Igbale fifa ti a lo si semikondokito ilana ailewu ọrọ omi oruka igbale fifaàtọwọdáflange asopọ
Ni awọn ewadun to kọja, pẹlu idagbasoke iyara ti imọ-ẹrọ semikondokito, ohun elo semikondokito tun wa ni iran lẹhin iran tuntun ati idagbasoke. Ni ode oni, iṣelọpọ ati lilo ohun elo semikondokito pẹlu ọpọlọpọ awọn eroja kemikali ati ọpọlọpọ awọn aaye miiran ti imọ-ẹrọ giga, pẹlu imọ-ẹrọ to lagbara. Kii ṣe iru bẹ nikan, idagbasoke ti imọ-ẹrọ ohun elo semikondokito maa n ṣepọ modularization imọ-ẹrọ ilana sinu ohun elo, ti o jẹ ki o ni adaṣe giga ati oye giga, ni diėdiė iyipada ipo ti Iyapa adayeba ti ohun elo ati ilana, ati nigbagbogbo nrin ni iwaju ti idagbasoke. ti ile-iṣẹ iṣelọpọ eto semikondokito, ṣiṣe ipa pataki pataki kan. Pẹlu ilọsiwaju siwaju ti ohun elo semikondokito, aaye ohun elo rẹ di pupọ ati siwaju sii jakejado. Ni awọn aaye iṣelọpọ ẹrọ itanna miiran, ohun elo semikondokito tabi ohun elo ti o wa lati ohun elo semikondokito tun gba si awọn iwọn oriṣiriṣi, di aaye tuntun ti ohun elo ohun elo semikondokito. Paapa ninu awọn ẹrọ itanna micro / nano, awọn ọna ẹrọ optoelectromechanical micro / nano ati awọn ọja iṣelọpọ awọn ọja miiran ti iwọn kekere pupọ ati pipe to gaju, o ni pataki pataki pupọ fun idagbasoke awọn paati itanna.
Igbale ilana ilana semikondokito ni akọkọ lo ninu evaporation, sputtering, PECVD, igbale gbẹ etching, igbale adsorption, ohun elo idanwo, igbale igbale ati awọn ilana imora miiran, iṣelọpọ semikondokito ati ilana iṣelọpọ ni irọrun gbejade flammable, ibẹjadi ati gaasi ohun elo majele, yoo jẹ irokeke ewu si iṣelọpọ ati ailewu oṣiṣẹ, nitorinaa, ohun elo ti fifa fifa semikondokito nilo lati fiyesi si ọpọlọpọ awọn ọran aabo:
1. Ajọ ati fifa fifa omi mimọ ati awọn ẹya ẹrọ miiran, àlẹmọ ati paipu lori iṣeto lati yago fun titẹ agbara:
Ninu ohun elo ti fifa ẹrọ igbale semikondokito, akopọ ti alabọde ti a fa jade nipasẹ iyẹwu ifaseyin ati fifa igbale le jẹ eka pupọ. Fun apẹẹrẹ, SiH4 ati O2 fọọmu SiO2 ni ibudo fifa, ati hydrolysis ti TiCl4 yoo ṣe HCl; Ti a ro pe iru ẹrọ fifa epo iru ẹrọ, awọn nkan gaasi wọnyi le tun yipada pẹlu epo fifa. Awọn ayipada wọnyi dawọle dida awọn patikulu, ohun elo coagulable, tabi media erosive, eyiti o le di fifa fifa tabi eto fifin, ni ipa lori iṣẹ fifa igbale, fa igbega titẹ tabi titẹ apọju, ati ewu ti a mẹnuba ninu aaye keji tobi julọ. Nitorinaa, o jẹ dandan lati nu ni akoko, ati ṣeto awọn ohun elo sisẹ nigbati o jẹ dandan.
2, dilution ti o munadoko ti ifọkansi gaasi ipalara:
Semikondokito jẹ itara lati gbejade ti a mẹnuba loke inflammable ati ibẹjadi, majele ati awọn gaasi ipalara. Nitorina, ninu ohun elo ti semikondokito igbale fifa, nigba yiyo wọnyi media, o jẹ pataki lati se wọn lati nini diẹ ninu awọn aati ti ko ni idari ninu awọn igbale fifa tabi ni awọn eefi ilana. Bii SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ati awọn nkan miiran, ni ifọwọkan pẹlu afẹfẹ tabi atẹgun, yoo fa ijona tabi paapaa; Gaasi hydrogen tun n sun nigbati ipin idapọ ninu afẹfẹ ba de iwọn otutu kan. Gbogbo rẹ da lori iye nkan na ati ibatan rẹ si titẹ ati iwọn otutu ti agbegbe. Nitorinaa, nigbati fifa fifa semikondokito yọ awọn media wọnyi jade, o nilo lati lo gaasi inert, gẹgẹbi nitrogen, lati di awọn gaasi wọnyi si ibiti o ni aabo ṣaaju funmorawon.
