וואַקוום פּאָמפּע געווענדט צו סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס זיכערקייַט ענינים וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע וואַלוו פלאַנדזש קשר

וואַקוום פּאָמפּע געווענדט צו סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס זיכערקייַט ענינים וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּעוואַלוופלאַנדזש קשר

אין די לעצטע דעקאַדעס, מיט דער גיך אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע, סעמיקאַנדאַקטער ויסריכט איז אויך אין דור נאָך דור כידעש און אַנטוויקלונג. נאָוואַדייַס, די מאַנופאַקטורינג און נוצן פון סעמיקאַנדאַקטער ויסריכט ינוואַלווז אַ פאַרשיידנקייַט פון כעמיש עלעמענטן און פילע אנדערע אַספּעקץ פון הויך טעכנאָלאָגיע, מיט אַ שטאַרק טעכניש פולשטענדיק. ניט בלויז ווי אַזאַ, די אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער ויסריכט טעכנאָלאָגיע ביסלעכווייַז ינטאַגרייץ די מאַדזשאַלעריזיישאַן פון פּראָצעס טעכנאָלאָגיע אין די ויסריכט, מאכן עס העכסט אָטאַמייטיד און העכסט ינטעליגענט, ביסלעכווייַז טשאַנגינג די סיטואַציע פון ​​נאַטירלעך צעשיידונג פון ויסריכט און פּראָצעס, און שטענדיק גיין אין די פאָרפראַנט פון דער אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער סיסטעם מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע, פּלייינג אַ ספּעציעל וויכטיק ראָלע. מיט דער ווייַטער אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער ויסריכט, זייַן אַפּלאַקיישאַן פעלד ווערט מער און מער ברייט. אין אנדערע מאַנופאַקטורינג פעלדער פון עלעקטראָניש מיטל, סעמיקאַנדאַקטער עקוויפּמענט אָדער ויסריכט יוואַלווד פון סעמיקאַנדאַקטער עקוויפּמענט זענען אויך אנגענומען אין וועריינג דיגריז, און ווערן אַ נייַע פעלד פון אַפּלאַקיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער ויסריכט. ספּעציעל אין די מיקראָ / נאַנאָ עלעקטראָניש דעוויסעס, מיקראָ / נאַנאָ אָפּטאָעלעקטראָמעטשאַניקאַל סיסטעמען און אנדערע פּראָדוקטן מאַנופאַקטורינג פעלד פון גאָר קליין גרייס און הויך פּינטלעכקייַט, עס האט גאָר וויכטיק באַטייַט פֿאַר דער אַנטוויקלונג פון עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ.

סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס וואַקוום איז דער הויפּט געניצט אין יוואַפּעריישאַן, ספּאַטערינג, PECVD, וואַקוום טרוקן עטשינג, וואַקוום אַדסאָרפּטיאָן, פּרובירן ויסריכט, וואַקוום רייניקונג און אנדערע באַנדינג פּראַסעסאַז, סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע און מאַנופאַקטורינג פּראָצעס לייכט פּראָדוצירן ברענעוודיק, יקספּלאָוסיוו און טאַקסיק מאַטעריאַל גאַז, וועט זיין אַ סאַקאָנע צו פּראָדוקציע און שטעקן זיכערקייַט, דעריבער די אַפּלאַקיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער וואַקוום פּאָמפּע דאַרפֿן צו באַצאָלן ופמערקזאַמקייט צו עטלעכע זיכערקייַט ענינים:

1. פילטער און ריין וואַקוום פּאָמפּע און אנדערע אַקסעסעריז, פילטער און רער אויף פּלאַן צו ויסמיידן אָוווערפּרעססורע:

