අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියට යොදන රික්ත පොම්පය ආරක්ෂිත කරුණු ජල මුද්ද රික්ත පොම්ප කපාට ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතාවය

අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් සඳහා යොදන ලද රික්තක පොම්පය ආරක්ෂිත කරුණු ජල මුද්ද රික්තක පොම්පයකපාටයෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතාවය

පසුගිය දශක කිහිපය තුළ, අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණයේ වේගවත් සංවර්ධනයත් සමඟ, අර්ධ සන්නායක උපකරණ ද පරම්පරාවෙන් පරම්පරාවේ නවෝත්පාදන හා සංවර්ධනය වෙමින් පවතී. වර්තමානයේ, අර්ධ සන්නායක උපකරණ නිෂ්පාදනය සහ භාවිතය ශක්තිමත් තාක්ෂණික විස්තීර්ණ සමග විවිධ රසායනික මූලද්රව්ය සහ උසස් තාක්ෂණයේ තවත් බොහෝ අංග ඇතුළත් වේ. එසේ පමණක් නොව, අර්ධ සන්නායක උපකරණ තාක්‍ෂණයේ දියුණුව ක්‍රමානුකූලව ක්‍රියාවලි තාක්‍ෂණ මොඩියුලරීකරණය උපකරණයට ඒකාබද්ධ කරයි, එය ඉතා ස්වයංක්‍රීය හා ඉහළ බුද්ධිමත් බවට පත් කරයි, උපකරණ සහ ක්‍රියාවලිය ස්වාභාවික ලෙස වෙන් කිරීමේ තත්වය ක්‍රමයෙන් වෙනස් කරයි, සහ සෑම විටම සංවර්ධනයේ ඉදිරියෙන් ගමන් කරයි. අර්ධ සන්නායක පද්ධති නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ විශේෂ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. අර්ධ සන්නායක උපකරණ තවදුරටත් සංවර්ධනය කිරීමත් සමඟ එහි යෙදුම් ක්ෂේත්‍රය වඩ වඩාත් පුළුල් වේ. අනෙකුත් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍ර වලදී, අර්ධ සන්නායක උපකරණ හෝ අර්ධ සන්නායක උපකරණ වලින් පරිණාමය වූ උපකරණ ද විවිධ මට්ටම් වලට යොදා ගනිමින් අර්ධ සන්නායක උපකරණ යෙදීමේ නව ක්ෂේත්‍රයක් බවට පත් වේ. විශේෂයෙන්ම ක්ෂුද්‍ර/නැනෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, ක්ෂුද්‍ර/නැනෝ ඔප්ටෝ ඉලෙක්ට්‍රොමිකානිකල් පද්ධති සහ අතිශය කුඩා ප්‍රමාණයේ සහ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් අනෙකුත් නිෂ්පාදන නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍රය තුළ එය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සංවර්ධනය සඳහා අතිශයින් වැදගත් වැදගත්කමක් දරයි.

අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලි රික්තය ප්‍රධාන වශයෙන් වාෂ්පීකරණය, ස්පුටර් කිරීම, PECVD, රික්ත වියලි කැටයම් කිරීම, රික්ත අවශෝෂණය, පරීක්ෂණ උපකරණ, රික්ත පිරිසිදු කිරීම සහ අනෙකුත් බන්ධන ක්‍රියාවලීන් සඳහා භාවිතා වේ, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සහ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය පහසුවෙන් දැවෙන, පුපුරන ද්‍රව්‍ය හා විෂ ද්‍රව්‍යමය වායුවක් ඇති කරයි. නිෂ්පාදනය සහ කාර්ය මණ්ඩල ආරක්ෂාව, එබැවින්, අර්ධ සන්නායක රික්තක පොම්පය යෙදීම ආරක්ෂක කරුණු කිහිපයක් කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ යුතුය:

1. රික්තක පොම්පය සහ අනෙකුත් උපාංග, පෙරහන සහ පයිප්ප කාලසටහනට අනුව පෙරීම සහ පිරිසිදු කිරීම අධික පීඩනය වළක්වා ගැනීම සඳහා:

