Bơm chân không áp dụng cho vấn đề an toàn quá trình bán dẫn Bơm chân không vòng nướcvankết nối mặt bích
Trong những thập kỷ qua, với sự phát triển nhanh chóng của công nghệ bán dẫn, thiết bị bán dẫn cũng đang trong quá trình đổi mới và phát triển từ thế hệ này sang thế hệ khác. Ngày nay, việc sản xuất và sử dụng thiết bị bán dẫn liên quan đến nhiều nguyên tố hóa học và nhiều khía cạnh khác của công nghệ cao, có tính kỹ thuật toàn diện mạnh mẽ. Không chỉ vậy, sự phát triển của công nghệ thiết bị bán dẫn dần dần tích hợp mô-đun hóa công nghệ xử lý vào thiết bị, làm cho thiết bị có tính tự động hóa cao và thông minh cao, thay đổi dần tình hình tách biệt tự nhiên giữa thiết bị và quy trình và luôn đi đầu trong sự phát triển của ngành sản xuất hệ thống bán dẫn, có vai trò đặc biệt quan trọng. Với sự phát triển hơn nữa của thiết bị bán dẫn, lĩnh vực ứng dụng của nó ngày càng rộng hơn. Trong các lĩnh vực sản xuất thiết bị điện tử khác, thiết bị bán dẫn hoặc thiết bị phát triển từ thiết bị bán dẫn cũng được áp dụng ở các mức độ khác nhau, trở thành một lĩnh vực ứng dụng thiết bị bán dẫn mới. Đặc biệt trong lĩnh vực sản xuất các thiết bị điện tử micro/nano, hệ thống cơ điện tử micro/nano và các sản phẩm khác có kích thước cực nhỏ và độ chính xác cao, nó có ý nghĩa cực kỳ quan trọng đối với sự phát triển của linh kiện điện tử.
Quá trình chân không bán dẫn chủ yếu được sử dụng trong quá trình bay hơi, phún xạ, PECVD, khắc khô chân không, hấp phụ chân không, thiết bị kiểm tra, làm sạch chân không và các quá trình liên kết khác, quá trình sản xuất và sản xuất chất bán dẫn dễ dàng tạo ra khí vật liệu dễ cháy, nổ và độc hại, sẽ gây ra mối đe dọa cho do đó, việc ứng dụng bơm chân không bán dẫn cần chú ý đến một số vấn đề an toàn:
1. Lọc và vệ sinh bơm chân không và các phụ kiện, bộ lọc, đường ống theo lịch trình để tránh quá áp:
Trong ứng dụng bơm chân không bán dẫn, thành phần của môi trường được chiết qua buồng phản ứng và bơm chân không có thể cực kỳ phức tạp. Ví dụ, SiH4 và O2 tạo thành SiO2 ở cổng bơm, thủy phân TiCl4 sẽ tạo thành HCl; Giả sử bơm cơ khí là loại phốt dầu thì các chất khí này cũng có thể bị đảo ngược với dầu bơm. Những thay đổi này giả định sự hình thành các hạt, vật liệu đông tụ hoặc môi trường ăn mòn có thể làm tắc nghẽn bơm chân không hoặc hệ thống đường ống, ảnh hưởng đến chức năng bơm chân không, gây tăng áp suất hoặc quá áp và rủi ro được đề cập ở điểm thứ hai là lớn hơn. Vì vậy, cần phải vệ sinh kịp thời, lắp đặt thiết bị lọc khi cần thiết.
2, pha loãng hiệu quả nồng độ khí độc hại:
Chất bán dẫn có xu hướng tạo ra các loại khí dễ cháy và nổ, độc hại và có hại nêu trên. Vì vậy, trong ứng dụng bơm chân không bán dẫn, khi chiết các vật liệu này cần tránh để chúng xảy ra một số phản ứng không kiểm soát được trong bơm chân không hoặc trong quá trình xả khí. Chẳng hạn như SiH4, PH3, AsH3, B2H6 và các chất khác khi tiếp xúc với không khí hoặc oxy sẽ gây cháy hoặc thậm chí; Khí hydro cũng cháy khi tỷ lệ hỗn hợp trong không khí đạt đến nhiệt độ nhất định. Tất cả phụ thuộc vào lượng chất và mối quan hệ của nó với áp suất và nhiệt độ của môi trường. Do đó, khi bơm chân không bán dẫn chiết xuất các môi trường này, nó cần sử dụng khí trơ, chẳng hạn như nitơ, để pha loãng các khí này đến phạm vi an toàn trước khi nén.
