ปั๊มสุญญากาศที่ใช้กับเรื่องความปลอดภัยของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์น้ำแหวนปั๊มสุญญากาศการเชื่อมต่อหน้าแปลนวาล์ว

ปั๊มสุญญากาศที่ใช้กับเรื่องความปลอดภัยของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ ปั๊มสุญญากาศวงแหวนน้ำวาล์วการเชื่อมต่อหน้าแปลน

ในช่วงหลายทศวรรษที่ผ่านมา ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ก็มีนวัตกรรมและการพัฒนารุ่นแล้วรุ่นเล่า ในปัจจุบัน การผลิตและการใช้อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับองค์ประกอบทางเคมีที่หลากหลายและแง่มุมอื่นๆ มากมายของเทคโนโลยีชั้นสูง พร้อมด้วยความครอบคลุมทางเทคนิคที่แข็งแกร่ง ไม่เพียงเท่านั้น การพัฒนาเทคโนโลยีอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จะค่อยๆ รวมเอาเทคโนโลยีกระบวนการแบบโมดูลาร์เข้ากับอุปกรณ์ ทำให้เป็นอัตโนมัติสูงและมีความชาญฉลาดสูง โดยค่อยๆ เปลี่ยนสถานการณ์ของการแยกอุปกรณ์และกระบวนการตามธรรมชาติ และเดินอยู่ในแถวหน้าของการพัฒนาอยู่เสมอ ของอุตสาหกรรมการผลิตระบบเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งมีบทบาทสำคัญเป็นพิเศษ ด้วยการพัฒนาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เพิ่มเติม ขอบเขตการใช้งานก็กว้างขึ้นเรื่อยๆ ในสาขาการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์หรืออุปกรณ์ที่พัฒนามาจากอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ก็ถูกนำมาใช้ในระดับที่แตกต่างกัน กลายเป็นสาขาใหม่ของการประยุกต์ใช้อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ระดับไมโคร/นาโน ระบบออปโตเครื่องกลไฟฟ้าแบบไมโคร/นาโน และสาขาการผลิตผลิตภัณฑ์อื่นๆ ที่มีขนาดเล็กมากและมีความแม่นยำสูง มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการพัฒนาชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์

สูญญากาศกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่จะใช้ในการระเหย การสปัตเตอร์ PECVD การกัดแห้งแบบสูญญากาศ การดูดซับสูญญากาศ อุปกรณ์ทดสอบ การทำความสะอาดสูญญากาศ และกระบวนการพันธะอื่น ๆ การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการผลิตสามารถผลิตก๊าซวัสดุไวไฟ ระเบิด และเป็นพิษ จะเป็นภัยคุกคามต่อ การผลิตและความปลอดภัยของพนักงาน ดังนั้น การใช้ปั๊มสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์จึงต้องคำนึงถึงเรื่องความปลอดภัยหลายประการ:

1. กรองและทำความสะอาดปั๊มสุญญากาศและอุปกรณ์เสริมอื่นๆ ตัวกรองและท่อตามกำหนดเวลาเพื่อหลีกเลี่ยงแรงดันเกิน:

ในการใช้ปั๊มสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์ องค์ประกอบของตัวกลางที่สกัดผ่านห้องปฏิกิริยาและปั๊มสุญญากาศอาจมีความซับซ้อนมาก ตัวอย่างเช่น SiH4 และ O2 เกิดเป็น SiO2 ที่พอร์ตปั๊ม และการไฮโดรไลซิสของ TiCl4 จะเกิดเป็น HCl สมมติว่าปั๊มเชิงกลชนิดซีลน้ำมัน สารก๊าซเหล่านี้อาจกลับรายการด้วยน้ำมันปั๊มได้เช่นกัน การเปลี่ยนแปลงเหล่านี้ถือว่าการก่อตัวของอนุภาค วัสดุที่จับตัวเป็นก้อน หรือตัวกลางที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ซึ่งอาจอุดตันปั๊มสุญญากาศหรือระบบท่อ ส่งผลต่อการทำงานของปั๊มสุญญากาศ ทำให้เกิดแรงดันเพิ่มขึ้นหรือแรงดันเกิน และความเสี่ยงที่กล่าวถึงในจุดที่สองมีมากกว่า ดังนั้นจึงจำเป็นต้องทำความสะอาดให้ทันเวลาและติดตั้งอุปกรณ์กรองเมื่อจำเป็น

2 การเจือจางความเข้มข้นของก๊าซที่เป็นอันตรายอย่างมีประสิทธิภาพ:

เซมิคอนดักเตอร์มีแนวโน้มที่จะผลิตก๊าซไวไฟและระเบิดได้ เป็นพิษและเป็นอันตรายดังกล่าวข้างต้น ดังนั้นในการใช้งานปั๊มสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์ เมื่อทำการแยกตัวกลางเหล่านี้ จำเป็นต้องป้องกันไม่ให้เกิดปฏิกิริยาที่ไม่สามารถควบคุมได้ในปั๊มสุญญากาศหรือในกระบวนการไอเสีย เช่น SiH4, PH3, AsH3, B2H6 และสารอื่นๆ เมื่อสัมผัสกับอากาศหรือออกซิเจนจะทำให้เกิดการเผาไหม้หรือแม้กระทั่ง; ก๊าซไฮโดรเจนยังเผาไหม้เมื่ออัตราส่วนส่วนผสมในอากาศถึงอุณหภูมิที่กำหนด ทุกอย่างขึ้นอยู่กับปริมาณของสารและความสัมพันธ์กับความดันและอุณหภูมิของสิ่งแวดล้อม ดังนั้น เมื่อปั๊มสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์แยกตัวกลางเหล่านี้ จะต้องใช้ก๊าซเฉื่อย เช่น ไนโตรเจน เพื่อเจือจางก๊าซเหล่านี้ให้อยู่ในช่วงที่ปลอดภัยก่อนการบีบอัด

