Pampu ya utupu inayotumika kwa masuala ya usalama wa mchakato wa semiconductor pampu ya utupu ya pete ya majivalveuunganisho wa flange
Katika miongo kadhaa iliyopita, pamoja na maendeleo ya haraka ya teknolojia ya semiconductor, vifaa vya semiconductor pia viko katika uvumbuzi na maendeleo ya kizazi baada ya kizazi. Siku hizi, utengenezaji na utumiaji wa vifaa vya semiconductor huhusisha aina mbalimbali za vipengele vya kemikali na vipengele vingine vingi vya teknolojia ya juu, na kina cha kiufundi cha nguvu. Sio hivyo tu, maendeleo ya teknolojia ya vifaa vya semiconductor hatua kwa hatua huunganisha moduli ya teknolojia ya mchakato ndani ya vifaa, na kuifanya kuwa ya kiotomatiki na yenye akili sana, hatua kwa hatua kubadilisha hali ya mgawanyiko wa asili wa vifaa na mchakato, na daima kutembea katika mstari wa mbele wa maendeleo. wa tasnia ya utengenezaji wa mfumo wa semiconductor, ikicheza jukumu maalum muhimu. Pamoja na maendeleo zaidi ya vifaa vya semiconductor, uwanja wake wa maombi unakuwa zaidi na zaidi. Katika nyanja zingine za utengenezaji wa vifaa vya elektroniki, vifaa vya semiconductor au vifaa vilivyobadilishwa kutoka kwa vifaa vya semiconductor pia hupitishwa kwa viwango tofauti, na kuwa uwanja mpya wa matumizi ya vifaa vya semiconductor. Hasa katika vifaa vya kielektroniki vidogo/nano, mifumo ya micro/nano optoelectromechanical na uga wa utengenezaji wa bidhaa nyingine za ukubwa mdogo sana na usahihi wa hali ya juu, ina umuhimu muhimu sana kwa maendeleo ya vipengele vya kielektroniki.
Utupu wa mchakato wa semiconductor hutumiwa hasa katika uvukizi, unyunyiziaji, PECVD, uwekaji wa kavu ya utupu, adsorption ya utupu, vifaa vya mtihani, kusafisha utupu na michakato mingine ya kuunganisha, uzalishaji wa semiconductor na mchakato wa utengenezaji huzalisha kwa urahisi gesi ya nyenzo inayoweza kuwaka, inayolipuka na yenye sumu, itakuwa tishio kwa uzalishaji na usalama wa wafanyikazi, kwa hivyo, utumiaji wa pampu ya utupu wa semiconductor unahitaji kuzingatia mambo kadhaa ya usalama:
1. Chuja na safisha pampu ya utupu na vifaa vingine, chujio na bomba kwa ratiba ili kuzuia shinikizo kupita kiasi:
Katika matumizi ya pampu ya utupu ya semiconductor, muundo wa kati iliyotolewa kupitia chumba cha majibu na pampu ya utupu inaweza kuwa ngumu sana. Kwa mfano, SiH4 na O2 huunda SiO2 kwenye bandari ya pampu, na hidrolisisi ya TiCl4 itaunda HCl; Kwa kudhani kuwa pampu ya mitambo ya aina ya muhuri wa mafuta, vitu hivi vya gesi vinaweza pia kubadilishwa na mafuta ya pampu. Mabadiliko haya huchukua uundaji wa chembe, nyenzo zinazoweza kuganda, au vyombo vya habari vinavyosababisha mmomonyoko, ambavyo vinaweza kuziba pampu ya utupu au mfumo wa bomba, kuathiri utendakazi wa pampu ya utupu, kusababisha kupanda kwa shinikizo au shinikizo kupita kiasi, na hatari iliyotajwa katika hatua ya pili ni kubwa zaidi. Kwa hiyo, ni muhimu kusafisha kwa wakati, na kuanzisha vifaa vya kuchuja ikiwa ni lazima.
