ويڪيوم پمپ سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس تي لاڳو ڪيو ويو حفاظتي معاملن ۾ پاڻي جي رنگ ويڪيوم پمپ والو فلانج ڪنيڪشن

ويڪيوم پمپ سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس تي لاڳو ڪيو ويو حفاظت جي معاملن ۾ پاڻي جي انگوزي ويڪيوم پمپوالوflange ڪنيڪشن

گذريل ڏهاڪن کان وٺي، سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي جي تيزيءَ سان ترقي ڪندي، سيمي ڪنڊڪٽر سامان پڻ نسل در نسل جدت ۽ ترقيءَ ۾ آهي. اڄڪلهه، سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي پيداوار ۽ استعمال ۾ مختلف قسم جي ڪيميائي عناصر ۽ اعلي ٽيڪنالاجي جا ٻيا ڪيترائي حصا شامل آهن، هڪ مضبوط ٽيڪنيڪل جامع سان. نه رڳو ايترو، سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ٽيڪنالاجي جي ترقي تدريجي طور تي پروسيس ٽيڪنالاجي ماڊلرائيزيشن کي سامان ۾ ضم ڪري ٿي، ان کي انتهائي خودڪار ۽ انتهائي ذهانت بڻائي ٿو، تدريجي طور تي سامان ۽ عمل جي قدرتي جدائي جي صورتحال کي تبديل ڪري ٿو، ۽ هميشه ترقي جي اڳڀرائي ۾ هلندو آهي. سيمي ڪنڊڪٽر سسٽم جي صنعت جي صنعت، هڪ خاص اهم ڪردار ادا ڪندي. semiconductor سامان جي وڌيڪ ترقي سان، ان جي درخواست جو ميدان وڌيڪ ۽ وڌيڪ وسيع ٿي ويندو آهي. ٻين اليڪٽرانڪ ڊوائيس جي پيداوار جي شعبن ۾، سيمي ڪنڊڪٽر سامان يا سيمي ڪنڊڪٽر سامان مان تيار ڪيل سامان پڻ مختلف درجي تائين اختيار ڪيا ويا آهن، سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي ايپليڪيشن جو هڪ نئون ميدان بڻجي رهيو آهي. خاص طور تي مائڪرو / نانو اليڪٽرانڪ ڊوائيسز، مائڪرو / نانو optoelectromechanical سسٽم ۽ ٻين شين جي پيداوار جي ميدان ۾ انتهائي ننڍڙي سائيز ۽ اعلي سڌائي، ان کي اليڪٽرانڪ اجزاء جي ترقي لاء انتهائي اهم اهميت حاصل آهي.

سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ويڪيوم بنيادي طور تي استعمال ڪيو ويندو آهي evaporation، sputtering، PECVD، ويڪيوم خشڪ ايچنگ، ويڪيوم جذب، ٽيسٽ سامان، ويڪيوم صفائي ۽ ٻين بانڊنگ پروسيس، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۽ پيداوار جو عمل آساني سان ٻرندڙ، ڌماڪيدار ۽ زهريلو مواد پيدا ڪري ٿو، گئس کي خطرو بڻائي ٿو. پيداوار ۽ عملي جي حفاظت، تنهن ڪري، semiconductor ويڪيوم پمپ جي درخواست ڪيترن ئي حفاظت جي معاملن تي ڌيان ڏيڻ جي ضرورت آهي:

1. فلٽر ۽ صاف ڪريو ويڪيوم پمپ ۽ ٻين لوازمات، فلٽر ۽ پائپ شيڊول تي وڌيڪ دٻاء کان بچڻ لاء:

