Vakuumpump applicerad på halvledarprocesssäkerhet betyder vattenringvakuumpumpventilflänsanslutning
Under de senaste decennierna, med den snabba utvecklingen av halvledarteknik, är halvledarutrustning också i generation efter generation innovation och utveckling. Nuförtiden innefattar tillverkning och användning av halvledarutrustning en mängd olika kemiska element och många andra aspekter av högteknologi, med en stark teknisk heltäckande. Inte bara som sådan integrerar utvecklingen av halvledarutrustningsteknologi gradvis processteknologins modularisering i utrustningen, vilket gör den mycket automatiserad och mycket intelligent, gradvis förändrar situationen för naturlig separation av utrustning och process, och går alltid i framkant av utvecklingen av halvledarsystem tillverkningsindustrin, spelar en särskilt viktig roll. Med vidareutvecklingen av halvledarutrustning blir dess tillämpningsområde mer och mer brett. Inom andra områden för tillverkning av elektroniska anordningar används också halvledarutrustning eller utrustning som utvecklats från halvledarutrustning i varierande grad, vilket blir ett nytt område för tillämpning av halvledarutrustning. Speciellt inom området för mikro/nano elektroniska enheter, mikro/nano optoelektromekaniska system och andra produkttillverkningsfält av extremt liten storlek och hög precision, har det extremt viktig betydelse för utvecklingen av elektroniska komponenter.
Halvledarprocessvakuum används huvudsakligen i förångning, sputtering, PECVD, vakuumtorretsning, vakuumadsorption, testutrustning, dammsugare och andra bindningsprocesser, halvledarproduktion och tillverkningsprocess som lätt producerar brandfarlig, explosiv och giftig materialgas, kommer att utgöra ett hot mot produktion och personalsäkerhet, därför måste tillämpningen av halvledarvakuumpump uppmärksamma flera säkerhetsfrågor:
1. Filtrera och rengör vakuumpumpen och andra tillbehör, filter och rör enligt schemat för att undvika övertryck:
Vid tillämpning av en halvledarvakuumpump kan sammansättningen av mediet som extraheras genom reaktionskammaren och vakuumpumpen vara extremt komplex. Till exempel bildar SiH4 och O2 SiO2 vid pumpporten, och hydrolysen av TiCl4 kommer att bilda HCl; Om man antar att en mekanisk pump av oljetätningstyp, kan dessa gasämnen också reverseras med pumpoljan. Dessa förändringar förutsätter bildandet av partiklar, koagulerbart material eller erosiva medier, som kan täppa till vakuumpumpen eller rörsystemet, påverka vakuumpumpens funktion, orsaka tryckstegring eller övertryck, och risken som nämns i den andra punkten är större. Därför är det nödvändigt att rengöra i tid och ställa in filterutrustning vid behov.
2, effektiv utspädning av skadlig gaskoncentration:
Halvledare är benägna att producera de ovan nämnda brandfarliga och explosiva, giftiga och skadliga gaserna. Därför, vid tillämpningen av en halvledarvakuumpump, när man extraherar dessa medier, är det nödvändigt att förhindra att de får några okontrollerbara reaktioner i vakuumpumpen eller i avgasprocessen. Såsom SiH4, PH3, AsH3, B2H6 och andra ämnen, i kontakt med luft eller syre, kommer att orsaka förbränning eller till och med; Vätgas brinner också när blandningsförhållandet i luften når en viss temperatur. Allt beror på mängden av ämnet och dess förhållande till omgivningens tryck och temperatur. Därför, när halvledarvakuumpumpen extraherar dessa medier, måste den använda en inert gas, såsom kväve, för att späda ut dessa gaser till ett säkert område före kompression.
3. Var uppmärksam på koncentrationen av syre:
Om syre i luften är för högt uppstår förbränning och risk. Därför, i vissa fall, bör uppmärksamhet ägnas åt koncentrationen av syre, med hjälp av inert gas för att späda, för att förhindra för hög koncentration; Förutsatt att oljetätningens mekaniska pump också kan behöva använda lite inert och syrekompatibel vakuumpumpolja och snabbt byte av oljefilter och oljeprodukter.
4, förhindra att temperaturen är för hög:
Det är lätt att förstå denna punkt. Vid tillämpning av halvledare i vakuumpump finns det fler skadliga gaser. Oavsett om torr vakuumpump fortfarande är en mekanisk oljetätningspump, är temperaturen i pumpkammaren för hög och brandfarlig och explosiv och du gas kommer lätt att vara farlig vid hög temperatur.
Ovanstående fyra aspekter är de viktigaste säkerhetsfrågorna vid tillämpningen av en halvledarvakuumpump. I allmänhet måste mekaniska pumpar med oljetätningar vara uppmärksamma på fler säkerhetsdetaljer än torra vakuumpumpar, bortskaffandet är mer komplext. När vi använder vakuumpumpar måste vi vara uppmärksamma på säkerhetsföreskrifterna i ledaren, och göra ett bra jobb i bruksanvisningen vid senare användning. På grund av de små problemen med drift, effekt, effektivitet och säkerhet är sammanlänkade, bör vi förlänga vakuumpumpens livslängd, sträva efter att samordna balansen, säkerställa effektivitet och säkerhet.
Vattenring vakuumpump ventil flänsanslutning form
Beroende på formen på fogytan kan den delas in i följande typer:
1, O-ring typ: detta är en ny typ av vattenring vakuumpump flänsanslutning form, följs av en mängd olika gummi O-ring utveckling, den är mer tillförlitlig i tätningseffekt än den allmänna plattbrickan
2, trapetsformad spårtyp: vattenring vakuumpumpventilflänsanslutning med oval metallring som bricka, används för arbetstryck 64 kg/cm2 ventil eller högtemperaturventil
3. Insticks- och spårtyp: Packningen med stor plastisk deformation kan användas i det korrosiva mediet. Tätningseffekten av vattenringvakuumpumpen är bättre
4. Konkav och konvex typ: arbetstrycket för vattenringvakuumpumpen är högre, och den hårda brickan kan användas
5, linstyp: brickan är formen på linsen, gjord av metall. Högtrycksventiler eller högtemperaturventiler med arbetstryck på 100kg/cm2
6, slät typ: för trycket är inte hög ventil, bearbetning bekvämare
Vattenringvakuumpumpflänsanslutning finns det många former, men de har olika tillfällen, vid användning bör vi vara uppmärksamma på tillfällets lämplighet, säkerställa effekten av anslutningen, orsaka inte anslutningsfel, vilket resulterar i skador på vattnet ring vakuumpump
Posttid: Jan-07-2023
