Yarimo'tkazgich jarayoniga qo'llaniladigan vakuum pompasi suv halqali vakuum nasosining xavfsizligiga ta'sir qiladivalfgardish ulanishi
So'nggi o'n yilliklarda yarimo'tkazgich texnologiyasining jadal rivojlanishi bilan yarimo'tkazgich uskunalari ham avloddan-avlodga innovatsiyalar va rivojlanishdir. Hozirgi vaqtda yarimo'tkazgichli uskunalarni ishlab chiqarish va ulardan foydalanish kuchli texnik kompleksga ega bo'lgan turli xil kimyoviy elementlarni va yuqori texnologiyaning boshqa ko'plab jihatlarini o'z ichiga oladi. Nafaqat shunday, yarimo'tkazgichli uskunalar texnologiyasining rivojlanishi jarayon texnologiyasini modullashtirishni asta-sekin uskunaga birlashtiradi, uni yuqori darajada avtomatlashtirilgan va juda aqlli qiladi, asbob-uskunalar va jarayonni tabiiy ajratish holatini asta-sekin o'zgartiradi va har doim rivojlanishning birinchi qatorida yuradi. yarimo'tkazgichlar tizimini ishlab chiqarish sanoati alohida muhim rol o'ynaydi. Yarimo'tkazgichli uskunalarning yanada rivojlanishi bilan uni qo'llash sohasi tobora kengayib bormoqda. Boshqa elektron qurilmalar ishlab chiqarish sohalarida yarimo'tkazgich uskunalari yoki yarimo'tkazgich uskunalaridan ishlab chiqarilgan uskunalar ham turli darajada qabul qilinadi va yarimo'tkazgich uskunalarini qo'llashning yangi sohasiga aylanadi. Ayniqsa, mikro / nano elektron qurilmalar, mikro / nano optoelektromexanik tizimlar va boshqa mahsulotlarni ishlab chiqarish sohasida juda kichik o'lchamdagi va yuqori aniqlikdagi elektron komponentlarni rivojlantirish uchun juda muhim ahamiyatga ega.
Yarimo'tkazgichli jarayon vakuum asosan bug'lanish, püskürtme, PECVD, vakuumli quruq qirqish, vakuumli adsorbsiya, sinov uskunalari, vakuumni tozalash va boshqa bog'lash jarayonlarida qo'llaniladi, yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va ishlab chiqarish jarayonida osonlik bilan yonuvchan, portlovchi va zaharli gaz hosil qiladi, bu esa xavf tug'diradi. ishlab chiqarish va xodimlar xavfsizligi, shuning uchun yarimo'tkazgichli vakuum nasosini qo'llashda bir nechta xavfsizlik masalalariga e'tibor qaratish lozim:
1. Haddan tashqari bosimni oldini olish uchun vakuum nasosi va boshqa aksessuarlar, filtr va trubkalarni jadvalga muvofiq filtrlang va tozalang:
Yarimo'tkazgichli vakuum nasosini qo'llashda reaktsiya kamerasi va vakuum pompasi orqali olingan muhitning tarkibi juda murakkab bo'lishi mumkin. Masalan, SiH4 va O2 nasos portida SiO2 hosil qiladi va TiCl4 ning gidrolizi HCl ni hosil qiladi; Yog 'muhr turi mexanik nasos deb faraz qilsak, bu gaz moddalari nasos moyi bilan ham teskari bo'lishi mumkin. Ushbu o'zgarishlar vakuum nasosi yoki quvur tizimini yopishi, vakuum nasosi funktsiyasiga ta'sir qilishi, bosimning oshishi yoki ortiqcha bosimga olib kelishi mumkin bo'lgan zarralar, koagulyatsion material yoki eroziv muhit hosil bo'lishini nazarda tutadi va ikkinchi bandda aytib o'tilgan xavf kattaroqdir. Shuning uchun o'z vaqtida tozalash, kerak bo'lganda filtrlash uskunasini o'rnatish kerak.
