Fa'aoga pamu mama i semiconductor faagasologa saogalemu mea mama mama mamaalavaisootaga flange
I le tele o tausaga ua tuanaʻi, faʻatasi ai ma le televave o le atinaʻeina o tekonolosi semiconductor, o meafaigaluega semiconductor o loʻo iai foʻi i le faʻasologa o le faʻafouina ma le atinaʻe. I aso nei, o le gaosiga ma le faʻaogaina o masini semiconductor e aofia ai le tele o elemene vailaʻau ma le tele o isi vaega o tekinolosi maualuga, faʻatasi ai ma se faʻamatalaga faʻapitoa faʻapitoa. E le gata i lea, o le atinaʻeina o tekinolosi masini semiconductor faʻasolosolo faʻapipiʻiina le faʻaogaina o tekinolosi faʻagasologa i totonu o meafaigaluega, e faʻaogaina ai le otometi ma sili ona atamai, faasolosolo malie le suia o le tulaga o le vavaeeseina o meafaigaluega ma le faagasologa, ma savali pea i luma o le atinaʻe. ole semiconductor system gaosiga alamanuia, faia se matafaioi taua faapitoa. Faatasi ai ma le faʻalauteleina o le atinaʻeina o masini semiconductor, o lona faʻaogaina o le fanua e faʻateleina ma sili atu le lautele. I isi matā'upu fa'aeletonika e gaosi ai masini, o masini semiconductor po'o masini e fa'atupu mai i masini semiconductor o lo'o fa'aaogaina foi i tulaga eseese, ma avea ma se fanua fou o le fa'aogaina o meafaigaluega semiconductor. Aemaise lava i masini faaeletonika micro / nano, micro / nano optoelectromechanical system ma isi oloa gaosi oloa o le laʻititi laʻititi ma le maualuga maualuga, e matua taua tele mo le atinaʻeina o vaega eletise.
Semiconductor faagasologa gaogao e masani ona faʻaaogaina i le faʻasao, sputtering, PECVD, vacuum dry etching, vacuum adsorption, masini suʻega, faʻamama mama ma isi faiga faʻapipiʻi, gaosiga o le semiconductor ma le gaosiga o gaosiga e faigofie ona maua ai le afi mumu, mea pāpā ma mea oona, o le a lamatia ai. gaosiga ma le saogalemu o le aufaigaluega, o le mea lea, o le faʻaogaina o le pamu mama semiconductor e manaʻomia le gauai atu i le tele o mataupu saogalemu:
1. Fa'amama ma fa'amama mama pamu ma isi mea fa'aoga, fa'amama ma paipa i taimi fa'atulagaina e aloese ai mai le so'ona mamafa:
I le fa'aogaina o le pamu mama semiconductor, o le tu'ufa'atasiga o le ala e maua mai i le potu tali ma pamu mama atonu e matua faigata lava. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le SiH4 ma le O2 e fausia ai le SiO2 i le pusa pamu, ma o le hydrolysis o le TiCl4 o le a fausia ai le HCl; Fa'apea o le fa'amaufa'ailoga suau'u ituaiga pamu fa'ainisinia, e mafai fo'i ona fesuia'i nei mea kesi ma le suau'u pamu. O nei suiga e faʻapea o le faʻavaeina o vaega, mea faʻapipiʻi, poʻo faʻasalalauga erosive, lea e mafai ona faʻalavelaveina le pamu mama poʻo le paipa, e aʻafia ai le galuega pamu mama, mafua ai le maualuga o le mamafa poʻo le ova, ma le lamatiaga o loʻo taʻua i le vaega lona lua e sili atu. O le mea lea, e tatau ona faʻamama i le taimi, ma faʻapipiʻi meafaigaluega faʻamama pe a manaʻomia.
2, faʻamaʻi lelei o le faʻaogaina o kesi leaga:
Semiconductor e matele e maua mai i luga o loʻo taʻua i luga afi mumu ma pa, oona ma leaga kasa. O le mea lea, i le faʻaogaina o le pamu mama semiconductor, pe a faʻapipiʻiina nei ala o faasalalauga, e tatau ona puipuia i latou mai le i ai o ni gaioiga e le mafai ona taofiofia i totonu o le pamu mama poʻo le faʻaogaina o le faʻaogaina. E pei o SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ma isi mea, i le faʻafesoʻotaʻi ma le ea poʻo le okesene, o le a mafua ai le faʻafefe poʻo; E mu fo'i le kasa hydrogen pe a o'o le fua fa'afefiloi i le ea i se vevela fa'apitoa. E fa'alagolago uma i le aofa'i o le vaila'au ma lona va'aiga i le mamafa ma le vevela o le si'osi'omaga. O le mea lea, pe a aveese e le pamu mama semiconductor nei ala o faasalalauga, e manaʻomia le faʻaogaina o se kesi lemu, e pei o le nitrogen, e faʻafefe ai nei kasa i se tulaga saogalemu aʻo leʻi faʻamalosi.
