సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియకు వర్తించే వాక్యూమ్ పంప్ భద్రతా విషయాలు నీటి రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్ వాల్వ్ ఫ్లాంజ్ కనెక్షన్

సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియకు వర్తించే వాక్యూమ్ పంప్ భద్రతా విషయాలు వాటర్ రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్వాల్వ్అంచు కనెక్షన్

గత దశాబ్దాలుగా, సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ యొక్క వేగవంతమైన అభివృద్ధితో, సెమీకండక్టర్ పరికరాలు కూడా తరం ఆవిష్కరణ మరియు అభివృద్ధి తర్వాత తరంలో ఉన్నాయి. ఈ రోజుల్లో, సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీ మరియు ఉపయోగం వివిధ రసాయన మూలకాలు మరియు అధిక సాంకేతికత యొక్క అనేక ఇతర అంశాలను కలిగి ఉంటుంది, ఇది బలమైన సాంకేతిక సమగ్రతను కలిగి ఉంటుంది. అలాగే, సెమీకండక్టర్ పరికరాల సాంకేతికత అభివృద్ధి ప్రక్రియ సాంకేతికత మాడ్యులరైజేషన్‌ను పరికరానికి క్రమంగా అనుసంధానిస్తుంది, ఇది అత్యంత ఆటోమేటెడ్ మరియు అత్యంత తెలివైనదిగా చేస్తుంది, క్రమంగా పరికరాలు మరియు ప్రక్రియ యొక్క సహజ విభజన యొక్క పరిస్థితిని మారుస్తుంది మరియు ఎల్లప్పుడూ అభివృద్ధిలో ముందంజలో ఉంటుంది. సెమీకండక్టర్ సిస్టమ్ తయారీ పరిశ్రమ, ప్రత్యేక ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తోంది. సెమీకండక్టర్ పరికరాల మరింత అభివృద్ధితో, దాని అప్లికేషన్ ఫీల్డ్ మరింత విస్తృతంగా మారుతుంది. ఇతర ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీ రంగాలలో, సెమీకండక్టర్ పరికరాల నుండి ఉద్భవించిన సెమీకండక్టర్ పరికరాలు లేదా పరికరాలు కూడా వివిధ స్థాయిలలో స్వీకరించబడతాయి, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల అప్లికేషన్ యొక్క కొత్త రంగంగా మారింది. ముఖ్యంగా మైక్రో/నానో ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు, మైక్రో/నానో ఆప్టోఎలక్ట్రోమెకానికల్ సిస్టమ్స్ మరియు ఇతర ఉత్పత్తుల తయారీ రంగంలో చాలా చిన్న పరిమాణం మరియు అధిక ఖచ్చితత్వం, ఎలక్ట్రానిక్ భాగాల అభివృద్ధికి ఇది చాలా ముఖ్యమైన ప్రాముఖ్యతను కలిగి ఉంది.

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెస్ వాక్యూమ్ ప్రధానంగా బాష్పీభవనం, స్పుట్టరింగ్, PECVD, వాక్యూమ్ డ్రై ఎచింగ్, వాక్యూమ్ అధిశోషణం, పరీక్షా పరికరాలు, వాక్యూమ్ క్లీనింగ్ మరియు ఇతర బంధం ప్రక్రియలు, సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి మరియు తయారీ ప్రక్రియలో సులభంగా లేపే, పేలుడు మరియు విషపూరితమైన వాయువును ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఉత్పత్తి మరియు సిబ్బంది భద్రత, కాబట్టి, సెమీకండక్టర్ వాక్యూమ్ పంప్ యొక్క అప్లికేషన్ అనేక భద్రతా విషయాలకు శ్రద్ద అవసరం:

1. అధిక ఒత్తిడిని నివారించడానికి వాక్యూమ్ పంప్ మరియు ఇతర ఉపకరణాలు, ఫిల్టర్ మరియు పైప్‌లను షెడ్యూల్ ప్రకారం ఫిల్టర్ చేసి శుభ్రం చేయండి:

సెమీకండక్టర్ వాక్యూమ్ పంప్ యొక్క అప్లికేషన్‌లో, రియాక్షన్ ఛాంబర్ మరియు వాక్యూమ్ పంప్ ద్వారా సంగ్రహించబడిన మాధ్యమం యొక్క కూర్పు చాలా క్లిష్టంగా ఉండవచ్చు. ఉదాహరణకు, SiH4 మరియు O2 పంప్ పోర్ట్ వద్ద SiO2ను ఏర్పరుస్తాయి మరియు TiCl4 యొక్క జలవిశ్లేషణ HClను ఏర్పరుస్తుంది; ఆయిల్ సీల్ రకం మెకానికల్ పంప్ అని ఊహిస్తే, ఈ గ్యాస్ పదార్థాలు కూడా పంప్ ఆయిల్‌తో తిరగబడవచ్చు. ఈ మార్పులు వాక్యూమ్ పంప్ లేదా పైపింగ్ సిస్టమ్‌ను అడ్డుకునే కణాలు, గడ్డకట్టే పదార్థం లేదా ఎరోసివ్ మీడియా ఏర్పడినట్లు ఊహిస్తాయి, వాక్యూమ్ పంప్ పనితీరును ప్రభావితం చేస్తాయి, ఒత్తిడి పెరగడానికి లేదా అధిక ఒత్తిడికి కారణమవుతాయి మరియు రెండవ పాయింట్‌లో పేర్కొన్న ప్రమాదం ఎక్కువగా ఉంటుంది. అందువలన, సమయం లో శుభ్రం చేయడానికి అవసరం, మరియు అవసరమైనప్పుడు ఫిల్టరింగ్ పరికరాలు ఏర్పాటు.

2, హానికరమైన వాయువు సాంద్రత యొక్క ప్రభావవంతమైన పలుచన:

సెమీకండక్టర్ పైన పేర్కొన్న మండే మరియు పేలుడు, విష మరియు హానికరమైన వాయువులను ఉత్పత్తి చేసే అవకాశం ఉంది. అందువల్ల, సెమీకండక్టర్ వాక్యూమ్ పంప్ యొక్క దరఖాస్తులో, ఈ మీడియాను సంగ్రహిస్తున్నప్పుడు, వాక్యూమ్ పంప్ లేదా ఎగ్సాస్ట్ ప్రక్రియలో కొన్ని అనియంత్రిత ప్రతిచర్యలను కలిగి ఉండకుండా నిరోధించడం అవసరం. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 మరియు ఇతర పదార్థాలు, గాలి లేదా ఆక్సిజన్‌తో సంపర్కంలో దహనానికి కారణమవుతాయి లేదా కూడా; గాలిలో మిశ్రమ నిష్పత్తి నిర్దిష్ట ఉష్ణోగ్రతకు చేరుకున్నప్పుడు హైడ్రోజన్ వాయువు కూడా మండుతుంది. ఇది అన్ని పదార్ధం మొత్తం మరియు పర్యావరణం యొక్క ఒత్తిడి మరియు ఉష్ణోగ్రతకు దాని సంబంధంపై ఆధారపడి ఉంటుంది. అందువల్ల, సెమీకండక్టర్ వాక్యూమ్ పంప్ ఈ మాధ్యమాలను వెలికితీసినప్పుడు, కుదింపుకు ముందు ఈ వాయువులను సురక్షితమైన పరిధికి పలుచన చేయడానికి నైట్రోజన్ వంటి జడ వాయువును ఉపయోగించాలి.

3. ఆక్సిజన్ గాఢతపై శ్రద్ధ వహించండి:

గాలిలో ఆక్సిజన్ చాలా ఎక్కువగా ఉంటే, దహనం మరియు ప్రమాదం సంభవిస్తుంది. అందువల్ల, కొన్ని సందర్భాల్లో, చాలా ఎక్కువ సాంద్రతను నివారించడానికి, పలుచన చేయడానికి జడ వాయువును ఉపయోగించి, ఆక్సిజన్ ఏకాగ్రతకు శ్రద్ధ ఉండాలి; ఆయిల్ సీల్ మెకానికల్ పంప్ కూడా కొన్ని జడ మరియు ఆక్సిజన్ అనుకూలమైన వాక్యూమ్ పంప్ ఆయిల్‌ను ఉపయోగించాల్సి రావచ్చు మరియు ఆయిల్ ఫిల్టర్‌లు మరియు ఆయిల్ ఉత్పత్తులను సకాలంలో భర్తీ చేయవలసి ఉంటుంది.