אין די אַפּלאַקיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער וואַקוום פּאָמפּע, דער זאַץ פון די מיטל יקסטראַקטיד דורך די אָפּרוף קאַמער און וואַקוום פּאָמפּע קען זיין גאָר קאָמפּליצירט. פֿאַר בייַשפּיל, SiH4 און O2 פאָרעם SiO2 אין די פּאָמפּע פּאָרט, און די כיידראַלאַסאַס פון TiCl4 וועט פאָרעם הקל; אַסומינג אַז די בוימל פּלאָמבע טיפּ מעטשאַניקאַל פּאָמפּע, די גאַז סאַבסטאַנסיז קען אויך זיין ריווערסט מיט די פּאָמפּע בוימל. די ענדערונגען יבערנעמען די פאָרמירונג פון פּאַרטיקאַלז, קאָאַגולאַבלע מאַטעריאַל אָדער יראָוזיוו מידיאַ, וואָס קען פאַרלייגן די וואַקוום פּאָמפּע אָדער פּייפּינג סיסטעם, ווירקן די וואַקוום פּאָמפּע פונקציע, פאַרשאַפן דרוק העכערונג אָדער אָוווערפּרעססורע, און די ריזיקירן דערמאנט אין די רגע פונט איז גרעסער. דעריבער, עס איז נייטיק צו ריין אין צייט, און שטעלן פֿילטרירונג ויסריכט ווען נייטיק.

2, עפעקטיוו דיילושאַן פון שעדלעך גאַז קאַנסאַנטריישאַן:

סעמיקאַנדאַקטער איז פּראָנע צו פּראָדוצירן די אויבן דערמאנט אָנצינדונג און יקספּלאָוסיוו, טאַקסיק און שעדלעך גאַסאַז. דעריבער, אין די אַפּלאַקיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער וואַקוום פּאָמפּע, ווען יקסטראַקטינג די מידיאַ, עס איז נייטיק צו פאַרמייַדן זיי פון עטלעכע אַנקאַנטראָולאַבאַל ריאַקשאַנז אין די וואַקוום פּאָמפּע אָדער אין די ויסמאַטערן פּראָצעס. אַזאַ ווי SiH4, PH3, Ash3, B2H6 און אנדערע סאַבסטאַנסיז, אין קאָנטאַקט מיט לופט אָדער זויערשטאָף, וועט פאַרשאַפן קאַמבאַסטשאַן אָדער אפילו; הידראָגען גאַז ברענט אויך ווען די געמיש פאַרהעלטעניש אין די לופט ריטשאַז אַ זיכער טעמפּעראַטור. עס אַלע דעפּענדס אויף די סומע פון ​​די מאַטעריע און זייַן שייכות צו די דרוק און טעמפּעראַטור פון די סוויווע. דעריבער, ווען די סעמיקאַנדאַקטער וואַקוום פּאָמפּע עקסטראַקט די מידיאַ, עס דאַרף צו נוצן אַ ינערט גאַז, אַזאַ ווי ניטראָגען, צו צעפירן די גאַסאַז צו אַ זיכער קייט איידער קאַמפּרעשאַן.

3. באַצאָלן ופמערקזאַמקייַט צו די קאַנסאַנטריישאַן פון זויערשטאָף:

אויב זויערשטאָף אין די לופט איז צו הויך, קאַמבאַסטשאַן און ריזיקירן וועט פּאַסירן. דעריבער, אין עטלעכע קאַסעס, אכטונג זאָל זיין באַצאָלט צו די קאַנסאַנטריישאַן פון זויערשטאָף, ניצן ינערט גאַז צו צעפירן, צו פאַרמייַדן צו הויך קאַנסאַנטריישאַן; אַסומינג אַז די בוימל פּלאָמבע מעטשאַניקאַל פּאָמפּע קען אויך דאַרפֿן צו נוצן עטלעכע ינערט און זויערשטאָף קאַמפּאַטאַבאַל וואַקוום פּאָמפּע בוימל, און בייַצייַטיק פאַרבייַט פון בוימל פילטערס און ייל פּראָדוקטן.

