يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياننىڭ بىخەتەرلىك مەسىلىسىگە ئىشلىتىلىدىغان ۋاكۇئۇم پومپىسى سۇ ھالقىسى ۋاكۇئۇم پومپىسى كلاپاننىڭ ئۇلىنىشى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانغا ئىشلىتىلىدىغان ۋاكۇئۇم پومپىسى سۇ ھالقىسى ۋاكۇئۇم پومپىسىvalveflange connection

ئۆتكەن نەچچە ئون يىلدا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىنىڭ تېز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىمۇ ئەۋلادمۇ ئەۋلاد يېڭىلىق يارىتىش ۋە تەرەققىي قىلدۇرۇلدى. ھازىر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنى ياساش ۋە ئىشلىتىش ھەر خىل خىمىيىلىك ئېلېمېنتلار ۋە يۇقىرى تېخنىكىنىڭ باشقا نۇرغۇن تەرەپلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، كۈچلۈك تېخنىكىلىق ئەتراپلىق. بۇنداق بولۇپلا قالماي ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتى جەريان تېخنىكىسىنى مودۇللاشتۇرۇشنى ئۈسكۈنىلەرگە تەدرىجىي بىرلەشتۈرۈپ ، ئۇنى يۇقىرى ئاپتوماتلاشقان ۋە يۇقىرى ئەقلىي ئىقتىدارلىق قىلىپ ، ئۈسكۈنىلەر ۋە جەريانلارنىڭ تەبىئىي ئايرىلىش ۋەزىيىتىنى تەدرىجىي ئۆزگەرتىپ ، ھەمىشە تەرەققىياتنىڭ ئالدىنقى سېپىدە ماڭىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سىستېمىسى ياساش كەسپىنىڭ ئالاھىدە مۇھىم رولى بار. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ يەنىمۇ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، ئۇنىڭ قوللىنىش دائىرىسى تېخىمۇ كېڭەيدى. باشقا ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنى ياساش ساھەسىدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىدىن تەرەققىي قىلغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ياكى ئۈسكۈنىلىرىمۇ ئوخشىمىغان دەرىجىدە قوللىنىلىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنى قوللىنىشنىڭ يېڭى ساھەسىگە ئايلاندى. بولۇپمۇ مىكرو / نانو ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلىرى ، مىكرو / نانو ئوپتىكىلىق ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى سىستېمىسى ۋە باشقا مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدە ئىنتايىن كىچىك ۋە ئېنىقلىق دەرىجىسى يۇقىرى بولۇپ ، ئېلېكترونلۇق زاپچاسلارنىڭ تەرەققىياتىدا ئىنتايىن مۇھىم ئەھمىيەتكە ئىگە.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريان ۋاكۇئۇم ئاساسلىقى پارغا ئايلىنىش ، پۈركۈش ، PECVD ، ۋاكۇئۇم قۇرۇق قۇرۇتۇش ، ۋاكۇئۇم سۈمۈرۈلۈش ، سىناق ئۈسكۈنىلىرى ، ۋاكۇئۇم تازىلاش ۋە باشقا باغلىنىش جەريانلىرىدا ئىشلىتىلىدۇ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە ياساش جەريانى ئاسانلا ئاسان يانىدىغان ، پارتىلاتقۇچ ۋە زەھەرلىك ماتېرىيال گازىنى ھاسىل قىلىدۇ ، بۇ تەھدىتكە ئۇچرايدۇ. ئىشلەپچىقىرىش ۋە خىزمەتچىلەرنىڭ بىخەتەرلىكى ئۈچۈن ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاكۇئۇم پومپىسىنى ئىشلىتىش بىر قانچە بىخەتەرلىك ئىشلىرىغا دىققەت قىلىشى كېرەك:

1. ۋاكۇئۇم پومپىسى ۋە باشقا قوشۇمچە زاپچاسلارنى سۈزۈپ ۋە پاكىز تازىلاپ ، بېسىمدىن ساقلىنىش:

