Vákuové čerpadlo aplikované na bezpečnosť polovodičového procesu s vodným kruhom vákuové čerpadloventilprírubové spojenie
V priebehu posledných desaťročí, s rýchlym rozvojom polovodičovej technológie, sú aj polovodičové zariadenia inováciou a vývojom generácie za generáciou. V súčasnosti výroba a používanie polovodičových zariadení zahŕňa množstvo chemických prvkov a mnoho ďalších aspektov špičkových technológií so silným technickým komplexom. Nielen ako taký, vývoj technológie polovodičových zariadení postupne integruje modularizáciu procesnej technológie do zariadenia, čím sa stáva vysoko automatizovaným a vysoko inteligentným, postupne mení situáciu prirodzeného oddelenia zariadení a procesu a vždy kráča v popredí vývoja. v priemysle výroby polovodičových systémov, ktorý zohráva osobitnú dôležitú úlohu. S ďalším vývojom polovodičových zariadení sa oblasť ich použitia čoraz viac rozširuje. V iných oblastiach výroby elektronických zariadení sa v rôznej miere prijímajú aj polovodičové zariadenia alebo zariadenia vyvinuté z polovodičových zariadení, ktoré sa stávajú novou oblasťou aplikácie polovodičových zariadení. Najmä v mikro/nano elektronických zariadeniach, mikro/nano optoelektromechanických systémoch a iných výrobkoch v oblasti výroby extrémne malých rozmerov a vysokej presnosti má mimoriadne dôležitý význam pre vývoj elektronických komponentov.
Vákuum v polovodičovom procese sa používa hlavne pri odparovaní, naprašovaní, PECVD, vákuovom suchom leptaní, vákuovej adsorpcii, testovacích zariadeniach, vákuovom čistení a iných procesoch spájania, výroba polovodičov a výrobný proces, ktorý ľahko produkuje horľavý, výbušný a toxický plyn, bude predstavovať hrozbu pre bezpečnosť výroby a personálu, preto je pri aplikácii polovodičovej vákuovej pumpy potrebné venovať pozornosť niekoľkým bezpečnostným záležitostiam:
1. Filtrujte a vyčistite vákuovú pumpu a ďalšie príslušenstvo, filter a potrubie podľa plánu, aby ste sa vyhli pretlaku:
Pri aplikácii polovodičovej vákuovej pumpy môže byť zloženie média extrahovaného cez reakčnú komoru a vákuovú pumpu mimoriadne zložité. Napríklad SiH4 a O2 tvoria Si02 na vstupe čerpadla a hydrolýzou TiCl4 sa vytvorí HCl; Za predpokladu, že mechanické čerpadlo typu olejového tesnenia, tieto plynné látky môžu byť tiež obrátené s olejom čerpadla. Tieto zmeny predpokladajú tvorbu častíc, koagulovateľného materiálu alebo eróznych médií, ktoré môžu upchať vývevu alebo potrubný systém, ovplyvniť funkciu vývevy, spôsobiť zvýšenie tlaku alebo pretlak a riziko uvedené v druhom bode je väčšie. Preto je potrebné včas vyčistiť a v prípade potreby nastaviť filtračné zariadenie.
2, efektívne riedenie koncentrácie škodlivého plynu:
Polovodič je náchylný na tvorbu vyššie uvedených horľavých a výbušných, toxických a škodlivých plynov. Preto je pri aplikácii polovodičovej vákuovej vývevy pri odsávaní týchto médií potrebné zabrániť tomu, aby vo výveve alebo vo výfukovom procese mali nejaké nekontrolovateľné reakcie. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 a iné látky pri kontakte so vzduchom alebo kyslíkom spôsobia horenie alebo dokonca; Plynný vodík horí aj vtedy, keď pomer zmesi vo vzduchu dosiahne určitú teplotu. Všetko závisí od množstva látky a jej vzťahu k tlaku a teplote prostredia. Preto, keď polovodičové vákuové čerpadlo extrahuje tieto médiá, musí použiť inertný plyn, ako je dusík, na zriedenie týchto plynov na bezpečný rozsah pred kompresiou.
3. Venujte pozornosť koncentrácii kyslíka:
Ak je kyslík vo vzduchu príliš vysoký, dôjde k horeniu a riziku. Preto by sa v niektorých prípadoch mala venovať pozornosť koncentrácii kyslíka pomocou inertného plynu na riedenie, aby sa zabránilo príliš vysokej koncentrácii; Za predpokladu, že mechanické čerpadlo olejového tesnenia môže tiež potrebovať použiť nejaký inertný a s kyslíkom kompatibilný olej z vákuovej pumpy a včasnú výmenu olejových filtrov a ropných produktov.
4, zabráňte príliš vysokej teplote:
Tento bod je ľahké pochopiť. Pri aplikácii polovodiča vo vákuovej pumpe je viac škodlivých plynov. Či už je suché vákuové čerpadlo stále mechanické čerpadlo s olejovým tesnením, teplota v komore čerpadla je príliš vysoká a horľavé a výbušné plyny môžu byť pri vysokej teplote ľahko nebezpečné.
Vyššie uvedené 4 aspekty sú hlavnými bezpečnostnými záležitosťami pri aplikácii polovodičovej vákuovej pumpy. Vo všeobecnosti musia mechanické čerpadlá s olejovým tesnením venovať pozornosť viac bezpečnostným detailom ako suché vákuové čerpadlá, likvidácia je zložitejšia. Keď používame vákuové pumpy, musíme dbať na bezpečnostné opatrenia vo vodiči a pri neskoršom použití odviesť dobrú prácu v návode na obsluhu. Vzhľadom na malé problémy súvisiace s prevádzkou, výkonom, účinnosťou a bezpečnosťou by sme mali predĺžiť životnosť vákuového čerpadla, snažiť sa o koordináciu rovnováhy, zabezpečenie účinnosti a bezpečnosti.
Forma pripojenia príruby ventilu vákuového čerpadla s vodným krúžkom
Podľa tvaru kĺbovej plochy ju možno rozdeliť do nasledujúcich typov:
1, typ O-krúžku: ide o nový typ prírubového pripojenia vákuového čerpadla s vodným krúžkom, po ktorom nasleduje vývoj rôznych gumových O-krúžkov, je spoľahlivejší v tesniacom účinku ako všeobecná plochá podložka
2, typ s lichobežníkovou drážkou: vodný krúžok vákuové čerpadlo prírubové pripojenie ventilu s oválnym kovovým krúžkom ako podložka, používa sa pre pracovný tlak 64 kg/cm2 ventil alebo vysokoteplotný ventil
3. Typ drážky a drážky: Tesnenie s veľkou plastickou deformáciou môže byť použité v korozívnom médiu. Tesniaci účinok vodného kruhového vákuového čerpadla je lepší
4. Konkávny a konvexný typ: pracovný tlak vákuového čerpadla s vodným krúžkom je vyšší a možno použiť tvrdú podložku
5, typ šošovky: podložka je v tvare šošovky, vyrobená z kovu. Vysokotlakové ventily alebo vysokoteplotné ventily s pracovným tlakom 100 kg/cm2
6, hladký typ: pre tlak nie je vysoký ventil, spracovanie je pohodlnejšie
Prírubové pripojenie vákuového čerpadla s vodným krúžkom existuje veľa foriem, ale majú rôzne príležitosti, pri používaní by sme mali venovať pozornosť vhodnosti príležitosti, zabezpečiť účinok pripojenia, nespôsobiť poruchu pripojenia, čo má za následok poškodenie vody kruhová vákuová pumpa
Čas odoslania: Jan-07-2023