سيميڪنڊڪٽر ويڪيوم پمپ جي ايپليڪيشن ۾، ردعمل چيمبر ۽ ويڪيوم پمپ ذريعي نڪتل وچولي جي جوڙجڪ انتهائي پيچيده ٿي سگهي ٿي. مثال طور، SiH4 ۽ O2 پمپ جي بندرگاهه تي SiO2 ٺاهيندا آهن، ۽ TiCl4 جو هائيڊولائيسس HCl ٺاهيندو؛ فرض ڪيو ته تيل مهر قسم جي مشيني پمپ، اهي گيس جو مادو به پمپ جي تيل سان پڌرو ٿي سگهي ٿو. اهي تبديليون ذرات جي ٺهڻ جو فرض ڪن ٿيون، ڪوئگيوليبل مواد، يا erosive ميڊيا، جيڪي ويڪيوم پمپ يا پائپنگ سسٽم کي بند ڪري سگھن ٿا، ويڪيوم پمپ جي ڪم کي متاثر ڪري، دٻاء وڌائڻ يا اوورپريشر جو سبب بڻائين، ۽ ٻئي نقطي ۾ بيان ڪيل خطري کان وڌيڪ آهي. تنهن ڪري، اهو ضروري آهي ته وقت ۾ صاف ڪرڻ، ۽ فلٽرنگ جو سامان مقرر ڪيو وڃي جڏهن ضروري هجي.

2، نقصانڪار گيس ڪنسنٽريشن جو مؤثر حل:

سيميڪنڊڪٽر مٿي ڄاڻايل ٻرندڙ ۽ ڌماڪيدار، زهريلي ۽ نقصانڪار گيسز پيدا ڪرڻ جو خطرو آهي. تنهن ڪري، سيمي ڪنڊڪٽر ويڪيوم پمپ جي ايپليڪيشن ۾، جڏهن انهن ميڊيا کي ڪڍيو وڃي، اهو ضروري آهي ته انهن کي ويڪيوم پمپ ۾ يا نڪرڻ واري عمل ۾ ڪجهه غير ڪنٽرول رد عمل ٿيڻ کان روڪڻ لاء. جيئن ته SiH4، PH3، AsH3، B2H6 ۽ ٻيا مادا، هوا يا آڪسيجن سان رابطي ۾، دھلجڻ جو سبب بڻجندو يا اڃا به؛ هائيڊروجن گئس به تڏهن سڙي ٿي جڏهن هوا ۾ مرکب جو تناسب هڪ خاص درجه حرارت تي پهچي ٿو. اهو سڀ ڪجهه دارومدار جي مقدار تي منحصر آهي ۽ ان جو تعلق ماحول جي دٻاء ۽ گرمي سان آهي. تنهن ڪري، جڏهن سيمي ڪنڊڪٽر ويڪيوم پمپ انهن ميڊيا کي ڪڍي ٿو، ان کي استعمال ڪرڻ جي ضرورت آهي هڪ غير فعال گيس، جهڙوڪ نائٽروجن، انهن گيس کي دٻاء کان اڳ محفوظ رينج تائين گھٽائڻ لاء.

3. آڪسيجن جي ڪنسنٽريشن تي ڌيان ڏيو:

جيڪڏهن هوا ۾ آڪسيجن تمام گهڻي آهي، باهه ۽ خطرو ٿيندو. تنهن ڪري، ڪجهه حالتن ۾، ڌيان ڏيڻ گهرجي آڪسيجن جي ڪنسنٽريشن تي، انٽ گيس کي استعمال ڪندي ڪمزور ڪرڻ لاءِ، تمام گهڻي ڪنسنٽريشن کي روڪڻ لاءِ؛ فرض ڪيو ته تيل جي مهر ميڪيڪل پمپ کي شايد ڪجهه غير فعال ۽ آڪسيجن سان مطابقت رکندڙ ويڪيوم پمپ تيل استعمال ڪرڻ جي ضرورت هجي، ۽ تيل فلٽر ۽ تيل جي شين جي بروقت متبادل.