3. San ifojusi si ifọkansi ti atẹgun:
Ti atẹgun ninu afẹfẹ ba ga ju, ijona ati ewu yoo waye. Nitorinaa, ni awọn igba miiran, akiyesi yẹ ki o san si ifọkansi ti atẹgun, lilo gaasi inert lati dilute, lati ṣe idiwọ ifọkansi giga julọ; Ti a ro pe fifa fifa ẹrọ epo le tun nilo lati lo diẹ ninu awọn inert ati atẹgun ibaramu epo fifa igbale, ati rirọpo akoko ti awọn asẹ epo ati awọn ọja epo.
4, ṣe idiwọ iwọn otutu ga ju:
O rọrun lati ni oye aaye yii. Ninu ohun elo ti semikondokito ni fifa igbale, awọn gaasi ipalara diẹ sii wa. Boya fifa igbale gbigbẹ jẹ ṣi ẹrọ fifa ẹrọ ẹrọ epo, iwọn otutu ninu iyẹwu fifa ga ju, ati flammable ati awọn ibẹjadi ati gaasi du gaasi yoo ni irọrun lewu ni iwọn otutu giga.
Awọn aaye mẹrin mẹrin ti o wa loke jẹ awọn ọran aabo akọkọ ninu ohun elo ti fifa fifa semikondokito. Ni gbogbogbo, awọn ifasoke ẹrọ ti n ṣatunṣe epo nilo lati san ifojusi si awọn alaye ailewu diẹ sii ju awọn ifasoke igbale gbẹ, sisọnu jẹ eka sii. Nigba ti a ba lo awọn ifasoke igbale, a nilo lati fiyesi si awọn iṣọra ailewu ninu olutọpa, ki o si ṣe iṣẹ ti o dara ni itọnisọna iṣẹ nigba lilo nigbamii. Nitori awọn iṣoro kekere lori iṣiṣẹ, iṣẹjade, ṣiṣe ati ailewu ni a ti sopọ, a yẹ ki o fa igbesi aye iṣẹ ti fifa igbale, gbiyanju lati ṣajọpọ iwọntunwọnsi, rii daju ṣiṣe ati ailewu.
Omi oruka igbale fifa àtọwọdá flange asopọ fọọmu
Gẹgẹbi apẹrẹ ti dada apapọ, o le pin si awọn oriṣi wọnyi:
1, O-oruka iru: eyi jẹ iru tuntun ti omi oruka igbale fifa fifa fifa fọọmu asopọ, ni atẹle nipasẹ ọpọlọpọ idagbasoke roba O-oruka, o jẹ igbẹkẹle diẹ sii ni ipa lilẹ ju alapin alapin gbogbogbo.
2, trapezoidal groove type: omi oruka igbale fifa falifu flange asopọ pẹlu oval irin oruka bi a ifoso, lo fun ṣiṣẹ titẹ 64 kg / cm2 àtọwọdá tabi ga otutu àtọwọdá
3. Mortise ati groove iru: Awọn gasiketi pẹlu tobi ṣiṣu abuku le ṣee lo ninu awọn ipata alabọde. Awọn lilẹ ipa ti omi oruka igbale fifa jẹ dara
4. Concave ati convex iru: titẹ ṣiṣẹ ti omi oruka igbale fifa ga, ati awọn lile ifoso le ṣee lo
5, iru lẹnsi: ifoso jẹ apẹrẹ ti lẹnsi, ti a fi irin ṣe. Awọn falifu titẹ giga tabi awọn falifu otutu ti o ga pẹlu titẹ iṣẹ ti 100kg / cm2
6, dan iru: fun titẹ ko ga àtọwọdá, processing diẹ rọrun
Omi oruka igbale fifa fifa asopọ flange ni ọpọlọpọ awọn fọọmu, ṣugbọn wọn ni awọn oriṣiriṣi awọn iṣẹlẹ, ni lilo, o yẹ ki a fiyesi si ibamu ti iṣẹlẹ naa, rii daju ipa ti asopọ, ma ṣe fa ikuna asopọ, ti o mu abajade ibajẹ si omi. oruka igbale fifa
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-07-2023