අර්ධ සන්නායක රික්තක පොම්පය යෙදීමේදී, ප්‍රතික්‍රියා කුටීරය සහ රික්ත පොම්පය හරහා නිස්සාරණය කරන මාධ්‍යයේ සංයුතිය අතිශයින් සංකීර්ණ විය හැක. උදාහරණයක් ලෙස, SiH4 සහ O2 පොම්ප වරායේ SiO2 සාදයි, සහ TiCl4 හි ජල විච්ඡේදනය HCl සාදයි; තෙල් මුද්‍රා වර්ගයේ යාන්ත්‍රික පොම්පය යැයි උපකල්පනය කළහොත්, මෙම වායු ද්‍රව්‍ය ද පොම්ප තෙල් සමඟ ආපසු හැරවිය හැකිය. මෙම වෙනස්කම් රික්තක පොම්පය හෝ නල පද්ධතිය අවහිර කළ හැකි අංශු, කැටි ගැසිය හැකි ද්‍රව්‍ය හෝ ඛාදනය වන මාධ්‍ය සෑදීම උපකල්පනය කරයි, රික්ත පොම්ප ක්‍රියාකාරිත්වයට බලපායි, පීඩනය වැඩි වීම හෝ අධික පීඩනය ඇති කරයි, සහ දෙවන ලක්ෂ්‍යයේ සඳහන් අවදානම වැඩි වේ. එමනිසා, නියමිත වේලාවට පිරිසිදු කිරීම අවශ්ය වන අතර, අවශ්ය විටදී පෙරීමේ උපකරණ සකස් කිරීම අවශ්ය වේ.

2, හානිකර වායු සාන්ද්‍රණය ඵලදායී ලෙස තනුක කිරීම:

අර්ධ සන්නායක ඉහත සඳහන් කළ ගිනි අවුලුවන සහ පුපුරන සුලු, විෂ සහිත හා හානිකර වායූන් නිපදවීමට නැඹුරු වේ. එබැවින්, අර්ධ සන්නායක රික්තක පොම්පය යෙදීමේදී, මෙම මාධ්ය නිස්සාරණය කිරීමේදී, රික්තක පොම්පය තුළ හෝ පිටකිරීමේ ක්රියාවලියේදී යම් පාලනය කළ නොහැකි ප්රතික්රියා ඇතිවීම වැළැක්වීම අවශ්ය වේ. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 සහ අනෙකුත් ද්‍රව්‍ය, වාතය හෝ ඔක්සිජන් සමඟ ස්පර්ශ වන විට, දහනය හෝ ඊටත් වඩා හේතු වනු ඇත; වාතයේ ඇති මිශ්‍රණ අනුපාතය යම් උෂ්ණත්වයකට ළඟා වූ විට හයිඩ්‍රජන් වායුව ද දහනය වේ. ඒ සියල්ල රඳා පවතින්නේ ද්රව්යයේ ප්රමාණය සහ පරිසරයේ පීඩනය හා උෂ්ණත්වයට එහි සම්බන්ධතාවය මතය. එබැවින්, අර්ධ සන්නායක රික්තක පොම්පය මෙම මාධ්‍ය නිස්සාරණය කරන විට, සම්පීඩනයට පෙර මෙම වායූන් ආරක්ෂිත පරාසයකට තනුක කිරීමට නයිට්‍රජන් වැනි නිෂ්ක්‍රීය වායුවක් භාවිතා කිරීමට අවශ්‍ය වේ.

3. ඔක්සිජන් සාන්ද්‍රණය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන්න:

වාතයේ ඔක්සිජන් අධික නම්, දහනය හා අවදානම සිදු වේ. එමනිසා, සමහර අවස්ථාවලදී, ඔක්සිජන් සාන්ද්රණය කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ යුතුය, තනුක කිරීම සඳහා නිෂ්ක්රිය වායුව භාවිතා කිරීම, අධික සාන්ද්රණය වැළැක්වීම සඳහා; තෙල් මුද්‍රා යාන්ත්‍රික පොම්පයට යම් නිෂ්ක්‍රීය සහ ඔක්සිජන් අනුකූල වැකුම් පොම්ප තෙල් භාවිතා කිරීමට අවශ්‍ය විය හැකි බව උපකල්පනය කිරීම සහ තෙල් පෙරහන් සහ තෙල් නිෂ්පාදන කාලෝචිත ලෙස ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීම.

4, අධික උෂ්ණත්වය වැළැක්වීම:

මෙම කාරණය තේරුම් ගැනීම පහසුය. රික්තක පොම්පයේ අර්ධ සන්නායක යෙදීමේදී, වඩාත් හානිකර වායූන් පවතී. වියළි රික්තක පොම්පය තවමත් තෙල් මුද්‍රා යාන්ත්‍රික පොම්පයක් වුවද, පොම්ප කුටියේ උෂ්ණත්වය ඉතා ඉහළ මට්ටමක පවතින අතර, අධික උෂ්ණත්වයේ දී දැවෙන සහ පුපුරන සුලු සහ du වායුව පහසුවෙන් අනතුරුදායක වනු ඇත.