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاكۇئۇم پومپىسىنى ئىشلىتىشتە ، رېئاكسىيە ئۆيى ۋە ۋاكۇئۇم پومپىسى ئارقىلىق چىقىرىلغان ۋاسىتەنىڭ تەركىبى ئىنتايىن مۇرەككەپ بولۇشى مۇمكىن. مەسىلەن ، SiH4 ۋە O2 پومپا ئېغىزىدا SiO2 ھاسىل قىلىدۇ ، TiCl4 نىڭ گىدرولىز HCl نى ھاسىل قىلىدۇ. ماي تامغىسى تىپىدىكى مېخانىكىلىق پومپىنى پەرەز قىلساق ، بۇ گاز ماددىلىرى پومپا مېيى بىلەنمۇ بۇرۇلۇشى مۇمكىن. بۇ ئۆزگىرىشلەر ۋاكۇئۇم پومپىسى ياكى تۇرۇبا سىستېمىسىنى توسۇۋېلىپ ، ۋاكۇئۇم پومپىسى ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىپ ، بېسىمنىڭ ئۆرلىشى ياكى بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان زەررىچىلەر ، يىغىلىشچان ماتېرىياللار ياكى چىرىتكۈچى مېدىيانىڭ شەكىللىنىشىنى پەرەز قىلىدۇ ، ئىككىنچى نۇقتىدا تىلغا ئېلىنغان خەتەر تېخىمۇ چوڭ. شۇڭلاشقا ، ۋاقتىدا تازىلاش ، زۆرۈر تېپىلغاندا سۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىش كېرەك.

2 ، زىيانلىق گاز قويۇقلۇقىنىڭ ئۈنۈملۈك سۇيۇلۇشى:

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يۇقىرىدا تىلغا ئېلىنغان ئاسان ئوت ئالىدىغان ۋە ئاسان پارتلايدىغان ، زەھەرلىك ۋە زىيانلىق گاز ھاسىل قىلىدۇ. شۇڭلاشقا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاكۇئۇم پومپىسىنى ئىشلىتىشتە ، بۇ مېدىيانى چىقارغاندا ، ئۇلارنىڭ ۋاكۇئۇم پومپىدا ياكى گاز چىقىرىش جەريانىدا بەزى كونترول قىلغىلى بولمايدىغان ئىنكاسلارنىڭ ئالدىنى ئېلىش كېرەك. مەسىلەن SiH4 ، PH3 ، AsH3 ، B2H6 ۋە باشقا ماددىلار ھاۋا ياكى ئوكسىگېن بىلەن ئۇچراشقاندا كۆيۈشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ھاۋادىكى ئارىلاشما نىسبىتى مەلۇم تېمپېراتۇرىغا يەتكەندە ھىدروگېن گازىمۇ كۆيۈپ كېتىدۇ. بۇلارنىڭ ھەممىسى ماددىنىڭ مىقدارى ۋە ئۇنىڭ مۇھىتنىڭ بېسىمى ۋە تېمپېراتۇرىسى بىلەن بولغان مۇناسىۋىتىگە باغلىق. شۇڭلاشقا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاكۇئۇم پومپىسى بۇ تاراتقۇلارنى چىقارغاندا ، ئازوت قاتارلىق ئىنېرت گازىنى ئىشلىتىپ ، بۇ گازلارنى پىرىسلاشتىن بۇرۇن بىخەتەر دائىرىگە سۇيۇلدۇرۇشى كېرەك.

3. ئوكسىگېننىڭ قويۇقلۇقىغا دىققەت قىلىڭ:

ئەگەر ھاۋادىكى ئوكسىگېن بەك يۇقىرى بولسا ، كۆيۈش ۋە خەتەر يۈز بېرىدۇ. شۇڭلاشقا ، بەزى ئەھۋاللاردا ئوكسىگېننىڭ قويۇقلۇقىغا دىققەت قىلىش ، ئىنېرت گازىنى سۇيۇلدۇرۇپ ، قويۇقلۇقىنىڭ يۇقىرى بولۇشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش كېرەك. ماي پېچەتلەش مېخانىكىلىق پومپىسىغا يەنە بىر قىسىم ئىنېرت ۋە ئوكسىگېن ماس كېلىدىغان ۋاكۇئۇم پومپىسى مېيى ئىشلىتىش ، ھەمدە ماي ​​سۈزگۈچ ۋە ماي ​​مەھسۇلاتلىرىنى ۋاقتىدا ئالماشتۇرۇش كېرەك بولۇشى مۇمكىن دەپ پەرەز قىلساق.

4 ، تېمپېراتۇرىنىڭ بەك يۇقىرى بولۇشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش:

بۇ نۇقتىنى چۈشىنىش ئاسان. ۋاكۇئۇم پومپىدا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلىتىشتە ، زىيانلىق گازلار تېخىمۇ كۆپ. قۇرۇق ۋاكۇئۇم پومپىسى يەنىلا ماي تامغىسى مېخانىك پومپىسى بولسۇن ، پومپا ئۆيىنىڭ تېمپېراتۇرىسى بەك يۇقىرى ، ئاسان يانىدىغان ۋە پارتىلاتقۇچ دورا ۋە يۇقىرى گاز يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا خەتەرلىك بولىدۇ.