3. ใส่ใจกับความเข้มข้นของออกซิเจน:

หากออกซิเจนในอากาศสูงเกินไป จะเกิดการเผาไหม้และความเสี่ยง ดังนั้นในบางกรณีควรให้ความสนใจกับความเข้มข้นของออกซิเจนโดยใช้ก๊าซเฉื่อยเพื่อเจือจางเพื่อป้องกันความเข้มข้นสูงเกินไป สมมติว่าปั๊มเชิงกลซีลน้ำมันอาจจำเป็นต้องใช้น้ำมันปั๊มสุญญากาศที่เฉื่อยและเข้ากันได้กับออกซิเจนและเปลี่ยนไส้กรองน้ำมันและผลิตภัณฑ์น้ำมันอย่างทันท่วงที

4 ป้องกันอุณหภูมิสูงเกินไป:

มันง่ายที่จะเข้าใจประเด็นนี้ ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ในปั๊มสุญญากาศ มีก๊าซที่เป็นอันตรายมากกว่า ไม่ว่าปั๊มสุญญากาศแบบแห้งยังคงเป็นปั๊มเชิงกลซีลน้ำมันก็ตาม อุณหภูมิในห้องปั๊มสูงเกินไป และไวไฟและระเบิดได้ และก๊าซ du จะเป็นอันตรายได้ง่ายที่อุณหภูมิสูง

ประเด็นสำคัญทั้ง 4 ประการข้างต้นคือประเด็นด้านความปลอดภัยหลักในการใช้งานปั๊มสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไป ปั๊มเชิงกลซีลน้ำมันจำเป็นต้องใส่ใจกับรายละเอียดด้านความปลอดภัยมากกว่าปั๊มสุญญากาศแบบแห้ง การกำจัดมีความซับซ้อนมากกว่า เมื่อเราใช้ปั๊มสุญญากาศ เราต้องใส่ใจกับข้อควรระวังด้านความปลอดภัยในตัวนำ และทำงานได้ดีในคู่มือการใช้งานเมื่อใช้ในภายหลัง เนื่องจากปัญหาเล็กๆ น้อยๆ เกี่ยวกับการทำงาน เอาต์พุต ประสิทธิภาพ และความปลอดภัยเชื่อมโยงกัน เราควรยืดอายุการใช้งานของปั๊มสุญญากาศ มุ่งมั่นที่จะประสานความสมดุล ตรวจสอบประสิทธิภาพและความปลอดภัย

แบบฟอร์มการเชื่อมต่อหน้าแปลนวาล์วปั๊มสุญญากาศแหวนน้ำ

ตามรูปร่างของพื้นผิวรอยต่อสามารถแบ่งออกได้เป็นประเภทต่างๆ ดังนี้

1, ประเภทโอริง: นี่คือรูปแบบการเชื่อมต่อหน้าแปลนปั๊มสุญญากาศแหวนน้ำรูปแบบใหม่ ตามมาด้วยการพัฒนาโอริงยางที่หลากหลาย มีความน่าเชื่อถือในการปิดผนึกมากกว่าเครื่องซักผ้าแบบแบนทั่วไป

2, ประเภทร่องสี่เหลี่ยมคางหมู: การเชื่อมต่อหน้าแปลนวาล์วปั๊มสุญญากาศแหวนน้ำกับแหวนโลหะรูปไข่เป็นเครื่องซักผ้า, ใช้สำหรับวาล์วแรงดันใช้งาน 64 กก. / ซม. 2 หรือวาล์วอุณหภูมิสูง

3. ประเภทร่องและร่อง: ปะเก็นที่มีการเสียรูปพลาสติกขนาดใหญ่สามารถใช้ในตัวกลางที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ ผลการปิดผนึกของปั๊มสุญญากาศวงแหวนน้ำจะดีกว่า

4. ประเภทเว้าและนูน: แรงดันในการทำงานของปั๊มสุญญากาศวงแหวนน้ำสูงกว่าและสามารถใช้เครื่องซักผ้าแข็งได้

5 ประเภทเลนส์: เครื่องซักผ้าเป็นรูปเลนส์ทำจากโลหะ วาล์วแรงดันสูงหรือวาล์วอุณหภูมิสูงที่มีแรงดันใช้งาน 100กก./ซม.2

6 ชนิดเรียบ: สำหรับความดันวาล์วไม่สูง การประมวลผลสะดวกยิ่งขึ้น

การเชื่อมต่อหน้าแปลนปั๊มสุญญากาศแบบวงแหวนน้ำมีหลายรูปแบบแต่มีโอกาสที่แตกต่างกัน ในการใช้งานเราควรคำนึงถึงความเหมาะสมของโอกาสเพื่อให้แน่ใจว่าผลของการเชื่อมต่อไม่ทำให้การเชื่อมต่อล้มเหลวส่งผลให้น้ำเสียหาย ปั๊มสุญญากาศแบบวงแหวน