3. Chú ý đến nồng độ oxy:
Nếu lượng oxy trong không khí quá cao sẽ xảy ra hiện tượng cháy và nguy hiểm. Vì vậy, trong một số trường hợp cần chú ý đến nồng độ oxy, sử dụng khí trơ để pha loãng, tránh nồng độ quá cao; Giả sử rằng bơm cơ khí bịt dầu cũng có thể cần sử dụng một số loại dầu bơm chân không trơ và tương thích với oxy, đồng thời thay thế kịp thời các bộ lọc dầu và các sản phẩm dầu.
4, ngăn chặn nhiệt độ quá cao:
Điểm này rất dễ hiểu. Trong ứng dụng chất bán dẫn trong bơm chân không, có nhiều khí độc hại hơn. Dù bơm chân không khô vẫn là bơm cơ khí phớt dầu, nhiệt độ trong buồng bơm quá cao, dễ gây cháy nổ và khí du sẽ dễ gây nguy hiểm ở nhiệt độ cao.
4 khía cạnh trên là vấn đề an toàn chính trong ứng dụng bơm chân không bán dẫn. Nhìn chung, bơm cơ khí phớt dầu cần chú ý đến các chi tiết an toàn hơn so với bơm chân không khô, việc xử lý phức tạp hơn. Khi sử dụng máy bơm chân không, chúng ta cần chú ý đến các biện pháp phòng ngừa an toàn ở dây dẫn và làm tốt hướng dẫn vận hành khi sử dụng sau này. Do các vấn đề nhỏ về vận hành, đầu ra, hiệu quả và an toàn có mối liên hệ với nhau, chúng ta nên kéo dài tuổi thọ của bơm chân không, cố gắng phối hợp cân bằng, đảm bảo hiệu quả và an toàn.
Mẫu kết nối mặt bích van bơm chân không vòng nước
Theo hình dạng của bề mặt khớp, nó có thể được chia thành các loại sau:
1, Loại vòng chữ O: đây là một dạng kết nối mặt bích bơm chân không vòng nước mới, tiếp theo là nhiều loại phát triển vòng chữ O bằng cao su, hiệu quả bịt kín đáng tin cậy hơn so với máy giặt phẳng thông thường
2, loại rãnh hình thang: van bơm chân không vòng nước kết nối mặt bích với vòng kim loại hình bầu dục làm vòng đệm, dùng cho van áp suất làm việc 64 kg / cm2 hoặc van nhiệt độ cao
3. Loại lỗ mộng và rãnh: Miếng đệm có biến dạng dẻo lớn có thể được sử dụng trong môi trường ăn mòn. Hiệu quả bịt kín của bơm chân không vòng nước tốt hơn
4. Loại lõm và lồi: áp suất làm việc của bơm chân không vòng nước cao hơn và có thể sử dụng máy giặt cứng
5, loại thấu kính: vòng đệm là hình dạng của thấu kính, được làm bằng kim loại. Van cao áp hoặc van nhiệt độ cao có áp suất làm việc 100kg/cm2
6, loại trơn: cho áp suất không phải là van cao, xử lý thuận tiện hơn
Kết nối mặt bích bơm chân không vòng nước có nhiều hình thức, nhưng chúng có những trường hợp khác nhau, khi sử dụng, chúng ta nên chú ý đến sự phù hợp của từng trường hợp, đảm bảo hiệu quả kết nối, không gây ra lỗi kết nối, dẫn đến hư hỏng nước. bơm chân không vòng
Thời gian đăng: Jan-07-2023
