குறைக்கடத்தி செயல்முறைக்கு பயன்படுத்தப்படும் வெற்றிட பம்ப் பாதுகாப்பு விஷயங்களில் நீர் வளையம் வெற்றிட பம்ப் வால்வு வால்வு இணைப்பு

குறைக்கடத்தி செயல்முறை பாதுகாப்பு விஷயங்களில் வெற்றிட பம்ப் பயன்படுத்தப்படும் நீர் வளைய வெற்றிட பம்ப்அடைப்பான்விளிம்பு இணைப்பு

கடந்த தசாப்தங்களாக, குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களும் தலைமுறை தலைமுறையாக புதுமை மற்றும் வளர்ச்சியில் உள்ளன. இப்போதெல்லாம், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் உற்பத்தி மற்றும் பயன்பாடு பல்வேறு இரசாயன கூறுகள் மற்றும் உயர் தொழில்நுட்பத்தின் பல அம்சங்களை உள்ளடக்கியது, வலுவான தொழில்நுட்ப விரிவானது. அதுமட்டுமல்லாமல், குறைக்கடத்தி உபகரணத் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியானது, செயல்முறைத் தொழில்நுட்ப மாடுலரைசேஷனை உபகரணங்களில் படிப்படியாக ஒருங்கிணைத்து, அதை அதிக தானியங்கி மற்றும் அதிக அறிவாற்றல் கொண்டதாக மாற்றுகிறது, உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறையின் இயற்கையான பிரிப்பு நிலைமையை படிப்படியாக மாற்றி, எப்போதும் வளர்ச்சியில் முன்னணியில் உள்ளது. செமிகண்டக்டர் சிஸ்டம் உற்பத்தித் துறையில், ஒரு சிறப்பு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் மேலும் வளர்ச்சியுடன், அதன் பயன்பாட்டு புலம் மேலும் மேலும் அகலமாகிறது. பிற மின்னணு சாதன உற்பத்தித் துறைகளில், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் இருந்து உருவான குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் அல்லது உபகரணங்களும் பல்வேறு அளவுகளில் ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன, இது குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் பயன்பாட்டின் புதிய துறையாக மாறுகிறது. குறிப்பாக மைக்ரோ/நானோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள், மைக்ரோ/நேனோ ஆப்டோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் மற்றும் மிக சிறிய அளவு மற்றும் அதிக துல்லியம் கொண்ட பிற தயாரிப்புகள் உற்பத்தி துறையில், இது மின்னணு கூறுகளின் வளர்ச்சிக்கு மிக முக்கியமான முக்கியத்துவத்தை கொண்டுள்ளது.

குறைக்கடத்தி செயல்முறை வெற்றிடமானது முக்கியமாக ஆவியாதல், sputtering, PECVD, வெற்றிட உலர் பொறித்தல், வெற்றிட உறிஞ்சுதல், சோதனை உபகரணங்கள், வெற்றிட சுத்தம் மற்றும் பிற பிணைப்பு செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறை எளிதில் எரியக்கூடிய, வெடிக்கும் மற்றும் நச்சு வாயுவை உருவாக்குகிறது. உற்பத்தி மற்றும் பணியாளர்களின் பாதுகாப்பு, எனவே, குறைக்கடத்தி வெற்றிட பம்ப் பயன்பாடு பல பாதுகாப்பு விஷயங்களில் கவனம் செலுத்த வேண்டும்:

1. வெற்றிட பம்ப் மற்றும் பிற பாகங்கள், வடிகட்டி மற்றும் குழாயை வடிகட்டவும் மற்றும் சுத்தம் செய்யவும்.