2, zararli gaz konsentratsiyasini samarali suyultirish:
Yarimo'tkazgich yuqorida qayd etilgan yonuvchi va portlovchi, zaharli va zararli gazlarni ishlab chiqarishga moyil. Shuning uchun, yarimo'tkazgichli vakuum nasosini qo'llashda, bu vositalarni chiqarib olishda, vakuum nasosida yoki egzoz jarayonida ba'zi nazoratsiz reaktsiyalar paydo bo'lishining oldini olish kerak. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 va boshqa moddalar havo yoki kislorod bilan aloqa qilishda yonish yoki hatto yonishini keltirib chiqaradi; Vodorod gazi havodagi aralashma nisbati ma'lum bir haroratga yetganda ham yonadi. Bularning barchasi moddaning miqdori va uning atrof-muhit bosimi va harorati bilan bog'liqligiga bog'liq. Shuning uchun, yarimo'tkazgichli vakuum pompasi bu muhitni chiqarganda, siqilishdan oldin bu gazlarni xavfsiz oraliqda suyultirish uchun azot kabi inert gazdan foydalanish kerak.
3. Kislorod konsentratsiyasiga e'tibor bering:
Havodagi kislorod juda yuqori bo'lsa, yonish va xavf paydo bo'ladi. Shuning uchun, ba'zi hollarda, kislorodning konsentratsiyasiga e'tibor berish kerak, inert gazni suyultirish uchun ishlatish, juda yuqori konsentratsiyani oldini olish; Yog 'muhrining mexanik nasosi, shuningdek, ba'zi inert va kislorodga mos keladigan vakuum pompasi yog'idan foydalanishi va yog 'filtrlari va neft mahsulotlarini o'z vaqtida almashtirishi kerak bo'lishi mumkin.
4, juda yuqori haroratni oldini oling:
Bu nuqtani tushunish oson. Vakuum nasosida yarimo'tkazgichni qo'llashda ko'proq zararli gazlar mavjud. Quruq vakuum pompasi hali ham yog 'muhrining mexanik nasosi bo'ladimi, nasos kamerasidagi harorat juda yuqori va yonuvchan va portlovchi va du gazi yuqori haroratda osongina xavfli bo'ladi.
Yuqoridagi 4 ta jihat yarimo'tkazgichli vakuum nasosini qo'llashda asosiy xavfsizlik masalalari hisoblanadi. Umuman olganda, yog 'muhrining mexanik nasoslari quruq vakuum nasoslariga qaraganda ko'proq xavfsizlik tafsilotlariga e'tibor berishlari kerak, yo'q qilish murakkabroq. Vakuum nasoslarini ishlatganda, biz o'tkazgichdagi xavfsizlik choralariga e'tibor berishimiz kerak va keyinroq foydalanishda foydalanish qo'llanmasida yaxshi ish qilishimiz kerak. Ishlash, ishlab chiqarish, samaradorlik va xavfsizlik bilan bog'liq kichik muammolar tufayli biz vakuum nasosining ishlash muddatini uzaytirishimiz, muvozanatni muvofiqlashtirishga, samaradorlik va xavfsizlikni ta'minlashga harakat qilishimiz kerak.
Suv halqali vakuum nasos klapanining gardish ulanish shakli
Qo'shimchalar yuzasining shakliga ko'ra, uni quyidagi turlarga bo'lish mumkin:
1, O-ring turi: bu yangi turdagi suv halqali vakuum pompasi gardishli ulanish shakli bo'lib, undan keyin turli xil kauchuk O-ringni ishlab chiqish kuzatiladi, u umumiy tekis yuvish mashinasiga qaraganda muhrlanish effektida ishonchliroqdir.
2, trapezoidal truba turi: suv halqali vakuum pompasi klapanining gardishli ulanishi yuvish vositasi sifatida oval metall halqali, ish bosimi 64 kg / sm2 vana yoki yuqori haroratli valf uchun ishlatiladi
3. Mortise va yiv turi: Katta plastik deformatsiyaga ega bo'lgan qistirmani korroziy muhitda ishlatish mumkin. Suv halqali vakuum nasosining muhrlanish effekti yaxshiroq
4. Konkav va konveks turi: suv halqali vakuum nasosining ish bosimi yuqoriroq va qattiq yuvish vositasidan foydalanish mumkin
5, linza turi: yuvish mashinasi linzaning shakli, metalldan yasalgan. 100kg / sm2 ish bosimiga ega yuqori bosimli klapanlar yoki yuqori haroratli valflar
6, silliq turi: bosim yuqori vana emas, ishlov berish qulayroq
Suv halqali vakuum nasosining gardish ulanishi ko'p shakllarga ega, ammo ular turli xil holatlarga ega, foydalanishda biz vaziyatning mosligiga e'tibor qaratishimiz kerak, ulanishning ta'sirini ta'minlashimiz, ulanishning buzilishiga olib kelmasligimiz kerak, natijada suvga zarar yetkaziladi. halqali vakuum pompasi
Xabar vaqti: 2023 yil 07-yanvar
