વેક્યુમ પંપ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા સલામતી બાબતોમાં લાગુ પડે છે વોટર રિંગ વેક્યુમ પંપ વાલ્વ ફ્લેંજ કનેક્શન

સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા સલામતી માટે લાગુ વેક્યુમ પંપ વોટર રિંગ વેક્યુમ પંપવાલ્વફ્લેંજ કનેક્શન

છેલ્લા દાયકાઓમાં, સેમિકન્ડક્ટર ટેકનોલોજીના ઝડપી વિકાસ સાથે, સેમિકન્ડક્ટર સાધનો પણ પેઢી દર પેઢી નવીનતા અને વિકાસમાં છે. આજકાલ, સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદન અને ઉપયોગમાં મજબૂત તકનીકી વ્યાપક સાથે વિવિધ રાસાયણિક તત્વો અને ઉચ્ચ તકનીકના અન્ય ઘણા પાસાઓનો સમાવેશ થાય છે. એટલું જ નહીં, સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની ટેક્નોલોજીનો વિકાસ ધીમે ધીમે સાધનસામગ્રીમાં પ્રોસેસ ટેક્નોલૉજી મોડ્યુલરાઇઝેશનને એકીકૃત કરે છે, તેને અત્યંત સ્વયંસંચાલિત અને અત્યંત બુદ્ધિશાળી બનાવે છે, ધીમે ધીમે સાધનો અને પ્રક્રિયાના કુદરતી વિભાજનની પરિસ્થિતિમાં પરિવર્તન લાવે છે અને હંમેશા વિકાસની દિશામાં આગળ વધે છે. સેમિકન્ડક્ટર સિસ્ટમ મેન્યુફેક્ચરિંગ ઉદ્યોગમાં, ખાસ મહત્વની ભૂમિકા ભજવે છે. સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના વધુ વિકાસ સાથે, તેના એપ્લિકેશન ક્ષેત્ર વધુ અને વધુ વ્યાપક બને છે. અન્ય ઈલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણ ઉત્પાદન ક્ષેત્રોમાં, સેમિકન્ડક્ટર સાધનો અથવા સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાંથી વિકસિત સાધનો પણ વિવિધ ડિગ્રીમાં અપનાવવામાં આવે છે, જે સેમિકન્ડક્ટર સાધનો એપ્લિકેશનનું નવું ક્ષેત્ર બની જાય છે. ખાસ કરીને માઈક્રો/નેનો ઈલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણો, માઈક્રો/નેનો ઓપ્ટોઈલેક્ટ્રોમિકેનિકલ સિસ્ટમ્સ અને અત્યંત નાના કદના અને ઉચ્ચ ચોકસાઈવાળા અન્ય ઉત્પાદનોના ઉત્પાદન ક્ષેત્રે, ઈલેક્ટ્રોનિક ઘટકોના વિકાસ માટે તે અત્યંત મહત્વપૂર્ણ મહત્વ ધરાવે છે.

સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા વેક્યૂમનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે બાષ્પીભવન, સ્પટરિંગ, PECVD, વેક્યુમ ડ્રાય એચિંગ, વેક્યૂમ શોષણ, પરીક્ષણ સાધનો, વેક્યૂમ ક્લિનિંગ અને અન્ય બંધન પ્રક્રિયાઓમાં થાય છે, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન અને ઉત્પાદન પ્રક્રિયા સરળતાથી જ્વલનશીલ, વિસ્ફોટક અને ઝેરી સામગ્રી ગેસ માટે જોખમી પેદા કરે છે. ઉત્પાદન અને કર્મચારીઓની સલામતી, તેથી, સેમિકન્ડક્ટર વેક્યૂમ પંપના ઉપયોગ માટે ઘણી સલામતી બાબતો પર ધ્યાન આપવાની જરૂર છે:

1. વધુ પડતા દબાણને ટાળવા માટે વેક્યૂમ પંપ અને અન્ય એસેસરીઝ, ફિલ્ટર અને પાઇપને સમયસર ફિલ્ટર અને સાફ કરો:

સેમિકન્ડક્ટર વેક્યુમ પંપના ઉપયોગમાં, પ્રતિક્રિયા ચેમ્બર અને વેક્યુમ પંપ દ્વારા કાઢવામાં આવતા માધ્યમની રચના અત્યંત જટિલ હોઈ શકે છે. ઉદાહરણ તરીકે, SiH4 અને O2 પંપ પોર્ટ પર SiO2 બનાવે છે, અને TiCl4 નું હાઇડ્રોલિસિસ HCl બનાવશે; ધારી રહ્યા છીએ કે તેલ સીલ પ્રકાર યાંત્રિક પંપ, આ ગેસ પદાર્થો પણ પંપ તેલ સાથે ઉલટાવી શકાય છે. આ ફેરફારો કણો, કોગ્યુલેબલ સામગ્રી અથવા ઇરોઝિવ મીડિયાની રચનાને ધારે છે, જે વેક્યૂમ પંપ અથવા પાઇપિંગ સિસ્ટમને બંધ કરી શકે છે, વેક્યૂમ પંપના કાર્યને અસર કરી શકે છે, દબાણમાં વધારો અથવા વધુ દબાણનું કારણ બને છે અને બીજા મુદ્દામાં દર્શાવેલ જોખમ વધારે છે. તેથી, સમયસર સાફ કરવું જરૂરી છે, અને જ્યારે જરૂરી હોય ત્યારે ફિલ્ટરિંગ સાધનો સેટ કરો.

2, હાનિકારક ગેસ સાંદ્રતાનું અસરકારક મંદન:

સેમિકન્ડક્ટર ઉપર જણાવેલ જ્વલનશીલ અને વિસ્ફોટક, ઝેરી અને હાનિકારક વાયુઓ ઉત્પન્ન કરવા માટે સંવેદનશીલ છે. તેથી, સેમિકન્ડક્ટર વેક્યુમ પંપની એપ્લિકેશનમાં, આ માધ્યમોને બહાર કાઢતી વખતે, તેમને વેક્યૂમ પંપમાં અથવા એક્ઝોસ્ટ પ્રક્રિયામાં કેટલીક અનિયંત્રિત પ્રતિક્રિયાઓ થતી અટકાવવી જરૂરી છે. જેમ કે SiH4, PH3, AsH3, B2H6 અને અન્ય પદાર્થો, હવા અથવા ઓક્સિજનના સંપર્કમાં, દહનનું કારણ બનશે અથવા તો; જ્યારે હવામાં મિશ્રણનું પ્રમાણ ચોક્કસ તાપમાને પહોંચે ત્યારે હાઇડ્રોજન ગેસ પણ બળે છે. તે બધા પદાર્થની માત્રા અને પર્યાવરણના દબાણ અને તાપમાન સાથેના તેના સંબંધ પર આધારિત છે. તેથી, જ્યારે સેમિકન્ડક્ટર વેક્યુમ પંપ આ માધ્યમોને બહાર કાઢે છે, ત્યારે તેને કમ્પ્રેશન પહેલા આ વાયુઓને સુરક્ષિત શ્રેણીમાં પાતળું કરવા માટે નાઇટ્રોજન જેવા નિષ્ક્રિય ગેસનો ઉપયોગ કરવાની જરૂર છે.

3. ઓક્સિજનની સાંદ્રતા પર ધ્યાન આપો:

જો હવામાં ઓક્સિજન ખૂબ વધારે હોય, તો કમ્બશન અને જોખમ થશે. તેથી, કેટલાક કિસ્સાઓમાં, ઓક્સિજનની સાંદ્રતા પર ધ્યાન આપવું જોઈએ, પાતળું કરવા માટે નિષ્ક્રિય ગેસનો ઉપયોગ કરીને, ખૂબ ઊંચી સાંદ્રતાને રોકવા માટે; એમ ધારી રહ્યા છીએ કે ઓઇલ સીલ યાંત્રિક પંપને કેટલાક નિષ્ક્રિય અને ઓક્સિજન સુસંગત વેક્યૂમ પંપ તેલનો ઉપયોગ કરવાની પણ જરૂર પડી શકે છે, અને તેલ ફિલ્ટર્સ અને તેલ ઉત્પાદનોને સમયસર બદલવાની જરૂર છે.

4, તાપમાન ખૂબ ઊંચા અટકાવો:

આ બિંદુને સમજવું સરળ છે. વેક્યૂમ પંપમાં સેમિકન્ડક્ટરની અરજીમાં, વધુ હાનિકારક વાયુઓ હોય છે. શુષ્ક વેક્યૂમ પંપ હજુ પણ તેલ સીલ યાંત્રિક પંપ છે કે કેમ, પંપ ચેમ્બરમાં તાપમાન ખૂબ ઊંચું છે, અને જ્વલનશીલ અને વિસ્ફોટક અને ડુ ગેસ ઊંચા તાપમાને સરળતાથી ખતરનાક હશે.

