Ярымүткәргеч процесс куркынычсызлыгы өчен кулланылган вакуум насосы су боҗрасы вакуум насосыклапанфланг тоташуы
Соңгы дистә еллар эчендә, ярымүткәргеч технологиянең тиз үсеше белән, ярымүткәргеч җиһазлар буыннан-буынга инновацияләр һәм үсештән соң. Хәзерге вакытта ярымүткәргеч җиһазлар җитештерү һәм куллану төрле химик элементларны һәм югары технологиянең күп аспектларын үз эченә ала, көчле техник комплекслы. Алай гына да түгел, ярымүткәргеч җиһаз технологиясе үсеше процесс технологияләрен модульләштерүне җиһазга әкренләп интеграцияли, аны автоматлаштырылган һәм югары интеллектуаль итә, җиһазларны һәм процессны табигый аеру ситуациясен әкренләп үзгәртә һәм һәрвакыт үсеш алгы планында йөри. ярымүткәргеч система җитештерү индустриясе, мөһим роль уйный. Ярымүткәргеч җиһазларның алга таба үсеше белән, аны куллану өлкәсе киңәя бара. Башка электрон җайланмалар җитештерү өлкәләрендә ярымүткәргеч җиһазлары яки ярымүткәргеч җиһазлардан эволюцияләнгән җиһазлар да төрле дәрәҗәләргә кабул ителәләр, ярымүткәргеч җиһазларын куллануның яңа өлкәсенә әйләнәләр. Бигрәк тә микро / нано электрон җайланмаларда, микро / нано оптоэлектромеханик системаларда һәм бик кечкенә зурлыктагы һәм югары төгәллек җитештерүче башка продуктлар җитештерү өлкәсендә ул электрон компонентлар үсеше өчен бик мөһим әһәмияткә ия.
Ярымүткәргеч процесс вакуум, нигездә, парга әйләнү, спуттеринг, PECVD, вакуум коры эфир, вакуум adsorption, сынау җиһазлары, вакуум чистарту һәм башка бәйләү процессларында кулланыла, ярымүткәргеч җитештерү һәм җитештерү процессы җиңел янып торган, шартлаткыч һәм агулы материал газын җитештерә, куркыныч тудырачак. җитештерү һәм персонал куркынычсызлыгы, димәк, ярымүткәргеч вакуум насосын куллану берничә куркынычсызлык сорауларына игътибар итергә тиеш:
1. Вакуум насосын һәм башка аксессуарларны фильтрлагыз һәм чистартыгыз, артык басымнан саклану өчен график буенча фильтр һәм торба:
Ярымүткәргеч вакуум насосын кулланганда, реакция камерасы һәм вакуум насосы аша алынган уртача композиция бик катлаулы булырга мөмкин. Мәсәлән, SiH4 һәм O2 насос портында SiO2 формалаштыралар, һәм TiCl4 гидролизы HCl формалаштырачак; Нефть мөһере механик насос, бу газ матдәләре насос мае белән кире кайтарылырга мөмкин. Бу үзгәрешләр вакуум насосын яки торба системасын тыярга, вакуум насос функциясенә йогынты ясарга, басымның күтәрелүенә яки артык басымга китерергә мөмкин булган кисәкчәләр, коагуляцияләнгән материал яки эрозив медиа формалашуны күздә тота, һәм икенче пунктта искә алынган куркыныч зуррак. Шуңа күрә вакытында чистартырга, кирәк булганда фильтрлау җиһазларын куярга кирәк.
