Насоси вакуумӣ, ки ба раванди нимноқил истифода мешавад, масъалаи бехатарии насоси вакууми ҳалқаи об дорадклапанпайвасти фланец
Дар тӯли даҳсолаҳои охир, бо рушди босуръати технологияи нимноқилҳо, таҷҳизоти нимноқилҳо низ насл ба насл навоварӣ ва рушд мебошанд. Дар айни замон, истеҳсол ва истифодаи таҷҳизоти нимноқилӣ унсурҳои гуногуни кимиёвӣ ва бисёр ҷанбаҳои дигари технологияи баландро дар бар мегирад, ки дорои маҷмӯи пурқуввати техникӣ мебошад. На танҳо ин тавр, рушди технологияи таҷҳизоти нимноқилӣ тадриҷан модулизатсияи технологияи равандро ба таҷҳизот муттаҳид мекунад, онро хеле автоматӣ ва интеллектуалии баланд мегардонад, тадриҷан вазъияти ҷудошавии табиии таҷҳизот ва равандро тағйир медиҳад ва ҳамеша дар сафи пеши рушд қарор мегирад. саноати истехсолкунандаи системахои нимнокилй роли махсус мебозад. Баробари тараккиёти минбаъдаи тачхизоти нимно-килй доираи татбики он торафт васеъ мешавад. Дар дигар соҳаҳои истеҳсоли дастгоҳҳои электронӣ, таҷҳизоти нимноқилӣ ё таҷҳизоти аз таҷҳизоти нимноқилӣ тавлидшуда низ ба дараҷаҳои гуногун қабул карда мешаванд ва ба як соҳаи нави истифодаи таҷҳизоти нимноқил табдил меёбанд. Махсусан дар дастгоҳҳои электронии микро/нано, системаҳои оптоэлектромеханикии микро/нано ва дигар соҳаи истеҳсоли маҳсулоти ҳаҷмашон хеле хурд ва дақиқи баланд, он барои рушди ҷузъҳои электронӣ аҳамияти бениҳоят муҳим дорад.
Вакууми раванди нимноқил асосан дар бухоршавӣ, пошидан, PECVD, вакуумии хушк, адсорбсияи вакуумӣ, таҷҳизоти озмоишӣ, тозакунии чангкашак ва дигар равандҳои пайвастшавӣ истифода мешавад, истеҳсоли нимноқилҳо ва раванди истеҳсолӣ ба осонӣ гази оташгиранда, тарканда ва заҳролудро тавлид мекунад, бехатарии истеҳсолот ва кормандон, аз ин рӯ, истифодаи насоси вакууми нимноқил бояд ба якчанд масъалаҳои бехатарӣ диққат диҳад:
1. Насоси вакуумӣ ва дигар лавозимот, филтр ва қубурро мувофиқи ҷадвал филтр ва тоза кунед, то фишори аз ҳад зиёдро пешгирӣ кунед:
Ҳангоми истифодаи насоси вакууми нимноқил, таркиби муҳити тавассути камераи реаксия ва насоси вакуумӣ гирифташуда метавонад ниҳоят мураккаб бошад. Масалан, SiH4 ва O2 дар бандари насос SiO2-ро ташкил медиҳанд ва гидролизи TiCl4 HCl-ро ташкил медиҳад; Фарз мекунем, ки насоси механикии мӯҳри нафт, ин моддаҳои газ низ метавонанд бо равғани насос баргардонида шаванд. Ин тағиротҳо ташаккули зарраҳо, маводи коагулятсия ё васоити эрозияро дар назар доранд, ки метавонанд насоси вакуумӣ ё системаи қубурро банд кунанд, ба вазифаи насоси вакуумӣ таъсир расонанд, боиси болоравии фишор ё фишори аз ҳад зиёд шаванд ва хатари дар банди дуюм зикршуда бештар аст. Аз ин ру, сари вакт тоза кардан, дар мавридхои зарурй тачхизоти фильтркуниро ба рох мондан лозим аст.
2, сустшавии самараноки консентратсияи гази зараровар:
Нимноқилҳо майл ба тавлиди газҳои дар боло номбаршуда, оташгиранда ва тарканда, заҳролуд ва зараровар доранд. Аз ин рӯ, ҳангоми ба кор бурдани насоси вакууми нимноқил ҳангоми истихроҷи ин воситаҳо, пешгирӣ кардан лозим аст, ки онҳо дар насоси вакуумӣ ё дар ҷараёни ихроҷ баъзе реаксияҳои идоранашаванда доранд. Ба монанди SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ва дигар моддаҳо, ки дар тамос бо ҳаво ё оксиген, боиси сӯхтан ва ҳатто мешаванд; Гази гидроген низ вақте сӯхта мешавад, ки таносуби омехта дар ҳаво ба ҳарорати муайян мерасад. Ҳамааш аз миқдори модда ва муносибати он ба фишор ва ҳарорати муҳити зист вобаста аст. Аз ин рӯ, вақте ки насоси вакууми нимноқил ин васоити ахбори оммаро истихроҷ мекунад, ба он лозим аст, ки гази инертӣ, ба монанди нитрогенро истифода барад, то ин газҳоро то фишурдашавӣ то ҳадди бехавф ҳал кунад.