ઉપરોક્ત 4 પાસાઓ સેમિકન્ડક્ટર વેક્યુમ પંપની એપ્લિકેશનમાં મુખ્ય સલામતી બાબતો છે. સામાન્ય રીતે, ઓઇલ સીલ મિકેનિકલ પંપને શુષ્ક વેક્યૂમ પંપ કરતાં વધુ સલામતી વિગતો પર ધ્યાન આપવાની જરૂર છે, નિકાલ વધુ જટિલ છે. જ્યારે આપણે વેક્યુમ પંપનો ઉપયોગ કરીએ છીએ, ત્યારે અમારે કંડક્ટરમાં સલામતીની સાવચેતીઓ પર ધ્યાન આપવાની જરૂર છે, અને પછીથી ઉપયોગ કરતી વખતે ઑપરેશન મેન્યુઅલમાં સારું કામ કરવું જોઈએ. ઓપરેશનમાં નાની સમસ્યાઓને કારણે, આઉટપુટ, કાર્યક્ષમતા અને સલામતી જોડાયેલી છે, આપણે વેક્યૂમ પંપની સર્વિસ લાઇફ વધારવી જોઈએ, સંતુલન સંકલન કરવાનો પ્રયાસ કરવો જોઈએ, કાર્યક્ષમતા અને સલામતીની ખાતરી કરવી જોઈએ.

પાણીની રીંગ વેક્યુમ પંપ વાલ્વ ફ્લેંજ કનેક્શન ફોર્મ

સંયુક્ત સપાટીના આકાર અનુસાર, તેને નીચેના પ્રકારોમાં વિભાજિત કરી શકાય છે:

1, ઓ-રિંગ પ્રકાર: આ વોટર રિંગ વેક્યૂમ પંપ ફ્લેંજ કનેક્શન ફોર્મનો એક નવો પ્રકાર છે, તેના પછી વિવિધ પ્રકારના રબર ઓ-રિંગનો વિકાસ થાય છે, તે સામાન્ય ફ્લેટ વોશર કરતાં સીલિંગ અસરમાં વધુ વિશ્વસનીય છે.

2, ટ્રેપેઝોઇડલ ગ્રુવ પ્રકાર: વોશર તરીકે અંડાકાર મેટલ રિંગ સાથે વોટર રિંગ વેક્યુમ પંપ વાલ્વ ફ્લેંજ કનેક્શન, કામના દબાણ 64 કિગ્રા/સેમી 2 વાલ્વ અથવા ઉચ્ચ તાપમાન વાલ્વ માટે વપરાય છે

3. મોર્ટાઇઝ અને ગ્રુવ પ્રકાર: પ્લાસ્ટિકના મોટા વિરૂપતાવાળા ગાસ્કેટનો ઉપયોગ કાટ લાગતા માધ્યમમાં થઈ શકે છે. વોટર રીંગ વેક્યુમ પંપની સીલિંગ અસર વધુ સારી છે

4. અંતર્મુખ અને બહિર્મુખ પ્રકાર: વોટર રિંગ વેક્યૂમ પંપનું કાર્યકારી દબાણ વધારે છે, અને હાર્ડ વોશરનો ઉપયોગ કરી શકાય છે

5, લેન્સનો પ્રકાર: વોશર એ લેન્સનો આકાર છે, જે મેટલથી બનેલો છે. 100kg/cm2 ના કાર્યકારી દબાણ સાથે ઉચ્ચ દબાણ વાલ્વ અથવા ઉચ્ચ તાપમાન વાલ્વ

6, સરળ પ્રકાર: દબાણ માટે ઉચ્ચ વાલ્વ નથી, પ્રક્રિયા વધુ અનુકૂળ છે

વોટર રિંગ વેક્યૂમ પંપ ફ્લેંજ કનેક્શનના ઘણા સ્વરૂપો છે, પરંતુ તેના વિવિધ પ્રસંગો છે, ઉપયોગમાં, આપણે પ્રસંગની યોગ્યતા પર ધ્યાન આપવું જોઈએ, જોડાણની અસરની ખાતરી કરવી જોઈએ, કનેક્શન નિષ્ફળતાનું કારણ ન બને, પરિણામે પાણીને નુકસાન થાય છે. રીંગ વેક્યુમ પંપ