Vakuumska črpalka, ki se uporablja za varnost polprevodniških procesov, je pomembna vakuumska črpalka z vodnim obročemventilprirobnični priključek
V zadnjih desetletjih je s hitrim razvojem polprevodniške tehnologije tudi polprevodniška oprema generacija za generacijo inovacij in razvoja. Dandanes proizvodnja in uporaba polprevodniške opreme vključuje različne kemične elemente in številne druge vidike visoke tehnologije z močnim tehničnim obsegom. Ne le kot taka, razvoj tehnologije polprevodniške opreme postopoma integrira modularizacijo procesne tehnologije v opremo, zaradi česar je visoko avtomatizirana in visoko inteligentna, postopoma spreminja situacijo naravne ločitve opreme in procesa ter vedno hodi v ospredju razvoja. proizvodne industrije polprevodniških sistemov, ki igra posebno pomembno vlogo. Z nadaljnjim razvojem polprevodniške opreme se področje njene uporabe vedno bolj širi. Na drugih področjih proizvodnje elektronskih naprav je polprevodniška oprema ali oprema, ki se je razvila iz polprevodniške opreme, prav tako sprejeta v različni meri in tako postane novo področje uporabe polprevodniške opreme. Predvsem na področju izdelave mikro/nano elektronskih naprav, mikro/nano optoelektromehanskih sistemov in drugih izdelkov izjemno majhne velikosti in visoke natančnosti ima izjemno pomemben pomen za razvoj elektronskih komponent.
Polprevodniški procesni vakuum se v glavnem uporablja pri izhlapevanju, razprševanju, PECVD, vakuumskem suhem jedkanju, vakuumski adsorpciji, preskusni opremi, vakuumskem čiščenju in drugih postopkih lepljenja, proizvodnji polprevodnikov in proizvodnem procesu, ki zlahka proizvajajo vnetljiv, eksploziven in strupen material, plin, ki bo predstavljal grožnjo za proizvodnja in varnost osebja, zato je treba pri uporabi polprevodniške vakuumske črpalke paziti na več varnostnih zadev:
1. Filtrirajte in očistite vakuumsko črpalko in druge dodatke, filter in cev po urniku, da preprečite nadtlak:
Pri uporabi polprevodniške vakuumske črpalke je lahko sestava medija, ekstrahiranega skozi reakcijsko komoro in vakuumsko črpalko, izjemno zapletena. Na primer, SiH4 in O2 tvorita SiO2 na odprtini črpalke, hidroliza TiCl4 pa bo tvorila HCl; Ob predpostavki, da je mehanska črpalka tipa oljnega tesnila, se lahko te plinaste snovi obrnejo tudi z oljem črpalke. Te spremembe predvidevajo nastanek delcev, koagulacijskega materiala ali erozivnih medijev, ki lahko zamašijo vakuumsko črpalko ali cevni sistem, vplivajo na delovanje vakuumske črpalke, povzročijo dvig tlaka ali nadtlak, tveganje, omenjeno v drugi točki, pa je večje. Zato je potrebno pravočasno čiščenje in po potrebi namestitev filtrirne opreme.
2, učinkovito redčenje koncentracije škodljivih plinov:
Polprevodnik je nagnjen k proizvajanju zgoraj omenjenih vnetljivih in eksplozivnih, strupenih in škodljivih plinov. Zato je pri uporabi polprevodniške vakuumske črpalke pri ekstrakciji teh medijev treba preprečiti, da bi imeli nekatere nenadzorovane reakcije v vakuumski črpalki ali v izpušnem procesu. Kot so SiH4, PH3, AsH3, B2H6 in druge snovi, bodo v stiku z zrakom ali kisikom povzročile izgorevanje ali celo; Vodikov plin tudi gori, ko razmerje zmesi v zraku doseže določeno temperaturo. Vse je odvisno od količine snovi in njenega odnosa do tlaka in temperature okolja. Zato mora polprevodniška vakuumska črpalka, ko ekstrahira te medije, uporabiti inertni plin, kot je dušik, da razredči te pline na varno območje pred stiskanjem.
3. Bodite pozorni na koncentracijo kisika:
Če je kisika v zraku previsoko, pride do izgorevanja in nevarnosti. Zato je treba v nekaterih primerih posvetiti pozornost koncentraciji kisika z uporabo inertnega plina za redčenje, da se prepreči previsoka koncentracija; Ob predpostavki, da bo mehanska črpalka za oljno tesnilo morda morala uporabiti tudi nekaj inertnega in s kisikom združljivega olja za vakuumsko črpalko ter pravočasno zamenjati oljne filtre in oljne izdelke.
4, preprečite previsoko temperaturo:
To točko je enostavno razumeti. Pri uporabi polprevodnikov v vakuumski črpalki je več škodljivih plinov. Ne glede na to, ali je suha vakuumska črpalka še vedno mehanska črpalka z oljnim tesnilom, je temperatura v komori črpalke previsoka, vnetljivi in eksplozivni ter plini pa bodo zlahka nevarni pri visoki temperaturi.
Zgornji 4 vidiki so glavni varnostni vidiki pri uporabi polprevodniške vakuumske črpalke. Na splošno morajo biti mehanske črpalke z oljnim tesnilom pozorne na več varnostnih podrobnosti kot suhe vakuumske črpalke, odstranjevanje je bolj zapleteno. Ko uporabljamo vakuumske črpalke, moramo biti pozorni na varnostne ukrepe v vodniku in pri kasnejši uporabi dobro prebrati navodila za uporabo. Ker so majhne težave pri delovanju povezane z močjo, učinkovitostjo in varnostjo, moramo podaljšati življenjsko dobo vakuumske črpalke, stremeti k uskladitvi ravnotežja, zagotoviti učinkovitost in varnost.
Oblika priključka prirobnice ventila vakuumske črpalke z vodnim obročem
Glede na obliko sklepne površine ga lahko razdelimo na naslednje vrste:
1, tip O-tesnila: to je nova vrsta priključne oblike vakuumske črpalke z vodnim obročem, ki ji sledi raznovrsten razvoj gumijastih O-obročev, je bolj zanesljiv pri tesnilnem učinku kot splošna ploščata podložka
2, tip trapeznega utora: prirobnica ventila vakuumske črpalke z vodnim obročem z ovalnim kovinskim obročem kot podložko, ki se uporablja za delovni tlak 64 kg/cm2 ventil ali visokotemperaturni ventil
3. Vrsta utora in utora: tesnilo z veliko plastično deformacijo se lahko uporablja v jedkem mediju. Tesnilni učinek vakuumske črpalke z vodnim obročem je boljši
4. Konkavni in konveksni tip: delovni tlak vakuumske črpalke z vodnim obročem je višji in lahko uporabite trdo podložko
5, vrsta leče: podložka je oblika leče, izdelana iz kovine. Visokotlačni ventili ali visokotemperaturni ventili z delovnim tlakom 100 kg/cm2
6, gladek tip: ker tlak ni visok ventil, je obdelava bolj priročna
Prirobnična povezava vakuumske črpalke z vodnim obročem je veliko oblik, vendar imajo različne priložnosti, pri uporabi moramo biti pozorni na primernost priložnosti, zagotoviti učinek povezave, ne povzročiti okvare povezave, kar povzroči škodo na vodi obročna vakuumska črpalka
Čas objave: 7. januarja 2023
