Вакумска пумпа примењена на полупроводничке процесе Безбедност водених прстенова вакуум пумпевентилприрубнички прикључак
Током протеклих деценија, са брзим развојем полупроводничке технологије, полупроводничка опрема је такође у иновацијама и развоју генерације за генерацијом. Данас, производња и употреба полупроводничке опреме укључује низ хемијских елемената и многе друге аспекте високе технологије, са јаким техничким свеобухватним. Не само као таква, развој технологије полупроводничке опреме постепено интегрише модуларизацију процесне технологије у опрему, чинећи је високо аутоматизованом и високо интелигентном, постепено мењајући ситуацију природног раздвајања опреме и процеса, и увек ходајући у првим редовима развоја индустрије производње полупроводничких система, играјући посебну важну улогу. Са даљим развојем полупроводничке опреме, поље њене примене постаје све шире. У другим областима производње електронских уређаја, полупроводничка опрема или опрема која је еволуирала из полупроводничке опреме такође се усвајају у различитом степену, постајући нова област примене полупроводничке опреме. Посебно у области микро/нано електронских уређаја, микро/нано оптоелектромеханичких система и других производа изузетно малих димензија и високе прецизности, има изузетно важан значај за развој електронских компоненти.
Полупроводнички процесни вакуум се углавном користи у испаравању, прскању, ПЕЦВД, вакуумском сувом јеткању, вакуумској адсорпцији, опреми за тестирање, усисном чишћењу и другим процесима везивања, полупроводнички процес производње и производње лако производи запаљив, експлозиван и отрован материјал гас, представљаће претњу за безбедност производње и особља, стога при примени полупроводничке вакуум пумпе треба обратити пажњу на неколико безбедносних питања:
1. Филтрирајте и очистите вакуум пумпу и другу додатну опрему, филтер и цев према распореду да бисте избегли прекомерни притисак:
У примени полупроводничке вакуум пумпе, састав медијума екстрахован кроз реакциону комору и вакуум пумпу може бити изузетно сложен. На пример, СиХ4 и О2 формирају СиО2 на прикључку за пумпу, а хидролиза ТиЦл4 ће формирати ХЦл; Под претпоставком да је механичка пумпа типа уљног заптивача, ове гасне супстанце се такође могу обрнути са уљем пумпе. Ове промене претпостављају стварање честица, материјала који се коагулише или ерозивних медија, који могу зачепити вакуум пумпу или систем цевовода, утицати на функцију вакуум пумпе, узроковати пораст притиска или надпритисак, а ризик поменут у другој тачки је већи. Због тога је потребно на време очистити, а по потреби поставити опрему за филтрирање.
2, ефективно разблаживање концентрације штетног гаса:
Полупроводник је склон да производи горе поменуте запаљиве и експлозивне, токсичне и штетне гасове. Због тога је у примени полупроводничке вакуум пумпе, приликом екстракције ових медија, потребно спречити да дође до неких неконтролисаних реакција у вакуум пумпи или у процесу издувавања. Као што су СиХ4, ПХ3, АсХ3, Б2Х6 и друге супстанце, у контакту са ваздухом или кисеоником, ће изазвати сагоревање или чак; Гас водоник такође гори када однос смеше у ваздуху достигне одређену температуру. Све зависи од количине супстанце и њеног односа са притиском и температуром околине. Стога, када полупроводничка вакуум пумпа екстрахује ове медије, она треба да користи инертни гас, као што је азот, да разблажи ове гасове до безбедног опсега пре компресије.
3. Обратите пажњу на концентрацију кисеоника:
Ако је кисеоник у ваздуху превисок, доћи ће до сагоревања и ризика. Због тога у неким случајевима треба обратити пажњу на концентрацију кисеоника, користећи инертни гас за разблаживање, како би се спречила превисока концентрација; Под претпоставком да ће механичка пумпа за уљне заптивке такође морати да користи неко инертно уље за вакуум пумпу компатибилно са кисеоником и благовремену замену филтера за уље и нафтних производа.
4, спречите превисоку температуру:
Лако је разумети ову тачку. У примени полупроводника у вакуум пумпи има више штетних гасова. Без обзира да ли је сува вакуум пумпа и даље механичка пумпа са уљним заптивкама, температура у комори пумпе је превисока, а запаљиви и експлозивни и ду гас ће лако бити опасни на високој температури.
Горња 4 аспекта су главна безбедносна питања у примени полупроводничке вакуум пумпе. Генерално, механичке пумпе са уљним заптивкама треба да обрате пажњу на више безбедносних детаља од сувих вакуумских пумпи, одлагање је сложеније. Када користимо вакуум пумпе, морамо да обратимо пажњу на мере предострожности у проводнику, и да урадимо добар посао у упутству за употребу приликом касније употребе. Због малих проблема везаних за рад, излаз, ефикасност и безбедност, требало би да продужимо радни век вакуум пумпе, да тежимо координацији равнотеже, обезбедимо ефикасност и сигурност.
Прирубнички облик прикључка вентила вакуумске пумпе воденог прстена
Према облику површине зглоба, може се поделити на следеће типове:
1, тип О-прстена: ово је нова врста прирубнице вакуумске пумпе са воденим прстеном, праћено разним развојем гумених О-прстенова, поузданији је у ефекту заптивања од опште равне подлошке
2, тип трапезног жлеба: водени прстен вакуум пумпа вентил прирубнички прикључак са овалним металним прстеном као подлошком, користи се за радни притисак 64 кг/цм2 вентил или вентил високе температуре
3. Тип утора и жљебова: Заптивка са великом пластичном деформацијом може се користити у корозивном медију. Ефекат заптивања воденог прстена вакуум пумпе је бољи
4. Конкавни и конвексни тип: радни притисак вакуумске пумпе воденог прстена је већи, а може се користити тврда подлошка
5, тип сочива: подлошка је облика сочива, направљена од метала. Вентили високог притиска или високотемпературни вентили са радним притиском од 100кг/цм2
6, глатки тип: за притисак није висок вентил, обрада је погоднија
Прирубнички прикључак воденог прстена вакуум пумпе има много облика, али имају различите прилике, у употреби, треба обратити пажњу на прикладност прилике, осигурати ефекат везе, не узроковати квар везе, што доводи до оштећења воде прстенаста вакуум пумпа
Време поста: Јан-07-2023
