sistema de tubulação, afetar o funcionamento da bomba de vácuo, causar aumento ou sobrepressão de pressão, sendo o risco mencionado no segundo ponto maior. Portanto, é necessário limpar a tempo e instalar equipamentos de filtragem quando necessário.
2, diluição eficaz da concentração de gases nocivos:
O semicondutor é propenso a produzir os gases inflamáveis e explosivos, tóxicos e nocivos acima mencionados. Portanto, na aplicação de bomba de vácuo semicondutora, ao extrair esses meios, é necessário evitar que tenham algumas reações incontroláveis na bomba de vácuo ou no processo de exaustão. Como SiH4, PH3, AsH3, B2H6 e outras substâncias, em contato com ar ou oxigênio, causarão combustão ou mesmo; O gás hidrogênio também queima quando a proporção da mistura no ar atinge uma determinada temperatura. Tudo depende da quantidade da substância e da sua relação com a pressão e a temperatura do ambiente. Portanto, quando a bomba de vácuo semicondutora extrai esses meios, ela precisa usar um gás inerte, como o nitrogênio, para diluir esses gases até uma faixa segura antes da compressão.
3. Preste atenção à concentração de oxigênio:
Se o oxigênio no ar for muito alto, ocorrerá combustão e risco. Portanto, em alguns casos, deve-se prestar atenção à concentração de oxigênio, utilizando gás inerte para diluir, para evitar concentrações muito altas; Supondo que a bomba mecânica de vedação de óleo também possa precisar usar algum óleo de bomba de vácuo inerte e compatível com oxigênio e substituir filtros de óleo e derivados em tempo hábil.
4, evite que a temperatura seja muito alta:
É fácil entender este ponto. Na aplicação de semicondutores em bombas de vácuo, existem mais gases nocivos. Quer a bomba de vácuo seca ainda seja uma bomba mecânica de vedação de óleo, a temperatura na câmara da bomba é muito alta e o gás inflamável, explosivo e du será facilmente perigoso em alta temperatura.
Os 4 aspectos acima são as principais questões de segurança na aplicação de bombas de vácuo semicondutoras. Em geral, as bombas mecânicas com vedação de óleo precisam prestar atenção a mais detalhes de segurança do que as bombas de vácuo secas, o descarte é mais complexo. Quando utilizamos bombas de vácuo, precisamos estar atentos aos cuidados de segurança do condutor, e fazer um bom trabalho no manual de operação na utilização posterior. Devido aos pequenos problemas de operação, produção, eficiência e segurança estão ligados, devemos prolongar a vida útil da bomba de vácuo, nos esforçar para coordenar o equilíbrio, garantir a eficiência e a segurança.
Forma de conexão do flange da válvula da bomba de vácuo do anel de água
De acordo com o formato da superfície articular, ela pode ser dividida nos seguintes tipos:
1, tipo de anel de vedação: este é um novo tipo de forma de conexão de flange de bomba de vácuo de anel de água, é seguido por uma variedade de desenvolvimento de anel de vedação de borracha, é mais confiável no efeito de vedação do que a arruela plana geral
2, tipo de ranhura trapezoidal: conexão de flange da válvula da bomba de vácuo do anel de água com anel de metal oval como arruela, usado para pressão de trabalho 64 kg/cm2 válvula ou válvula de alta temperatura
3. Tipo de encaixe e ranhura: A junta com grande deformação plástica pode ser usada em meio corrosivo. O efeito de vedação da bomba de vácuo de anel de água é melhor
4. Tipo côncavo e convexo: a pressão de trabalho da bomba de vácuo de anel de água é maior e a arruela dura pode ser usada
5, tipo de lente: a arruela tem o formato da lente, feita de metal. Válvulas de alta pressão ou válvulas de alta temperatura com pressão de trabalho de 100kg/cm2
6, tipo suave: para a pressão não é válvula alta, processamento mais conveniente
A conexão do flange da bomba de vácuo do anel de água existe de muitas formas, mas têm ocasiões diferentes, em uso, devemos prestar atenção à adequação da ocasião, garantir o efeito da conexão, não causar falha na conexão, resultando em danos à água bomba de vácuo de anel
Horário da postagem: 07 de janeiro de 2023