4, అధిక ఉష్ణోగ్రతను నిరోధించండి:

ఈ విషయాన్ని అర్థం చేసుకోవడం సులభం. వాక్యూమ్ పంప్‌లో సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌లో, మరింత హానికరమైన వాయువులు ఉన్నాయి. డ్రై వాక్యూమ్ పంప్ ఇప్పటికీ ఆయిల్ సీల్ మెకానికల్ పంప్ అయినా, పంప్ ఛాంబర్‌లో ఉష్ణోగ్రత చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద మండే మరియు పేలుడు మరియు డు గ్యాస్ సులభంగా ప్రమాదకరంగా ఉంటాయి.

సెమీకండక్టర్ వాక్యూమ్ పంప్ అప్లికేషన్‌లో పైన పేర్కొన్న 4 అంశాలు ప్రధాన భద్రతా అంశాలు. సాధారణంగా, ఆయిల్ సీల్ మెకానికల్ పంపులు పొడి వాక్యూమ్ పంపుల కంటే ఎక్కువ భద్రతా వివరాలకు శ్రద్ద అవసరం, పారవేయడం చాలా క్లిష్టంగా ఉంటుంది. మేము వాక్యూమ్ పంప్‌లను ఉపయోగించినప్పుడు, కండక్టర్‌లోని భద్రతా జాగ్రత్తలపై శ్రద్ధ వహించాలి మరియు తరువాత ఉపయోగించినప్పుడు ఆపరేషన్ మాన్యువల్‌లో మంచి పని చేయాలి. ఆపరేషన్, అవుట్‌పుట్, సామర్థ్యం మరియు భద్రతపై ఉన్న చిన్న సమస్యల కారణంగా, మేము వాక్యూమ్ పంప్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగించాలి, సమతుల్యతను సమన్వయం చేయడానికి, సమర్థత మరియు భద్రతను నిర్ధారించడానికి ప్రయత్నించాలి.

వాటర్ రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్ వాల్వ్ ఫ్లాంజ్ కనెక్షన్ రూపం

ఉమ్మడి ఉపరితలం యొక్క ఆకృతి ప్రకారం, ఇది క్రింది రకాలుగా విభజించబడింది:

1, O-రింగ్ రకం: ఇది కొత్త రకం వాటర్ రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్ ఫ్లాంజ్ కనెక్షన్ ఫారమ్, వివిధ రకాల రబ్బరు O-రింగ్ అభివృద్ధిని అనుసరిస్తుంది, ఇది సాధారణ ఫ్లాట్ వాషర్ కంటే సీలింగ్ ప్రభావంలో మరింత నమ్మదగినది

2, ట్రాపెజోయిడల్ గాడి రకం: వాటర్ రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్ వాల్వ్ ఫ్లాంజ్ కనెక్షన్‌తో ఓవల్ మెటల్ రింగ్‌తో వాషర్‌గా, పని ఒత్తిడి 64 కేజీ/సెం 2 వాల్వ్ లేదా అధిక ఉష్ణోగ్రత వాల్వ్ కోసం ఉపయోగిస్తారు

3. మోర్టైజ్ మరియు గాడి రకం: పెద్ద ప్లాస్టిక్ వైకల్యంతో రబ్బరు పట్టీని తినివేయు మాధ్యమంలో ఉపయోగించవచ్చు. వాటర్ రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్ యొక్క సీలింగ్ ప్రభావం మంచిది

4. పుటాకార మరియు కుంభాకార రకం: వాటర్ రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్ యొక్క పని ఒత్తిడి ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు హార్డ్ వాషర్ ఉపయోగించవచ్చు

5, లెన్స్ రకం: వాషర్ అనేది లోహంతో చేసిన లెన్స్ ఆకారం. 100kg/cm2 పని ఒత్తిడితో అధిక పీడన కవాటాలు లేదా అధిక ఉష్ణోగ్రత కవాటాలు

6, మృదువైన రకం: ఒత్తిడి అధిక వాల్వ్ కాదు, ప్రాసెసింగ్ మరింత సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది

వాటర్ రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్ ఫ్లాంజ్ కనెక్షన్ అనేక రూపాలు ఉన్నాయి, కానీ అవి వేర్వేరు సందర్భాలలో ఉన్నాయి, ఉపయోగంలో, మేము సందర్భానుసారంగా అనుకూలతపై శ్రద్ధ వహించాలి, కనెక్షన్ ప్రభావాన్ని నిర్ధారించండి, కనెక్షన్ వైఫల్యానికి కారణం కాదు, నీటికి నష్టం కలిగించదు. రింగ్ వాక్యూమ్ పంప్