2, dilution ufanisi wa mkusanyiko wa gesi hatari:
Semiconductor huwa na uwezekano wa kuzalisha gesi zilizotajwa hapo juu zinazoweza kuwaka na zinazolipuka, zenye sumu na hatari. Kwa hiyo, katika matumizi ya pampu ya utupu wa semiconductor, wakati wa kuchimba vyombo vya habari hivi, ni muhimu kuwazuia kutokana na athari zisizoweza kudhibitiwa katika pampu ya utupu au katika mchakato wa kutolea nje. Kama vile SiH4, PH3, Ash3, B2H6 na vitu vingine, vinapogusana na hewa au oksijeni, vitasababisha mwako au hata; Gesi ya hidrojeni pia huwaka wakati uwiano wa mchanganyiko katika hewa unafikia joto fulani. Yote inategemea kiasi cha dutu na uhusiano wake na shinikizo na joto la mazingira. Kwa hivyo, pampu ya utupu ya semicondukta inapodondosha midia hii, inahitaji kutumia gesi ajizi, kama vile nitrojeni, ili kuzimua gesi hizi hadi safu salama kabla ya kugandamizwa.
3. Zingatia mkusanyiko wa oksijeni:
Ikiwa oksijeni katika hewa ni ya juu sana, mwako na hatari itatokea. Kwa hiyo, katika baadhi ya matukio, tahadhari inapaswa kulipwa kwa mkusanyiko wa oksijeni, kwa kutumia gesi ya inert ili kuondokana, ili kuzuia mkusanyiko mkubwa sana; Ikizingatiwa kuwa pampu ya mitambo ya kuziba mafuta inaweza pia kuhitaji kutumia mafuta ya pampu ya utupu ya ajizi na yanayoendana na oksijeni, na uingizwaji wa vichungi vya mafuta na bidhaa za mafuta kwa wakati.
4, kuzuia joto la juu sana:
Ni rahisi kuelewa hatua hii. Katika matumizi ya semiconductor katika pampu ya utupu, kuna gesi hatari zaidi. Iwapo pampu ya utupu kavu bado ni pampu ya mitambo ya kuziba mafuta, halijoto katika chumba cha pampu ni ya juu sana, na inayoweza kuwaka na kulipuka na gesi ya du itakuwa hatari kwa urahisi kwenye joto la juu.
Vipengele 4 hapo juu ndio maswala kuu ya usalama katika utumiaji wa pampu ya utupu ya semiconductor. Kwa ujumla, pampu za mitambo ya muhuri wa mafuta zinahitaji kulipa kipaumbele kwa maelezo zaidi ya usalama kuliko pampu za utupu kavu, ovyo ni ngumu zaidi. Tunapotumia pampu za utupu, tunahitaji kuzingatia tahadhari za usalama katika kondakta, na kufanya kazi nzuri katika mwongozo wa uendeshaji wakati wa kutumia baadaye. Kwa sababu ya matatizo madogo juu ya uendeshaji, pato, ufanisi na usalama huunganishwa, tunapaswa kupanua maisha ya huduma ya pampu ya utupu, kujitahidi kuratibu usawa, kuhakikisha ufanisi na usalama.
pete ya maji utupu pampu valve flange uhusiano fomu
Kulingana na sura ya uso wa pamoja, inaweza kugawanywa katika aina zifuatazo:
1, O-pete aina: hii ni aina mpya ya maji pete utupu pampu flange uhusiano fomu, ikifuatiwa na aina ya maendeleo ya mpira O-pete, ni ya kuaminika zaidi katika athari kuziba kuliko washer ujumla gorofa.
2, aina ya trapezoidal Groove: pete ya maji ya utupu wa pampu ya valve ya flange na pete ya chuma ya mviringo kama washer, inayotumika kwa shinikizo la kazi 64 kg/cm2 valve au valve ya joto la juu.
3. Aina ya Mortise na Groove: Gasket yenye deformation kubwa ya plastiki inaweza kutumika katika kati ya babuzi. Athari ya kuziba ya pampu ya utupu ya pete ya maji ni bora zaidi
4. Aina ya concave na mbonyeo: shinikizo la kufanya kazi la pampu ya utupu ya pete ya maji ni kubwa zaidi, na washer ngumu inaweza kutumika.
5, aina ya lenzi: washer ni sura ya lenzi, iliyotengenezwa kwa chuma. Vipu vya shinikizo la juu au vali za joto la juu na shinikizo la kufanya kazi la 100kg/cm2
6, laini aina: kwa shinikizo si high valve, usindikaji rahisi zaidi
Maji pete utupu pampu flange uhusiano kuna aina nyingi, lakini wana matukio tofauti, katika matumizi, tunapaswa kulipa kipaumbele kwa kufaa kwa tukio, kuhakikisha athari za uhusiano, wala kusababisha kushindwa uhusiano, kusababisha uharibifu wa maji. pampu ya utupu wa pete
Muda wa kutuma: Jan-07-2023