குறைக்கடத்தி வெற்றிட பம்ப் பயன்பாட்டில், எதிர்வினை அறை மற்றும் வெற்றிட பம்ப் மூலம் பிரித்தெடுக்கப்படும் ஊடகத்தின் கலவை மிகவும் சிக்கலானதாக இருக்கலாம். எடுத்துக்காட்டாக, SiH4 மற்றும் O2 பம்ப் போர்ட்டில் SiO2 ஐ உருவாக்குகின்றன, மேலும் TiCl4 இன் நீராற்பகுப்பு HCl ஐ உருவாக்கும்; எண்ணெய் முத்திரை வகை இயந்திர பம்ப் என்று கருதி, இந்த வாயு பொருட்கள் பம்ப் எண்ணெயுடன் தலைகீழாக மாற்றப்படலாம். இந்த மாற்றங்கள் வெற்றிட பம்ப் அல்லது குழாய் அமைப்பை அடைத்து, வெற்றிட பம்ப் செயல்பாட்டை பாதிக்கும், அழுத்தம் அதிகரிப்பு அல்லது அதிகப்படியான அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தக்கூடிய துகள்கள், உறைதல் பொருள் அல்லது அரிப்பு ஊடகங்கள் உருவாகின்றன, மேலும் இரண்டாவது புள்ளியில் குறிப்பிடப்பட்டுள்ள ஆபத்து அதிகமாக உள்ளது. எனவே, சரியான நேரத்தில் சுத்தம் செய்வது அவசியம், தேவைப்படும்போது வடிகட்டுதல் கருவிகளை அமைக்கவும்.

2, தீங்கு விளைவிக்கும் வாயு செறிவை திறம்பட நீர்த்துப்போகச் செய்தல்:

செமிகண்டக்டர் மேலே குறிப்பிட்டுள்ள எரியக்கூடிய மற்றும் வெடிக்கும், நச்சு மற்றும் தீங்கு விளைவிக்கும் வாயுக்களை உற்பத்தி செய்ய வாய்ப்புள்ளது. எனவே, குறைக்கடத்தி வெற்றிட விசையியக்கக் குழாயின் பயன்பாட்டில், இந்த ஊடகங்களைப் பிரித்தெடுக்கும் போது, ​​வெற்றிட பம்ப் அல்லது வெளியேற்றும் செயல்பாட்டில் சில கட்டுப்பாடற்ற எதிர்வினைகள் ஏற்படுவதைத் தடுக்க வேண்டியது அவசியம். SiH4, PH3, AsH3, B2H6 மற்றும் பிற பொருட்கள், காற்று அல்லது ஆக்ஸிஜனுடன் தொடர்பு கொண்டால், எரிப்பு அல்லது கூட; காற்றில் உள்ள கலவை விகிதம் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையை அடையும் போது ஹைட்ரஜன் வாயுவும் எரிகிறது. இது அனைத்தும் பொருளின் அளவு மற்றும் சுற்றுச்சூழலின் அழுத்தம் மற்றும் வெப்பநிலையுடன் அதன் உறவைப் பொறுத்தது. எனவே, குறைக்கடத்தி வெற்றிட பம்ப் இந்த ஊடகங்களை பிரித்தெடுக்கும் போது, ​​அது அழுத்துவதற்கு முன் இந்த வாயுக்களை பாதுகாப்பான வரம்பில் நீர்த்துப்போக, நைட்ரஜன் போன்ற ஒரு மந்த வாயுவைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.

3. ஆக்ஸிஜனின் செறிவுக்கு கவனம் செலுத்துங்கள்:

காற்றில் ஆக்ஸிஜன் அதிகமாக இருந்தால், எரிப்பு மற்றும் ஆபத்து ஏற்படும். எனவே, சில சந்தர்ப்பங்களில், ஆக்ஸிஜனின் செறிவுக்கு கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும், மந்த வாயுவை நீர்த்துப்போகச் செய்து, அதிக செறிவைத் தடுக்க வேண்டும்; எண்ணெய் முத்திரை இயந்திர விசையியக்கக் குழாய் சில மந்த மற்றும் ஆக்ஸிஜன் இணக்கமான வெற்றிட பம்ப் எண்ணெயைப் பயன்படுத்த வேண்டும், மேலும் எண்ணெய் வடிகட்டிகள் மற்றும் எண்ணெய் பொருட்களை சரியான நேரத்தில் மாற்ற வேண்டும்.

4, அதிக வெப்பநிலையைத் தடுக்க:

இந்த விஷயத்தைப் புரிந்துகொள்வது எளிது. வெற்றிட பம்பில் குறைக்கடத்தியின் பயன்பாட்டில், அதிக தீங்கு விளைவிக்கும் வாயுக்கள் உள்ளன. உலர் வெற்றிட பம்ப் ஆயில் சீல் மெக்கானிக்கல் பம்பாக இருந்தாலும், பம்ப் சேம்பரில் வெப்பநிலை மிக அதிகமாக உள்ளது, மேலும் எரியக்கூடிய மற்றும் வெடிக்கும் மற்றும் டு வாயு அதிக வெப்பநிலையில் எளிதில் ஆபத்தானதாக இருக்கும்.