4, פאַרמייַדן די טעמפּעראַטור צו הויך:

עס איז גרינג צו פֿאַרשטיין דעם פונט. אין די אַפּלאַקיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער אין וואַקוום פּאָמפּע, עס זענען מער שעדלעך גאַסאַז. צי טרוקן וואַקוום פּאָמפּע איז נאָך אַ בוימל פּלאָמבע מעטשאַניקאַל פּאָמפּע, די טעמפּעראַטור אין די פּאָמפּע קאַמער איז אויך הויך, און ברענעוודיק און יקספּלאָוסיוו און דו גאַז וועט לייכט זיין געפערלעך אין הויך טעמפּעראַטור.

די אויבן 4 אַספּעקץ זענען די הויפּט זיכערקייַט ענינים אין די אַפּלאַקיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער וואַקוום פּאָמפּע. אין אַלגעמיין, בוימל פּלאָמבע מעטשאַניקאַל פּאַמפּס דאַרפֿן צו באַצאָלן ופמערקזאַמקייַט צו מער זיכערקייַט דעטאַילס ווי טרוקן וואַקוום פּאַמפּס, די באַזייַטיקונג איז מער קאָמפּליצירט. ווען מיר נוצן וואַקוום פּאַמפּס, מיר דאַרפֿן צו באַצאָלן ופמערקזאַמקייט צו די זיכערקייַט פּריקאָשאַנז אין די אָנפירער, און טאָן אַ גוט אַרבעט אין די אָפּעראַציע מאַנואַל ווען ניצן שפּעטער. ווייַל פון די קליין פראבלעמען אויף אָפּעראַציע, פּראָדוקציע, עפעקטיווקייַט און זיכערקייַט זענען לינגקט, מיר זאָל פאַרברייטערן די דינסט לעבן פון די וואַקוום פּאָמפּע, שטרעבן צו קאָואָרדאַנאַט וואָג, ענשור עפעקטיווקייַט און זיכערקייַט.

וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע וואַלוו פלאַנדזש קשר פאָרעם

לויט די פאָרעם פון די שלאָס ייבערפלאַך, עס קענען זיין צעטיילט אין די פאלגענדע טייפּס:

1, אָ-רינג טיפּ: דאָס איז אַ נייַ טיפּ פון וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע פלאַנדזש קשר פאָרעם, איז נאכגעגאנגען דורך אַ פאַרשיידנקייַט פון גומע אָ-רינג אַנטוויקלונג, עס איז מער פאַרלאָזלעך אין סילינג ווירקונג ווי די אַלגעמיינע פלאַך וואַשער

2, טראַפּעזאָידאַל נאָרע טיפּ: וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע וואַלוו פלאַנדזש קשר מיט אָוואַל מעטאַל רינג ווי אַ וואַשער, געניצט פֿאַר ארבעטן דרוק 64 קג/קמ2 וואַלוו אָדער הויך טעמפּעראַטור וואַלוו

3. מאָרטיסע און נאָרע טיפּ: די גאַסקאַט מיט גרויס פּלאַסטיק דיפאָרמיישאַן קענען זיין געוויינט אין די קעראָוסיוו מיטל. די סילינג ווירקונג פון וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע איז בעסער

4. קאָנקאַווע און קאַנוועקס טיפּ: די אַרבעט דרוק פון וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע איז העכער, און די שווער וואַשער קענען זיין געוויינט

5, אָביעקטיוו טיפּ: די וואַשער איז די פאָרעם פון די אָביעקטיוו, געמאכט פון מעטאַל. הויך דרוק וואַלווז אָדער הויך טעמפּעראַטור וואַלווז מיט ארבעטן דרוק פון 100 קג/קמ2

6, גלאַט טיפּ: פֿאַר די דרוק איז נישט הויך וואַלוו, פּראַסעסינג מער באַקוועם

וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע פלאַנדזש קשר איז עס זענען פילע פארמען, אָבער זיי האָבן פאַרשידענע מאל, אין נוצן, מיר זאָל באַצאָלן ופמערקזאַמקייט צו די סוטאַביליטי פון די געלעגנהייַט, ענשור די ווירקונג פון קשר, טאָן ניט פאַרשאַפן קשר דורכפאַל, ריזאַלטינג אין שעדיקן צו די וואַסער רינג וואַקוום פּאָמפּע