2, зарарлы газ концентрациясен эффектив эретү:
Ярымүткәргеч югарыда телгә алынган ялкынлы һәм шартлаткыч, агулы һәм зарарлы газлар чыгарырга омтыла. Шуңа күрә, ярымүткәргеч вакуум насосын кулланганда, бу массакүләм мәгълүмат чараларын чыгарганда, вакуум насосында яки эскиз процессында контрольсез реакцияләр булмасын өчен кирәк. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 һәм башка матдәләр, һава яки кислород белән контактта, януга китерәчәкләр һәм хәтта; Водород газы һавада катнаш катнашу билгеле бер температурага җиткәч яна. Барысы да матдә күләменә һәм аның тирәлек басымы һәм температурасы белән бәйләнешенә бәйле. Шуңа күрә, ярымүткәргеч вакуум насосы бу массакүләм мәгълүмат чараларын чыгарганда, азот кебек инерт газын кулланырга кирәк, бу газларны кысу алдыннан куркынычсыз диапазонга эретү өчен.
3. Кислород концентрациясенә игътибар итегез:
Әгәр дә һавада кислород артык булса, яну һәм куркыныч туачак. Шуңа күрә, кайбер очракларда кислород концентрациясенә игътибар бирелергә тиеш, инерт газын эретү өчен, артык зур концентрацияне булдырмас өчен; Нефть мөһере механик насос шулай ук инерт һәм кислородка туры килгән вакуум насос майын кулланырга, нефть фильтрларын һәм нефть продуктларын вакытында алыштырырга кирәк булырга мөмкин.
4, температураның артык югары булуын булдырмагыз:
Бу фикерне аңлау җиңел. Ярымүткәргечне вакуум насосында кулланганда, зарарлы газлар күбрәк. Коры вакуум насосы һаман да нефть мөһере механик насосмы, насос палатасында температура артык югары, һәм янучан, шартлаткыч һәм ду газ югары температурада җиңел булачак.
Aboveгарыда күрсәтелгән 4 аспект ярымүткәргеч вакуум насосын куллануда төп куркынычсызлык проблемалары. Гомумән, нефть мөһере механик насослар коры вакуум насосларына караганда куркынычсызлык детальләренә игътибар итергә тиеш, утильләштерү катлаулырак. Вакуум насосларын кулланганда, без үткәргечтә куркынычсызлык чараларына игътибар итергә тиеш, соңрак кулланганда операция кулланмасында яхшы эш башкарырга тиеш. Эшләү, чыгару, эффективлык һәм куркынычсызлык буенча кечкенә проблемалар булганлыктан, без вакуум насосының хезмәт срогын озайтырга, балансны координацияләргә, эффективлык һәм куркынычсызлыкны тәэмин итәргә тиеш.
Су боҗрасы вакуум насос клапан фланг тоташу формасы
Уртак өслекнең формасы буенча аны түбәндәге төрләргә бүлеп була:
1, О-боҗра тибы: бу - су боҗрасы вакуум насос фланг тоташу формасының яңа төре, аннан соң төрле каучук O-ring үсеше, гомуми яссы югычка караганда мөһерләү эффектында ышанычлырак.
2, трапезоидаль трюк тибы: су боҗрасы вакуум насос клапан флангының овал металл боҗрасы белән юу рәвешендә тоташуы, эш басымы өчен 64 кг / см2 клапан яки югары температура клапаны.
3. Мортиз һәм трюк төре: Зур пластик деформацияле савыт коррозицион шартларда кулланылырга мөмкин. Су боҗрасы вакуум насосының мөһерләү эффекты яхшырак
4. Конкав һәм конвекс тибы: су боҗрасы вакуум насосының эш басымы югарырак, һәм каты югыч кулланырга мөмкин.
5, линза тибы: юу - металлдан ясалган линзаның формасы. Kgгары басымлы клапаннар яки 100 кг / см2 эш басымы булган югары температуралы клапаннар
6, шома тип: басым югары клапан түгел, эшкәртү уңайлырак
Су боҗрасы вакуум насос фланг тоташуы бик күп формалар бар, ләкин аларның төрле очраклары бар, куллануда без вакыйганың яраклылыгына игътибар итергә, тоташу эффектын тәэмин итәргә, тоташу өзелмәсен, нәтиҗәдә суга зыян китерергә тиеш. боҗралы насос
Пост вакыты: 07-2023 гыйнвар