3. Faʻalogo i le faʻaogaina o le okesene:
Afai e maualuga tele le okesene i le ea, o le a tupu le mu ma le lamatiaga. O le mea lea, i nisi tulaga, e tatau ona gauai atu i le faʻaogaina o le okesene, faʻaaogaina o le kesi lemu e faʻafefe, e puipuia ai le maualuga tele; Fa'apea o le pamu fa'amaufa'ailoga suau'u e ono mana'omia fo'i le fa'aogaina o le suau'u pamu gaogao e talafeagai ma le okesene, ma fa'apena le taimi e sui ai suau'u faamama ma oloa suauu.
4, puipuia le maualuga tele o le vevela:
E faigofie ona malamalama i lenei manatu. I le faʻaogaina o le semiconductor i totonu o le pamu mama, e tele atu kasa leaga. Pe fa'amama mamago pamu o se pamu masini fa'amaufa'ailoga suau'u, o le vevela i totonu o le potu pamu e maualuga tele, ma fa'amumu ma pa ma o le a faigofie ona lamatia i le vevela maualuga.
O mea o loʻo i luga 4 o mea taua ia o le saogalemu i le faʻaaogaina o pamu mama semiconductor. I se tulaga lautele, o pamu masini faʻamaufaʻailoga suauʻu e manaʻomia le gauai atu i faʻamatalaga sili atu le saogalemu nai lo pamu mamago mamago, lafoai e sili atu ona faigata. A tatou faʻaogaina pamu mama, e tatau ona tatou gauai atu i le puipuiga o le saogalemu i le taʻavale, ma faia se galuega lelei i le tusi taʻavale pe a faʻaaoga mulimuli ane. Ona o nai faʻafitauli laiti i luga o le faʻagaioiga, gaioiga, lelei ma le saogalemu e fesoʻotaʻi, e tatau ona faʻalauteleina le ola tautua o le pamu mama, taumafai e faʻamaopoopo paleni, faʻamautinoa le lelei ma le saogalemu.
Mama mama vai mama alavai fa'apena feso'ota'iga
E tusa ai ma foliga o le sooga luga, e mafai ona vaevaeina i ituaiga nei:
1, ituaiga O-mama: o se ituaiga fou lea o le mama mama vai mama flange sootaga foliga, sosoo ai ma se ituaiga o paʻu O-mama atinaʻe, e sili atu le faatuatuaina i le faamaufaailogaina aafiaga nai lo le fufulu lautele lautele.
2, trapezoidal groove ituaiga: vai mama vacuum pump valve flange fesoʻotaʻiga ma mama uʻamea oval e pei o se fufulu, faʻaaogaina mo le galue mamafa 64 kg/cm2 valve poʻo le vevela maualuga valve
3. Ituaiga motise ma tootoo: O le gasket ma palasitika tele deformation e mafai ona faaaogaina i le auala corrosive. O le faʻamaufaʻailogaina o le mama mama mama mama e sili atu
4. Concave ma convex ituaiga: o le mamafa galue o le mama mama mama mama e maualuga atu, ma e mafai ona faaaoga le fufulu malosi.
5, ituaiga tioata: o le fufulu o le foliga o le tioata, faia i le uamea. Valau maualuga maualuga po'o valve vevela maualuga ma le mamafa galue o le 100kg/cm2
6, ituaiga lamolemole: aua o le mamafa e le maualuga valve, gaioiga sili atu ona faigofie
Vai mama mama pamu flange fesoʻotaʻiga e tele ituaiga, ae e iai taimi eseese, i le faʻaaogaina, e tatau ona tatou gauai atu i le talafeagai o le taimi, faʻamautinoa le aʻafiaga o le fesoʻotaʻiga, aua neʻi mafua ai le faaletonu o fesoʻotaʻiga, e mafua ai le faʻaleagaina o le vai. mama mama mama
Taimi meli: Ian-07-2023
