Вакуумный насос, применяемый в вопросах безопасности полупроводниковых процессов, водокольцевой вакуумный насосклапанфланцевое соединение
За последние десятилетия, в связи с быстрым развитием полупроводниковых технологий, полупроводниковое оборудование также находится в процессе инноваций и развития поколение за поколением. В настоящее время производство и использование полупроводникового оборудования включает в себя множество химических элементов и многие другие аспекты высоких технологий с сильным техническим комплексом. Мало того, развитие технологии полупроводникового оборудования постепенно интегрирует модульность технологического процесса в оборудование, делая его высокоавтоматизированным и высокоинтеллектуальным, постепенно меняя ситуацию естественного разделения оборудования и процесса и всегда идя в авангарде развития. промышленности по производству полупроводниковых систем, играющей особую важную роль. С дальнейшим развитием полупроводниковой техники область ее применения становится все шире. В других областях производства электронных устройств полупроводниковое оборудование или оборудование, созданное на основе полупроводникового оборудования, также в различной степени применяется, становясь новой областью применения полупроводникового оборудования. Это имеет чрезвычайно важное значение для разработки электронных компонентов, особенно в области микро/нано электронных устройств, микро/нано оптоэлектромеханических систем и других продуктов чрезвычайно малого размера и высокой точности.
Вакуум полупроводникового процесса в основном используется при испарении, напылении, PECVD, вакуумном сухом травлении, вакуумной адсорбции, испытательном оборудовании, вакуумной очистке и других процессах склеивания, процесс производства и производства полупроводников легко производит легковоспламеняющиеся, взрывоопасные и токсичные материалы, газ, представляет угрозу для Безопасность производства и персонала, поэтому при применении полупроводникового вакуумного насоса необходимо обратить внимание на несколько вопросов безопасности:
1. Фильтруйте и очищайте вакуумный насос и другие принадлежности, фильтр и трубопровод вовремя, чтобы избежать избыточного давления:
При применении полупроводникового вакуумного насоса состав среды, экстрагируемой через реакционную камеру и вакуумный насос, может быть чрезвычайно сложным. Например, SiH4 и O2 образуют SiO2 в порту насоса, а гидролиз TiCl4 приводит к образованию HCl; Если предположить, что это механический насос с сальником, эти газовые вещества также могут быть обращены вспять с помощью масла насоса. Эти изменения предполагают образование частиц, коагулируемого материала или эрозионной среды, которые могут засорить вакуумный насос или систему трубопроводов, повлиять на работу вакуумного насоса, вызвать повышение давления или избыточное давление, и риск, упомянутый во втором пункте, выше. Поэтому необходимо вовремя проводить очистку, а при необходимости устанавливать фильтрующее оборудование.
2, эффективное разбавление концентрации вредного газа:
Полупроводники склонны выделять вышеупомянутые легковоспламеняющиеся и взрывоопасные, токсичные и вредные газы. Следовательно, при использовании полупроводникового вакуумного насоса при извлечении этих сред необходимо предотвратить возникновение неконтролируемых реакций в вакуумном насосе или в процессе выхлопа. Такие как SiH4, PH3, AsH3, B2H6 и другие вещества при контакте с воздухом или кислородом могут вызвать возгорание или даже; Водород также горит, когда соотношение смеси в воздухе достигает определенной температуры. Все зависит от количества вещества и его отношения к давлению и температуре окружающей среды. Поэтому, когда полупроводниковый вакуумный насос извлекает эти среды, перед сжатием необходимо использовать инертный газ, например азот, для разбавления этих газов до безопасного уровня.
3. Обратите внимание на концентрацию кислорода:
Если содержание кислорода в воздухе слишком высокое, произойдет возгорание и возникнет риск. Поэтому в некоторых случаях следует уделять внимание концентрации кислорода, используя для разбавления инертный газ, чтобы предотвратить слишком высокую концентрацию; Предполагая, что для механического насоса сальника также может потребоваться использование инертного и совместимого с кислородом масла для вакуумного насоса, а также своевременная замена масляных фильтров и нефтепродуктов.
4, предотвращайте слишком высокую температуру:
Этот момент легко понять. При использовании полупроводников в вакуумном насосе образуется больше вредных газов. Независимо от того, является ли сухой вакуумный насос механическим насосом с сальником, температура в камере насоса слишком высока, а легковоспламеняющиеся и взрывоопасные газы могут быть опасными при высокой температуре.
Вышеуказанные 4 аспекта являются основными вопросами безопасности при использовании полупроводникового вакуумного насоса. В целом, механическим насосам с сальником необходимо уделять больше внимания безопасности, чем сухим вакуумным насосам, утилизация более сложна. Когда мы используем вакуумные насосы, нам необходимо обращать внимание на меры предосторожности в проводнике и внимательно следить за руководством по эксплуатации при дальнейшем использовании. Из-за небольших проблем в работе, производительности, эффективности и безопасности мы должны продлить срок службы вакуумного насоса, стремиться согласовать баланс, обеспечить эффективность и безопасность.
Форма фланцевого соединения клапана водокольцевого вакуумного насоса
По форме суставной поверхности его можно разделить на следующие виды:
1, тип уплотнительного кольца: это новый тип формы фланцевого соединения вакуумного насоса с водяным кольцом, за которым следуют различные резиновые уплотнительные кольца, которые более надежны в уплотняющем эффекте, чем обычная плоская шайба.
2, тип трапециевидной канавки: фланцевое соединение клапана вакуумного насоса с водяным кольцом с овальным металлическим кольцом в качестве шайбы, используется для клапана рабочего давления 64 кг/см2 или высокотемпературного клапана.
3. Тип паза и паза: прокладка с большой пластической деформацией может использоваться в агрессивной среде. Уплотняющий эффект водокольцевого вакуумного насоса лучше.
4. Вогнутый и выпуклый тип: рабочее давление водокольцевого вакуумного насоса выше, можно использовать жесткую шайбу.
5. Тип линзы: шайба имеет форму линзы, изготовлена из металла. Клапаны высокого давления или высокотемпературные клапаны с рабочим давлением 100 кг/см2.
6, гладкий тип: давление не высокое, обработка более удобна.
Фланцевое соединение водяного кольцевого вакуумного насоса имеет множество форм, но они имеют разные случаи, при использовании мы должны обращать внимание на пригодность случая, обеспечивать эффект соединения, не вызывать сбоев соединения, что приводит к повреждению воды. кольцевой вакуумный насос
Время публикации: 7 января 2023 г.