අර්ධ සන්නායක රික්තක පොම්පය යෙදීමේදී ඉහත අංශ 4 ප්‍රධාන ආරක්ෂිත කරුණු වේ. සාමාන්යයෙන්, තෙල් මුද්රා යාන්ත්රික පොම්ප වියළි රික්තක පොම්ප වඩා වැඩි ආරක්ෂක තොරතුරු අවධානය යොමු කිරීමට අවශ්ය, බැහැර කිරීම වඩාත් සංකීර්ණ වේ. අපි රික්තක පොම්ප භාවිතා කරන විට, සන්නායකයේ ආරක්ෂිත පූර්වෝපායන් කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ යුතු අතර, පසුව භාවිතා කරන විට මෙහෙයුම් අත්පොතෙහි හොඳ කාර්යයක් කරන්න. ක්‍රියාකාරිත්වය, ප්‍රතිදානය, කාර්යක්ෂමතාව සහ ආරක්ෂාව සම්බන්ධ කුඩා ගැටළු නිසා, අපි රික්තක පොම්පයේ සේවා කාලය දීර්ඝ කළ යුතුය, සමතුලිතතාවය සම්බන්ධීකරණය කිරීමට, කාර්යක්ෂමතාව සහ ආරක්ෂාව සහතික කිරීමට උත්සාහ කළ යුතුය.

ජල මුද්ද රික්තක පොම්ප කපාට ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතා පෝරමය

සන්ධි මතුපිට හැඩය අනුව, එය පහත වර්ග වලට බෙදිය හැකිය:

1, O-ring වර්ගය: මෙය නව වර්ගයේ ජල මුද්ද රික්තක පොම්ප ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතා ආකෘතියක් වන අතර, විවිධ රබර් O-ring සංවර්ධනය මගින් අනුගමනය කරනු ලැබේ, එය සාමාන්‍ය පැතලි රෙදි සෝදන යන්ත්‍රයට වඩා මුද්‍රා තැබීමේ බලපෑමේදී වඩා විශ්වාසදායකය.

2, trapezoidal කට්ට වර්ගය: ජල මුදු රික්තක පොම්ප කපාට ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධ කිරීම, රෙදි සෝදන යන්ත්‍රයක් ලෙස ඕවලාකාර ලෝහ වළල්ල සමඟ සම්බන්ධ කිරීම, වැඩ පීඩනය 64 kg/cm2 කපාටය හෝ ඉහළ උෂ්ණත්ව කපාටය සඳහා භාවිතා කරයි

3. උකස් සහ කට්ට වර්ගය: විශාල ප්ලාස්ටික් විකෘතියක් සහිත ගෑස්කට් විඛාදන මාධ්යයේ භාවිතා කළ හැක. ජල මුද්ද වැකුම් පොම්පයේ මුද්රා තැබීමේ බලපෑම වඩා හොඳය

4. අවතල සහ උත්තල වර්ගය: ජල මුද්ද රික්තක පොම්පයේ වැඩ පීඩනය වැඩි වන අතර දෘඪ රෙදි සෝදන යන්ත්රය භාවිතා කළ හැක

5, කාච වර්ගය: රෙදි සෝදන යන්ත්රය යනු ලෝහයෙන් සාදා ඇති කාචයේ හැඩයයි. 100kg/cm2 වැඩ පීඩනය සහිත අධි පීඩන කපාට හෝ ඉහළ උෂ්ණත්ව කපාට

6, සුමට වර්ගය: පීඩනය සඳහා ඉහළ කපාටයක් නොවේ, සැකසීම වඩාත් පහසු වේ

ජල මුද්ද වැකුම් පොම්ප ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතාවය බොහෝ ආකාර ඇත, නමුත් ඒවා විවිධ අවස්ථා ඇත, භාවිතයේ දී, අපි අවස්ථාවට යෝග්‍යතාවය කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ යුතුය, සම්බන්ධතාවයේ බලපෑම සහතික කරන්න, සම්බන්ධතාවයේ අසාර්ථකත්වයට හේතු නොවන්න, ජලයට හානි සිදු වේ. මුද්ද රික්තක පොම්පය