يۇقارقى 4 تەرەپ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاكۇئۇم پومپىسىنى ئىشلىتىشتىكى ئاساسلىق بىخەتەرلىك مەسىلىسى. ئادەتتە ، ماي پېچەتلەش مېخانىكىلىق پومپىسى قۇرۇق ۋاكۇئۇم پومپىسىغا قارىغاندا تېخىمۇ كۆپ بىخەتەرلىك تەپسىلاتلىرىغا دىققەت قىلىشى كېرەك ، بىر تەرەپ قىلىش تېخىمۇ مۇرەككەپ. ۋاكۇئۇم پومپىسى ئىشلەتكەندە ، ئۆتكۈزگۈچتىكى بىخەتەرلىك تەدبىرلىرىگە دىققەت قىلىشىمىز ، كېيىن ئىشلەتكەندە مەشغۇلات قوللانمىسىدا ياخشى ئىشلىشىمىز كېرەك. مەشغۇلات ، چىقىرىش ، ئۈنۈم ۋە بىخەتەرلىك جەھەتتىكى كىچىك مەسىلىلەر بىر-بىرىگە باغلانغانلىقتىن ، ۋاكۇئۇم پومپىنىڭ خىزمەت ۋاقتىنى ئۇزارتىشىمىز ، تەڭپۇڭلۇقنى ماسلاشتۇرۇپ ، ئۈنۈم ۋە بىخەتەرلىككە كاپالەتلىك قىلىشىمىز كېرەك.

سۇ ھالقىسى ۋاكۇئۇم پومپىسى كلاپاننىڭ ئۇلىنىش شەكلى

بوغۇم يۈزىنىڭ شەكلىگە ئاساسەن ، ئۇنى تۆۋەندىكى تۈرلەرگە ئايرىشقا بولىدۇ:

1 ، O ئۈزۈك تىپى: بۇ يېڭى تىپتىكى سۇ ئۈزۈك ۋاكۇئۇم پومپىسى فلانگې ئۇلىنىش شەكلى ، ئۇنىڭدىن كېيىن ھەر خىل كاۋچۇك O ھالقىسىمان تەرەققىيات ئېلىپ بېرىلىدۇ ، پېچەتلەش ئۈنۈمى ئادەتتىكى تەكشى كىرئالغۇغا قارىغاندا تېخىمۇ ئىشەنچلىك.

2 ، ترەپەزوزال ئۆستەڭ تىپى: سۇ ئۈزۈكى ۋاكۇئۇم پومپىسى كلاپان فلانكىسى ئۇلىغۇچ سۈپىتىدە مېتال مېتال ئۈزۈك بىلەن ئۇلىنىدۇ ، خىزمەت بېسىمى 64 كىلوگىرام / cm2 كلاپان ياكى يۇقىرى تېمپېراتۇرا كلاپانىغا ئىشلىتىلىدۇ.

3. ئۆڭكۈر ۋە ئوقيا تىپى: چوڭ سۇلياۋ شەكلى ئۆزگىرىپ كەتكەن گازنى چىرىتىش ۋاسىتىسىدە ئىشلىتىشكە بولىدۇ. سۇ ئۈزۈك ۋاكۇئۇم پومپىسىنىڭ پېچەتلەش ئۈنۈمى تېخىمۇ ياخشى

4. كاۋاك ۋە ئەگمە شەكىل: سۇ ئۈزۈك ۋاكۇئۇم پومپىسىنىڭ خىزمەت بېسىمى تېخىمۇ يۇقىرى ، قاتتىق كىرئالغۇنى ئىشلىتىشكە بولىدۇ.

5 ، لىنزا تىپى: كىرئالغۇ لىنزانىڭ شەكلى ، مېتالدىن ياسالغان. خىزمەت بېسىمى 100kg / cm2 بولغان يۇقىرى بېسىملىق كلاپان ياكى يۇقىرى تېمپېراتۇرا كلاپان

6 ، سىلىق تىپ: بېسىم يۇقىرى كلاپان ئەمەس ، بىر تەرەپ قىلىش تېخىمۇ قۇلايلىق

سۇ ئۈزۈك ۋاكۇئۇم پومپىسى ئۇلىنىشىنىڭ شەكلى كۆپ خىل ، ئەمما ئۇلارنىڭ ئوخشىمىغان سورۇنلىرى بار ، ئىشلىتىشتە ، بىز بۇ سورۇننىڭ ماسلىشىشچانلىقىغا دىققەت قىلىشىمىز ، ئۇلىنىشنىڭ تەسىرىگە كاپالەتلىك قىلىشىمىز ، ئۇلىنىش مەغلۇبىيىتىنى كەلتۈرۈپ چىقارماسلىقىمىز ، سۇنىڭ بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشىمىز كېرەك. ئۈزۈك ۋاكۇئۇم پومپىسى