3. Ба консентратсияи оксиген диққат диҳед:
Агар оксиген дар ҳаво аз ҳад зиёд бошад, сӯзиш ва хатар ба вуҷуд меояд. Аз ин рӯ, дар баъзе мавридҳо, бояд ба консентратсияи оксиген, бо истифода аз гази инертӣ барои dilute, барои пешгирии консентратсияи аз ҳад зиёд таваҷҷӯҳ зоҳир карда шавад; Фарз мекунем, ки насоси механикии мӯҳри нафт низ метавонад ба истифодаи баъзе равғани насоси вакуумии инертӣ ва оксиген ва иваз кардани саривақтии филтрҳои нафт ва маҳсулоти нафтӣ ниёз дошта бошад.
4, пешгирӣ кардани ҳарорати хеле баланд:
Ин нуктаро фаҳмидан осон аст. Ҳангоми истифодаи нимноқил дар насоси вакуумӣ газҳои зараровар бештаранд. Новобаста аз он ки насоси вакууми хушк ҳанӯз як насоси механикии мӯҳри нафт аст, ҳарорат дар камераи насос хеле баланд аст ва оташгиранда ва тарканда ва гази du дар ҳарорати баланд ба осонӣ хатарнок хоҳад буд.
4 ҷанбаи дар боло зикршуда масъалаҳои асосии бехатарӣ дар татбиқи насоси вакууми нимноқил мебошанд. Дар маҷмӯъ, насосҳои механикии мӯҳри нафт бояд нисбат ба насосҳои хушк вакуумӣ ба ҷузъиёти бештари бехатарӣ диққат диҳанд, ихтиёрдорӣ мураккабтар аст. Вақте ки мо насосҳои вакуумиро истифода мебарем, мо бояд ба чораҳои бехатарӣ дар кондуктор диққат диҳем ва ҳангоми истифодаи дертар дар дастури истифода кори хубро анҷом диҳем. Аз сабаби мушкилоти хурд оид ба кор, баромад, самаранокӣ ва бехатарӣ бо ҳам алоқаманданд, мо бояд мӯҳлати хизмати насоси вакуумиро дароз кунем, кӯшиш кунем, ки мувозинатро ҳамоҳанг созем, самаранокӣ ва бехатариро таъмин кунем.
Шакли пайвастшавии ҳалқаи обкашии насоси вакуумӣ
Вобаста аз шакли сатҳи муштарак, онро ба намудҳои зерин тақсим кардан мумкин аст:
1, Навъи O-ring: ин як шакли нави ҳалқаи обкашии насоси вакуумӣ мебошад, ки пас аз он таҳияи гуногуни резинии O-ring ба амал меояд, он нисбат ба шустани умумии ҳамвор дар эффекти мӯҳр боэътимодтар аст.
2, навъи чуқури трапеция: пайвасти ҳалқаи обкашии насоси вакуумӣ бо ҳалқаи металлии байзавӣ ҳамчун шустушӯй, барои фишори кории 64 кг / см2 клапан ё клапани ҳарорати баланд истифода мешавад
3. Мортиза ва чуқури навъи: Дар gasket бо деформатсияи пластикӣ калон мумкин аст дар муҳити зангзананда истифода бурда мешавад. Таъсири мӯҳри насоси вакууми ҳалқаи об беҳтар аст
4. Навъи concave ва convex: фишори кории насоси вакуумӣ ҳалқаи об баландтар аст, ва washer сахт мумкин аст истифода бурда мешавад
5, навъи линза: шустушӯй шакли линза аст, ки аз металл сохта шудааст. Клапанҳои фишори баланд ё клапанҳои ҳарорати баланд бо фишори кории 100 кг / см2
6, навъи ҳамвор: барои фишор аст, клапан баланд нест, коркард қулайтар
Пайвастшавии ҳалқаи ҳалқаи насоси вакуумӣ шаклҳои зиёде дорад, аммо онҳо мавридҳои гуногун доранд, дар истифода, мо бояд ба мувофиқати ин ҳолат диққат диҳем, таъсири пайвастшавиро таъмин кунем, боиси вайрон шудани пайвастшавӣ нашавем, ки дар натиҷа ба об зарар мерасонад. насоси ҳалқаи вакуумӣ
Вақти фиристодан: январ-07-2023