4، گرمي پد کي تمام گهڻو روڪڻ:

هن نقطي کي سمجهڻ آسان آهي. ويڪيوم پمپ ۾ سيمي ڪنڊڪٽر جي ايپليڪيشن ۾، وڌيڪ نقصانڪار گيس آهن. ڇا خشڪ ويڪيوم پمپ اڃا تائين هڪ تيل مهر مشيني پمپ آهي، پمپ جي چيمبر ۾ گرمي پد تمام گهڻي آهي، ۽ flammable ۽ ڌماڪيدار ۽ du گئس آساني سان تيز گرمي پد تي خطرناڪ ٿيندو.

مٿيون 4 حصا سيمي ڪنڊڪٽر ويڪيوم پمپ جي ايپليڪيشن ۾ بنيادي حفاظت جا مسئلا آهن. عام طور تي، تيل مهر مشيني پمپ سڪي ويڪيوم پمپ کان وڌيڪ حفاظت جي تفصيل تي ڌيان ڏيڻ جي ضرورت آهي، نيڪال وڌيڪ پيچيده آهي. جڏهن اسان ويڪيوم پمپ استعمال ڪندا آهيون، اسان کي ڪنڊڪٽر ۾ حفاظتي احتياط تي ڌيان ڏيڻ جي ضرورت آهي، ۽ بعد ۾ استعمال ڪرڻ وقت آپريشن مينوئل ۾ سٺو ڪم ڪرڻ گهرجي. آپريشن تي ننڍن مسئلن جي ڪري، پيداوار، ڪارڪردگي ۽ حفاظت سان ڳنڍيل آهن، اسان کي ويڪيوم پمپ جي خدمت جي زندگي کي وڌائڻ گهرجي، توازن کي همٿائڻ جي ڪوشش، ڪارڪردگي ۽ حفاظت کي يقيني بڻائي.

پاڻي جي انگوزي ويڪيوم پمپ والو flange ڪنيڪشن فارم

گڏيل مٿاڇري جي شڪل موجب، ان کي هيٺين قسمن ۾ ورهائي سگهجي ٿو:

1، او-رنگ جو قسم: هي هڪ نئين قسم جو پاڻي جي انگوزي ويڪيوم پمپ فلانج ڪنيڪشن فارم آهي، مختلف قسم جي ربر جي او-رنگ ڊولپمينٽ جي پٺيان آهي، اهو عام فليٽ واشر جي ڀيٽ ۾ سيلنگ اثر ۾ وڌيڪ قابل اعتماد آهي.

2، trapezoidal گروو قسم: واٽر رِنگ ويڪيوم پمپ والو فلانج ڪنيڪشن اوول ميٽيل انگوزي سان واشر جي طور تي، ڪم ڪندڙ دٻاءُ 64 kg/cm2 والو يا اعليٰ درجه حرارت والو

3. Mortise ۽ groove قسم: وڏي پلاسٽڪ deformation سان gasket corrosive وچولي ۾ استعمال ڪري سگهجي ٿو. پاڻي جي انگوزي ويڪيوم پمپ جي سگهه جو اثر بهتر آهي

4. Concave ۽ convex قسم: پاڻي جي انگوزي ويڪيوم پمپ جو ڪم ڪندڙ دٻاء وڌيڪ آهي، ۽ سخت واشر استعمال ڪري سگهجي ٿو

5، لينس جو قسم: واشر لينس جي شڪل آھي، ڌاتو مان ٺهيل آھي. 100kg / cm2 جي ڪم ڪندڙ دٻاء سان هاء پريشر والوز يا تيز گرمي پد والوز

6، هموار قسم: دٻاء لاء اعلي والو نه آهي، پروسيسنگ وڌيڪ آسان آهي

واٽر رينگ ويڪيوم پمپ فلانج ڪنيڪشن جا ڪيترائي روپ آهن، پر اهي مختلف موقعا آهن، استعمال ۾، اسان کي موقعي جي مناسبت تي ڌيان ڏيڻ گهرجي، ڪنيڪشن جي اثر کي يقيني بڻائي، ڪنيڪشن جي ناڪامي جو سبب نه بڻج، نتيجي ۾ پاڻي کي نقصان پهچايو وڃي. انگوزي ويڪيوم پمپ