Bamka faakuumka ayaa lagu dabaqay habsocodka semiconductor arrimaha badbaadada bamka faakiyuumka ee giraanta biyahawaalkaisku xirka flange
Tobannaankii sano ee la soo dhaafay, iyada oo horumarinta degdega ah ee tignoolajiyada semiconductor, qalabka semiconductor sidoo kale waa jiil ka dambeeya hal-abuurnimo iyo horumarin. Maalmahan, wax soo saarka iyo isticmaalka qalabka semiconductor waxay ku lug leeyihiin noocyo kala duwan oo kiimiko ah iyo dhinacyo kale oo badan oo tiknoolajiyada sare ah, oo leh farsamo xoog leh oo dhamaystiran. Ma aha oo kaliya sida oo kale, horumarinta tignoolajiyada qalabka semiconductor waxay si tartiib tartiib ah u dhexgelisaa habka tikniyoolajiyada modularization ee qalabka, taasoo ka dhigaysa mid aad u iswada oo aad u caqli badan, si tartiib tartiib ah u bedesha xaaladda kala-soocidda dabiiciga ah ee qalabka iyo habka, oo had iyo jeer ku socda safka hore ee horumarinta ee warshadaha wax soo saarka nidaamka semiconductor, ciyaaro door muhiim ah oo gaar ah. Iyadoo horumarinta dheeraadka ah ee qalabka semiconductor, goobteeda codsigu waxay noqotaa mid aad u ballaaran. Goobaha kale ee wax soo saarka qalabka elektiroonigga ah, qalabka semiconductor ama qalabka ka soo baxay qalabka semiconductor ayaa sidoo kale loo korsaday heerar kala duwan, noqdaan goob cusub oo qalab semiconductor ah. Gaar ahaan aaladaha elektiroonigga ah ee micro/nano, nidaamyada micro/nano optoelectromechanical iyo alaabooyinka kale ee wax soo saarka ee cabbirka aadka u yar iyo saxnaanta sare, waxay muhiimad aad u muhiim ah u leedahay horumarinta qaybaha elektiroonigga ah.
vacuum habka semiconductor waxaa inta badan loo isticmaalaa in uumiga, sputtering, PECVD, vacuum etching etching, vacuum adsorption, qalabka tijaabada, vacuum nadiifinta iyo hababka kale ee isku xidhka, wax soo saarka semiconductor iyo habka wax soo saarka si fudud u soo saari gubanaya, qarxa iyo gaaska walxaha sunta ah, waxay keeni doontaa khatar wax soo saarka iyo badbaadada shaqaalaha, sidaas darteed, codsiga matoorka vacuum semiconductor waxay u baahan yihiin inay fiiro gaar ah u yeeshaan dhowr arrimood oo nabdoon:
1. Sifee oo nadiifi bamka faakuumka iyo agabka kale, shaandhaynta iyo tuubada jadwalka si aad uga fogaato cadaadis xad dhaaf ah:
Codsiga bamka vacuum semiconductor, ka kooban dhexdhexaadinta laga soo saaray qolka falcelinta iyo bamka faakuumka ayaa noqon kara mid aad u adag. Tusaale ahaan, SiH4 iyo O2 waxay sameeyaan SiO2 ee dekedda bamka, iyo hydrolysis ee TiCl4 waxay sameyn doonaan HCl; Iyadoo loo maleynayo in shaabadda saliidda nooca bamka farsamada, walxaha gaaska sidoo kale laga yaabo in lagu beddelo saliidda bamka. Isbeddelladani waxay u maleynayaan in ay abuurmaan qaybo, walxo xinjiro leh, ama warbaahinta erosive, kuwaas oo laga yaabo in ay xiraan bamka vacuum ama nidaamka tuubooyinka, saameynaya shaqada matoorka vacuum, sababa cadaadiska kor u kaca ama cadaadiska, khatarta ku xusan qodobka labaad ayaa ka weyn. Sidaa darteed, waa lagama maarmaan in la nadiifiyo wakhtiga, oo la dhigo qalabka shaandhaynta marka loo baahdo.
2, qasitaan wax ku ool ah ee diirada gaaska waxyeelada leh:
Semiconductor waxay u nugul tahay inay soo saarto kuwan kor ku xusan ee gubanaya iyo kuwa qarxa, sunta iyo gaasaska waxyeelada leh. Sidaa darteed, marka la adeegsanayo bamka vacuum semiconductor, marka la soo saarayo warbaahintan, waxaa lagama maarmaan ah in laga hortago inay yeeshaan falcelin aan la xakamayn karin oo ku jira bamka vacuum ama habka qiiqa. Sida SiH4, PH3, AsH3, B2H6 iyo walxaha kale, marka ay la xiriiraan hawada ama ogsijiinta, waxay keeni doontaa gubasho ama xitaa; Gaaska Hydrogen wuxuu sidoo kale gubaa marka saamiga isku dhafka ah ee hawadu uu gaaro heerkul gaar ah. Dhammaan waxay kuxirantahay qadarka walaxda iyo xiriirka ay la leedahay cadaadiska iyo heerkulka deegaanka. Sidaa darteed, marka matoorka vacuum-ka ee semiconductor uu soo saaro warbaahintan, waxay u baahan tahay inay isticmaasho gaas aan shaqaynayn, sida nitrogen, si loo milo gaasaskan meel nabdoon ka hor inta aan la cadaadin.