செமிகண்டக்டர் வெற்றிட பம்ப் பயன்பாட்டில் மேலே உள்ள 4 அம்சங்கள் முக்கிய பாதுகாப்பு விஷயங்களாகும். பொதுவாக, எண்ணெய் முத்திரை இயந்திர விசையியக்கக் குழாய்கள் உலர் வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்களை விட அதிக பாதுகாப்பு விவரங்களுக்கு கவனம் செலுத்த வேண்டும், அகற்றுவது மிகவும் சிக்கலானது. நாம் வெற்றிட பம்புகளைப் பயன்படுத்தும் போது, ​​கடத்தியில் உள்ள பாதுகாப்பு முன்னெச்சரிக்கைகளுக்கு கவனம் செலுத்த வேண்டும், பின்னர் பயன்படுத்தும் போது இயக்க கையேட்டில் ஒரு நல்ல வேலையைச் செய்ய வேண்டும். செயல்பாடு, வெளியீடு, செயல்திறன் மற்றும் பாதுகாப்பு ஆகியவற்றில் சிறிய சிக்கல்கள் இருப்பதால், வெற்றிட பம்பின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்க வேண்டும், சமநிலையை ஒருங்கிணைக்க, செயல்திறன் மற்றும் பாதுகாப்பை உறுதி செய்ய வேண்டும்.

நீர் வளையம் வெற்றிட பம்ப் வால்வு விளிம்பு இணைப்பு வடிவம்

கூட்டு மேற்பரப்பின் வடிவத்தின் படி, அதை பின்வரும் வகைகளாக பிரிக்கலாம்:

1, ஓ-ரிங் வகை: இது ஒரு புதிய வகை வாட்டர் ரிங் வெற்றிட பம்ப் ஃபிளேன்ஜ் இணைப்பு வடிவம், தொடர்ந்து பலவிதமான ரப்பர் ஓ-ரிங் மேம்பாடு உள்ளது, இது பொது பிளாட் வாஷரை விட சீல் விளைவுகளில் மிகவும் நம்பகமானது

2, ட்ரெப்சாய்டல் பள்ளம் வகை: வாட்டர் ரிங் வெற்றிட பம்ப் வால்வு விளிம்பு இணைப்பு, ஓவல் உலோக வளையத்துடன் ஒரு வாஷராக, வேலை அழுத்தம் 64 கிலோ/செமீ 2 வால்வு அல்லது உயர் வெப்பநிலை வால்வு பயன்படுத்தப்படுகிறது

3. மோர்டைஸ் மற்றும் பள்ளம் வகை: பெரிய பிளாஸ்டிக் சிதைவு கொண்ட கேஸ்கெட்டை அரிக்கும் ஊடகத்தில் பயன்படுத்தலாம். நீர் வளைய வெற்றிட பம்பின் சீல் விளைவு சிறந்தது

4. குழிவான மற்றும் குவிந்த வகை: நீர் வளைய வெற்றிட பம்பின் வேலை அழுத்தம் அதிகமாக உள்ளது, மேலும் கடினமான வாஷரைப் பயன்படுத்தலாம்

5, லென்ஸ் வகை: வாஷர் என்பது உலோகத்தால் செய்யப்பட்ட லென்ஸின் வடிவம். 100kg/cm2 வேலை அழுத்தத்துடன் கூடிய உயர் அழுத்த வால்வுகள் அல்லது உயர் வெப்பநிலை வால்வுகள்

6, மென்மையான வகை: அழுத்தம் உயர் வால்வு அல்ல, செயலாக்க மிகவும் வசதியானது

வாட்டர் ரிங் வெற்றிட பம்ப் ஃபிளேன்ஜ் இணைப்பு பல வடிவங்கள் உள்ளன, ஆனால் அவை வெவ்வேறு சந்தர்ப்பங்களைக் கொண்டுள்ளன, பயன்பாட்டில், சந்தர்ப்பத்தின் பொருத்தத்தை நாம் கவனிக்க வேண்டும், இணைப்பின் விளைவை உறுதி செய்ய வேண்டும், இணைப்பு செயலிழப்பை ஏற்படுத்தாதீர்கள், இதன் விளைவாக தண்ணீருக்கு சேதம் ஏற்படுகிறது. மோதிர வெற்றிட பம்ப்