Вакуумний насос, застосований до напівпровідникових процесів безпеки, має значення водокільцевого вакуумного насосаклапанфланцеве з'єднання
Протягом останніх десятиліть, із швидким розвитком напівпровідникових технологій, напівпровідникове обладнання також упроваджує інновації та розробки покоління за поколінням. У наш час виробництво та використання напівпровідникового обладнання включає різноманітні хімічні елементи та багато інших аспектів високих технологій із сильним технічним комплексом. Розвиток технології напівпровідникового обладнання не тільки як такий, але й поступово інтегрує модульну технологію процесу в обладнання, роблячи його високоавтоматизованим і високоінтелектуальним, поступово змінюючи ситуацію природного розділення обладнання та процесу, і завжди перебуваючи в авангарді розвитку. промисловості виробництва напівпровідникових систем, що відіграє особливу важливу роль. З подальшим розвитком напівпровідникової техніки область її застосування стає все ширшою. В інших галузях виробництва електронних пристроїв напівпровідникове обладнання або обладнання, яке розвинулося на основі напівпровідникового обладнання, також в різному ступені застосовуються, стаючи новою областю застосування напівпровідникового обладнання. Особливо в мікро/наноелектронних пристроях, мікро/нано оптико-електромеханічних системах та інших галузях виробництва надзвичайно малих розмірів і високої точності це має надзвичайно важливе значення для розробки електронних компонентів.
Напівпровідниковий процес вакууму в основному використовується у випаровуванні, напиленні, PECVD, вакуумному сухому травленні, вакуумній адсорбції, випробувальному обладнанні, вакуумному очищенні та інших процесах зв’язування, виробництві напівпровідників та виробничому процесі, який легко виробляє легкозаймистий, вибухонебезпечний і токсичний газ, що становитиме загрозу для безпека виробництва та персоналу, отже, застосування напівпровідникового вакуумного насоса потребує звернення уваги на кілька питань безпеки:
1. Відфільтруйте та очистіть вакуумний насос та інші аксесуари, фільтр і трубу за графіком, щоб уникнути надмірного тиску:
При застосуванні напівпровідникового вакуумного насоса склад середовища, що екстрагується через реакційну камеру та вакуумний насос, може бути надзвичайно складним. Наприклад, SiH4 і O2 утворюють SiO2 в порту насоса, а гідроліз TiCl4 утворює HCl; Якщо припустити, що механічний насос типу масляного ущільнення, ці газові речовини також можуть бути реверсовані разом з маслом насоса. Ці зміни передбачають утворення часток, коагуляційного матеріалу або ерозивного середовища, які можуть засмітити вакуумний насос або систему трубопроводів, вплинути на роботу вакуумного насоса, спричинити підвищення тиску або надмірний тиск, і ризик, згаданий у другому пункті, є більшим. Тому необхідно вчасно очищати, а при необхідності налаштовувати фільтрувальне обладнання.
2, ефективне розведення концентрації шкідливого газу:
Напівпровідник схильний до утворення згаданих вище легкозаймистих і вибухових, токсичних і шкідливих газів. Тому при застосуванні напівпровідникового вакуумного насоса під час екстракції цих середовищ необхідно запобігти виникненню в них деяких неконтрольованих реакцій у вакуумному насосі або в процесі випуску. Такі як SiH4, PH3, AsH3, B2H6 та інші речовини при контакті з повітрям або киснем викликають горіння або навіть; Газоподібний водень також горить, коли співвідношення суміші в повітрі досягає певної температури. Все залежить від кількості речовини і її співвідношення з тиском і температурою навколишнього середовища. Тому, коли напівпровідниковий вакуумний насос витягує ці середовища, йому потрібно використовувати інертний газ, наприклад азот, щоб розбавити ці гази до безпечного діапазону перед стисненням.
3. Зверніть увагу на концентрацію кисню:
Якщо кисню в повітрі занадто багато, виникне горіння та ризик. Тому в деяких випадках слід звернути увагу на концентрацію кисню, використовуючи інертний газ для розведення, щоб запобігти занадто високій концентрації; Припускаючи, що для механічного насоса масляного ущільнення також може знадобитися використання деякої інертної та сумісної з киснем мастила для вакуумного насоса та своєчасної заміни масляних фільтрів і нафтопродуктів.
4, запобігайте занадто високій температурі:
Це легко зрозуміти. При застосуванні напівпровідника у вакуумному насосі є більше шкідливих газів. Незалежно від того, чи є сухий вакуумний насос механічним насосом із масляним ущільненням, температура в камері насоса надто висока, а легкозаймисті та вибухонебезпечні та двогазові можуть бути небезпечними при високій температурі.
Вищезазначені 4 аспекти є основними питаннями безпеки при застосуванні напівпровідникового вакуумного насоса. Загалом механічні насоси з масляним ущільненням потребують більшої уваги до деталей безпеки, ніж сухі вакуумні насоси, утилізація складніша. Коли ми використовуємо вакуумні насоси, нам потрібно звернути увагу на запобіжні заходи в провіднику та добре попрацювати в посібнику з експлуатації, коли використовуватимемо пізніше. Через невеликі проблеми з роботою, продуктивністю, ефективністю та безпекою пов’язані, ми повинні продовжити термін служби вакуумного насоса, прагнути координувати баланс, забезпечити ефективність та безпеку.
Форма фланцевого з'єднання клапана водокільцевого вакуумного насоса
За формою поверхні суглоба його можна розділити на такі види:
1, тип ущільнювального кільця: це новий тип фланцевого з’єднання вакуумного насоса з водяним кільцем, за яким слідує розробка різноманітних гумових ущільнювальних кілець, він є більш надійним у герметизації, ніж звичайна плоска шайба
2, тип трапецієподібної канавки: фланцеве з’єднання клапана вакуумного насоса з водяним кільцем з овальним металевим кільцем як шайба, використовується для клапана робочого тиску 64 кг/см2 або високотемпературного клапана
3. Врізний і пазовий тип: прокладка з великою пластичною деформацією може використовуватися в корозійному середовищі. Ефект ущільнення водяного кільцевого вакуумного насоса кращий
4. Увігнутий і опуклий тип: робочий тиск водяного кільцевого вакуумного насоса вищий, і можна використовувати жорстку шайбу
5, тип лінзи: шайба - це форма лінзи, виготовлена з металу. Клапани високого тиску або високотемпературні клапани з робочим тиском 100 кг/см2
6, гладкий тип: для тиску не високий клапан, обробка більш зручна
Фланцеве з’єднання водяного кільця вакуумного насоса існує у багатьох формах, але вони мають різні випадки, під час використання ми повинні звернути увагу на придатність випадку, забезпечити ефект з’єднання, не спричинити збій з’єднання, що призведе до пошкодження води. кільцевий вакуумний насос
Час публікації: 07 січня 2023 р