3. U fiirso fiirsashada ogsijiinta:
Haddii ogsijiinta hawadu ay aad u sarreyso, gubasho iyo khatar ayaa dhacaysa. Sidaa darteed, xaaladaha qaarkood, fiiro gaar ah waa in la bixiyaa feejignaanta oksijiinta, iyadoo la adeegsanayo gaas aan firfircooneyn si loo milo, si looga hortago feejignaan aad u sarreeya; Iyadoo loo malaynayo in bamka farsamada ee saliidda uu sidoo kale u baahan karo inuu isticmaalo qaar ka mid ah saliidda bamka faakuumka ee aan shaqaynayn iyo ogsijiinta, iyo beddelka waqtiga ku habboon filtarrada saliidda iyo alaabta saliidda.
4, ka ilaali heerkulka aadka u sarreeya:
Way fududahay in la fahmo qodobkan. Codsiga semiconductor ee matoorka vacuum, waxaa jira gaasyo waxyeello badan leh. Haddii bamka faakuumka qallalan uu weli yahay bamka farsamada gacanta ee saliidda, heerkulka qolka matoorku aad buu u sarreeyaa, oo guban kara iyo walxaha qarxa iyo gaaska du waxay si fudud khatar ugu noqonayaan heerkulka sare.
4-ta dhinac ee kor ku xusan ayaa ah arrimaha ugu muhiimsan ee badbaadada marka la isticmaalo bamka faakuumka semiconductor. Guud ahaan, bambooyin farsamo oo saliid ah waxay u baahan yihiin inay fiiro gaar ah u yeeshaan faahfaahin dheeraad ah oo badbaado leh marka loo eego bambooyin vacuum ah oo qallalan, qashin-qubka ayaa aad u adag. Marka aan isticmaalno bambooyinka vacuum, waxaan u baahannahay inaan fiiro gaar ah u yeelano taxaddarrada badbaadada ee kirishbooyada, oo aan shaqo fiican ku qabanno buug-gacmeedka marka la isticmaalayo hadhow. Sababtoo ah dhibaatooyinka yaryar ee hawlgalka, wax soo saarka, waxtarka iyo badbaadada ayaa isku xiran, waa in aan kordhineynaa nolosha adeegga bamka vacuum, ku dadaalno iskudubarid isku dheelitirka, hubinta waxtarka iyo badbaadada.
giraanta biyaha fakiyuumka bamka faanka foomamka isku xirka flange
Marka loo eego qaabka dusha wadajirka ah, waxaa loo qaybin karaa noocyada soo socda:
1, nooca O-ring: kani waa nooc cusub oo giraanta biyaha vacuum bamka isku xirka foomamka flange, waxaa raacay noocyo kala duwan oo ka mid ah horumarinta caag O-ring, waa ka badan oo lagu kalsoonaan karo in saamayn shaabadeynta ka badan dhaqo guri guud.
2, nooca jeexdin trapezoidal: giraanta biyaha vacuum pump valve flange xiriir la giraanta birta oval sida dhaqe, loo isticmaalo cadaadiska shaqada 64 kg / cm2 waalka ama heerkulka sare
3. Mortise iyo nooca jeexdin: Gaskatka leh qallafsanaanta balaastiigga weyn waxaa loo isticmaali karaa dhexdhexaadinta daxalka. Saamaynta xidhitaanka ee bamka faakuumka giraanta biyaha ayaa ka fiican
4. Nooca Concave iyo convex: cadaadiska shaqada ee bamka faakuumka giraanta biyaha ayaa ka sarreeya, oo mashiinnada adag ayaa la isticmaali karaa
5, nooca lens-ka: dhaqdhaqaagu waa qaabka muraayadda, oo ka samaysan bir. Gawaarida cadaadiska sare ama heerkulka sare ee cadaadiska shaqada ee 100kg/cm2
6, nooca siman: cadaadiska ma aha waalka sare, ka baaraandegidda ku habboon
Xidhiidhka isku xirka bamka vacuum bamka biyaha waxaa jira qaabab badan, laakiin waxay leeyihiin marar kala duwan, isticmaalka, waa in aan fiiro gaar ah u siin ku habboonaanta munaasabadda, hubinta saameynta xiriirka, ha keenin fashilka xiriirka, taasoo keentay dhaawaca biyaha. giraanta vacuum bamka
Waqtiga boostada: Jan-07-2023
