Yarı iletken proses güvenliğine uygulanan vakum pompası, su halkalı vakum pompası valfi flanş bağlantısı

Yarı iletken proses güvenliğine uygulanan vakum pompası su halkalı vakum pompasıkapakflanş bağlantısı

Son yıllarda, yarı iletken teknolojisinin hızlı gelişimiyle birlikte, yarı iletken ekipmanlar da nesilden nesile yenilik ve gelişme göstermektedir. Günümüzde yarı iletken ekipmanların üretimi ve kullanımı, çeşitli kimyasal elementleri ve yüksek teknolojinin diğer birçok yönünü güçlü bir teknik kapsamlılıkla birlikte içermektedir. Sadece bu şekilde değil, yarı iletken ekipman teknolojisinin gelişimi, proses teknolojisi modülerizasyonunu kademeli olarak ekipmana entegre ederek, onu son derece otomatik ve son derece akıllı hale getirir, ekipman ve prosesin doğal olarak ayrılması durumunu kademeli olarak değiştirir ve her zaman gelişimin ön saflarında yer alır. Yarı iletken sistem imalat sanayinin özel önemli bir rol oynaması. Yarı iletken ekipmanların daha da gelişmesiyle uygulama alanı giderek genişliyor. Diğer elektronik cihaz üretim alanlarında, yarı iletken ekipman veya yarı iletken ekipmandan geliştirilen ekipmanlar da değişen derecelerde benimsenerek, yarı iletken ekipman uygulamasının yeni bir alanı haline gelir. Özellikle mikro/nano elektronik cihazlar, mikro/nano optoelektromekanik sistemler ve son derece küçük boyutlu ve yüksek hassasiyetli diğer ürünlerin imalat alanında, elektronik bileşenlerin geliştirilmesinde son derece önemli bir öneme sahiptir.

Yarı iletken proses vakumu esas olarak buharlaştırma, püskürtme, PECVD, vakumlu kuru aşındırma, vakumlu adsorpsiyon, test ekipmanı, vakumlu temizleme ve diğer yapıştırma proseslerinde kullanılır, yarı iletken üretimi ve üretim prosesi kolayca yanıcı, patlayıcı ve toksik malzeme gazı üretir, tehdit oluşturacaktır. üretim ve personel güvenliği, bu nedenle yarı iletken vakum pompasının uygulanmasında çeşitli güvenlik konularına dikkat edilmesi gerekir:

1. Aşırı basıncı önlemek için vakum pompasını ve diğer aksesuarları, filtreyi ve boruyu programa uygun şekilde filtreleyin ve temizleyin:

Yarı iletken vakum pompasının uygulanmasında, reaksiyon odası ve vakum pompası yoluyla ekstrakte edilen ortamın bileşimi son derece karmaşık olabilir. Örneğin SiH4 ve O2, pompa portunda SiO2'yi oluşturur ve TiCl4'ün hidrolizi HCl'yi oluşturur; Yağ keçeli tip mekanik pompa olduğu varsayılırsa bu gaz maddeler pompa yağı ile de ters çevrilebilir. Bu değişiklikler, vakum pompasını veya boru sistemini tıkayabilecek, vakum pompası fonksiyonunu etkileyebilecek, basınç artışına veya aşırı basınca neden olabilecek parçacıkların, pıhtılaşabilir malzemenin veya aşındırıcı ortamların oluştuğunu ve ikinci noktada bahsedilen riskin daha büyük olduğunu varsayar. Bu nedenle zamanında temizlik yapılması, gerektiğinde filtreleme ekipmanlarının kurulması gerekmektedir.

