Pompa de vid aplicată la siguranța procesului semiconductor contează pompa de vid cu inel de apăsupapăracord cu flansa
În ultimele decenii, odată cu dezvoltarea rapidă a tehnologiei semiconductoare, echipamentele semiconductoare sunt, de asemenea, în inovație și dezvoltare generație după generație. În zilele noastre, fabricarea și utilizarea echipamentelor semiconductoare implică o varietate de elemente chimice și multe alte aspecte de înaltă tehnologie, cu o puternică tehnică cuprinzătoare. Nu numai ca atare, dezvoltarea tehnologiei echipamentelor semiconductoare integrează treptat modularizarea tehnologiei de proces în echipament, făcându-l extrem de automatizat și extrem de inteligent, schimbând treptat situația de separare naturală a echipamentelor și procesului și mergând mereu în fruntea dezvoltării. a industriei de fabricare a sistemelor de semiconductori, jucând un rol deosebit de important. Odată cu dezvoltarea în continuare a echipamentelor semiconductoare, domeniul său de aplicare devine din ce în ce mai larg. În alte domenii de fabricație a dispozitivelor electronice, echipamentele semiconductoare sau echipamentele evoluate din echipamentele semiconductoare sunt, de asemenea, adoptate în grade diferite, devenind un nou domeniu de aplicare a echipamentelor semiconductoare. În special în domeniul dispozitivelor electronice micro/nano, sistemelor optoelectromecanice micro/nano și al producției de alte produse de dimensiuni extrem de mici și de înaltă precizie, are o semnificație extrem de importantă pentru dezvoltarea componentelor electronice.
Procesul de vid cu semiconductor este utilizat în principal în evaporare, pulverizare, PECVD, gravare uscată în vid, adsorbție în vid, echipamente de testare, curățare în vid și alte procese de lipire, producția și procesul de fabricație de semiconductori produc cu ușurință gaze materiale inflamabile, explozive și toxice, vor reprezenta o amenințare pentru producția și siguranța personalului, prin urmare, aplicarea pompei de vid semiconductoare trebuie să acorde atenție mai multor aspecte de siguranță:
1. Filtrați și curățați pompa de vid și alte accesorii, filtrul și conducta conform programului pentru a evita suprapresiunea:
În aplicarea pompei de vid cu semiconductori, compoziția mediului extras prin camera de reacție și pompa de vid poate fi extrem de complexă. De exemplu, SiH4 și O2 formează SiO2 la orificiul pompei, iar hidroliza TiCl4 va forma HCI; Presupunând că pompa mecanică de tip etanșare de ulei, aceste substanțe gazoase pot fi, de asemenea, inversate cu uleiul pompei. Aceste modificări presupun formarea de particule, material coagulabil sau medii erozive, care pot înfunda pompa de vid sau sistemul de conducte, pot afecta funcția pompei de vid, pot cauza creșterea presiunii sau suprapresiune, iar riscul menționat la al doilea punct este mai mare. Prin urmare, este necesar să curățați la timp și să instalați echipamente de filtrare atunci când este necesar.
2, diluarea eficientă a concentrației de gaz dăunător:
Semiconductorul este predispus să producă gazele inflamabile și explozive, toxice și nocive menționate mai sus. Prin urmare, în aplicarea pompei de vid cu semiconductori, la extragerea acestor medii, este necesar să se prevină ca acestea să aibă unele reacții necontrolabile în pompa de vid sau în procesul de evacuare. Precum SiH4, PH3, AsH3, B2H6 și alte substanțe, în contact cu aerul sau oxigenul, vor provoca arderea sau chiar; Hidrogenul gazos arde și atunci când raportul de amestec în aer atinge o anumită temperatură. Totul depinde de cantitatea de substanță și de relația acesteia cu presiunea și temperatura mediului. Prin urmare, atunci când pompa de vid semiconductoare extrage aceste medii, trebuie să utilizeze un gaz inert, cum ar fi azotul, pentru a dilua aceste gaze într-un interval sigur înainte de comprimare.
3. Acordați atenție concentrației de oxigen:
Dacă oxigenul din aer este prea mare, va apărea arderea și riscul. Prin urmare, în unele cazuri, trebuie acordată atenție concentrației de oxigen, folosind gaz inert pentru a dilua, pentru a preveni concentrarea prea mare; Presupunând că pompa mecanică a etanșării de ulei poate avea nevoie, de asemenea, să folosească ulei inert și compatibil cu oxigenul pompei de vid și înlocuirea în timp util a filtrelor de ulei și a produselor petroliere.
4, preveniți temperatura prea ridicată:
Este ușor de înțeles acest punct. În aplicarea semiconductorilor în pompa de vid, există mai multe gaze nocive. Indiferent dacă pompa de vid uscată este încă o pompă mecanică de etanșare a uleiului, temperatura din camera pompei este prea ridicată, iar inflamabile și explozive și du gazul vor fi ușor periculoase la temperatură ridicată.
Cele 4 aspecte de mai sus sunt principalele aspecte de siguranță în aplicarea pompei de vid cu semiconductor. În general, pompele mecanice cu etanșare trebuie să acorde o atenție mai multor detalii de siguranță decât pompele de vid uscat, eliminarea fiind mai complexă. Când folosim pompe de vid, trebuie să acordăm atenție măsurilor de siguranță din conductor și să facem o treabă bună în manualul de utilizare atunci când folosim mai târziu. Din cauza micilor probleme legate de funcționare, randament, eficiență și siguranță, ar trebui să prelungim durata de viață a pompei de vid, să ne străduim să coordonăm echilibrul, să asigurăm eficiența și siguranța.
Forma de conectare a flanșei supapei pompei de vid inel de apă
În funcție de forma suprafeței articulației, aceasta poate fi împărțită în următoarele tipuri:
1, tip inel O: acesta este un nou tip de formă de conectare a flanșei pompei de vid cu inel de apă, este urmat de o varietate de dezvoltare a inelului O din cauciuc, este mai fiabil în efectul de etanșare decât șaiba plată generală
2, tip canelură trapezoidală: conexiune flanșă a supapei pompei de vid cu inel de apă cu inel metalic oval ca șaibă, utilizată pentru supapa de presiune de lucru 64 kg/cm2 sau supapă de temperatură înaltă
3. Tip mortar și canelura: Garnitura cu deformare plastică mare poate fi utilizată în mediul coroziv. Efectul de etanșare al pompei de vid cu inel de apă este mai bun
4. Tip concav și convex: presiunea de lucru a pompei de vid cu inel de apă este mai mare, iar spălatorul tare poate fi utilizat
5, tip lentilă: șaiba are forma lentilei, din metal. Supape de înaltă presiune sau supape de temperatură înaltă cu presiune de lucru de 100 kg/cm2
6, tip neted: pentru presiunea nu este supapă mare, procesare mai convenabilă
Conexiunea flanșă a pompei de vid cu inel de apă există multe forme, dar au diferite ocazii, în utilizare, ar trebui să acordăm atenție caracterului adecvat al ocaziei, să asigurăm efectul conexiunii, să nu provoace defecțiuni ale conexiunii, ducând la deteriorarea apei pompa de vid cu inel
Ora postării: 07-ian-2023