2, zararlı gaz konsantrasyonunun etkili seyreltilmesi:

Yarı iletken yukarıda belirtilen yanıcı ve patlayıcı, toksik ve zararlı gazları üretmeye eğilimlidir. Bu nedenle, yarı iletken vakum pompası uygulamasında, bu ortamların ekstraksiyonu sırasında, bunların vakum pompasında veya egzoz prosesinde kontrol edilemeyen bazı reaksiyonlara girmesinin önlenmesi gerekir. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ve diğer maddeler hava veya oksijenle temas ettiğinde yanmaya neden olur, hatta; Hidrojen gazı da havadaki karışım oranı belli bir sıcaklığa ulaştığında yanar. Her şey maddenin miktarına ve ortamın basıncı ve sıcaklığı ile olan ilişkisine bağlıdır. Bu nedenle, yarı iletken vakum pompası bu ortamı çıkardığında, bu gazları sıkıştırmadan önce güvenli bir aralığa seyreltmek için nitrojen gibi bir inert gaz kullanması gerekir.

3. Oksijen konsantrasyonuna dikkat edin:

Havadaki oksijenin çok yüksek olması halinde yanma ve risk meydana gelecektir. Bu nedenle, bazı durumlarda, çok yüksek konsantrasyonu önlemek için seyreltmek için inert gaz kullanılarak oksijen konsantrasyonuna dikkat edilmelidir; Yağ keçesi mekanik pompasının aynı zamanda bazı inert ve oksijen uyumlu vakum pompası yağı kullanması ve yağ filtreleri ile yağ ürünlerinin zamanında değiştirilmesi gerekebileceğini varsayarsak.

4, sıcaklığın çok yüksek olmasını önleyin:

Bu noktayı anlamak kolaydır. Yarı iletkenin vakum pompasında uygulanmasında daha fazla zararlı gazlar bulunur. Kuru vakum pompasının hala yağ keçeli mekanik bir pompa olup olmadığı, pompa odasındaki sıcaklığın çok yüksek olması ve yanıcı ve patlayıcı olması ve du gazının yüksek sıcaklıkta kolayca tehlikeli olması mümkündür.

Yukarıdaki 4 husus, yarı iletken vakum pompasının uygulanmasındaki ana güvenlik hususlarıdır. Genel olarak, yağ keçeli mekanik pompaların, kuru vakum pompalarına göre daha fazla güvenlik detayına dikkat etmesi gerekir; imha işlemi daha karmaşıktır. Vakum pompalarını kullandığımızda iletkendeki güvenlik önlemlerine dikkat etmemiz, daha sonra kullanırken kullanım kılavuzunda iyi bir iş çıkarmamız gerekir. Çalışma, çıkış, verimlilik ve güvenlikle ilgili küçük sorunlar birbirine bağlı olduğundan, vakum pompasının hizmet ömrünü uzatmalı, dengeyi koordine etmeye çalışmalı, verimlilik ve güvenliği sağlamalıyız.

Su halkalı vakum pompası vana flanş bağlantı formu

Derz yüzeyinin şekline göre aşağıdaki tiplere ayrılabilir:

1, O-ring tipi: Bu yeni tip bir su halkalı vakum pompası flanş bağlantı şeklidir, bunu çeşitli kauçuk O-halka geliştirmeleri takip eder, sızdırmazlık etkisinde genel düz rondeladan daha güvenilirdir

2, trapez oluk tipi: rondela olarak oval metal halkalı su halkalı vakum pompası valfi flanş bağlantısı, çalışma basıncı 64 kg/cm2 valf veya yüksek sıcaklık valfi için kullanılır

3. Gömme ve oluk tipi: Büyük plastik deformasyona sahip conta, aşındırıcı ortamda kullanılabilir. Su halkalı vakum pompasının sızdırmazlık etkisi daha iyidir

4. İçbükey ve dışbükey tip: su halkalı vakum pompasının çalışma basıncı daha yüksektir ve sert yıkayıcı kullanılabilir

5, lens tipi: yıkayıcı, metalden yapılmış lensin şeklidir. 100kg/cm2 çalışma basıncına sahip yüksek basınç vanaları veya yüksek sıcaklık vanaları

6, pürüzsüz tip: basınç yüksek olmadığı için valf, işleme daha uygun

Su halkalı vakum pompası flanş bağlantısının birçok şekli vardır, ancak bunların farklı durumları vardır, kullanımda, durumun uygunluğuna dikkat etmeliyiz, bağlantının etkisini sağlamalı, bağlantı arızasına neden olmamalı, suya zarar vermemeliyiz halka vakum pompası