അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന വാക്വം പമ്പ് സുരക്ഷാ കാര്യങ്ങൾ വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പ് വാൽവ് ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷൻ

അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന വാക്വം പമ്പ് സുരക്ഷാ കാര്യങ്ങൾ വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പ്വാൽവ്ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷൻ

കഴിഞ്ഞ ദശാബ്ദങ്ങളിൽ, അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വികസനത്തോടൊപ്പം, അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളും തലമുറയ്ക്ക് ശേഷമുള്ള നവീകരണവും വികസനവും ആണ്. ഇക്കാലത്ത്, അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിലും ഉപയോഗത്തിലും വിവിധതരം രാസ ഘടകങ്ങളും ഉയർന്ന സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ മറ്റ് പല വശങ്ങളും ഉൾപ്പെടുന്നു, ശക്തമായ സാങ്കേതിക സമഗ്രതയുണ്ട്. അതുപോലെ മാത്രമല്ല, അർദ്ധചാലക ഉപകരണ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനം, പ്രോസസ്സ് ടെക്നോളജി മോഡുലറൈസേഷനെ ഉപകരണങ്ങളിലേക്ക് ക്രമേണ സമന്വയിപ്പിക്കുകയും, അത് ഉയർന്ന ഓട്ടോമേറ്റഡ്, ഉയർന്ന ബുദ്ധിശക്തിയുള്ളതാക്കുകയും, ഉപകരണങ്ങളുടെയും പ്രക്രിയയുടെയും സ്വാഭാവിക വേർതിരിവിൻ്റെ സാഹചര്യം ക്രമേണ മാറ്റുകയും, വികസനത്തിൽ എല്ലായ്പ്പോഴും മുൻപന്തിയിൽ നടക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. അർദ്ധചാലക സംവിധാനത്തിൻ്റെ നിർമ്മാണ വ്യവസായം, ഒരു പ്രത്യേക പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ കൂടുതൽ വികസനത്തോടെ, അതിൻ്റെ ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡ് കൂടുതൽ കൂടുതൽ വിശാലമാകുന്നു. മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണ നിർമ്മാണ മേഖലകളിൽ, അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളിൽ നിന്ന് പരിണമിച്ച അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളോ ഉപകരണങ്ങളോ വ്യത്യസ്ത അളവുകളിലേക്ക് സ്വീകരിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ ഒരു പുതിയ മേഖലയായി മാറുന്നു. പ്രത്യേകിച്ച് മൈക്രോ/നാനോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ, മൈക്രോ/നാനോ ഒപ്‌റ്റോ ഇലക്‌ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങൾ, വളരെ ചെറിയ വലിപ്പവും ഉയർന്ന കൃത്യതയുമുള്ള മറ്റ് ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ മേഖലയിൽ, ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ഇത് വളരെ പ്രധാനപ്പെട്ട പ്രാധാന്യമുണ്ട്.

അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ വാക്വം പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത് ബാഷ്പീകരണം, സ്പട്ടറിംഗ്, പിഇസിവിഡി, വാക്വം ഡ്രൈ എച്ചിംഗ്, വാക്വം അഡ്സോർപ്ഷൻ, ടെസ്റ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ, വാക്വം ക്ലീനിംഗ്, മറ്റ് ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയകൾ, അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദനം, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ എന്നിവയിൽ എളുപ്പത്തിൽ കത്തുന്നതും സ്ഫോടനാത്മകവും വിഷ പദാർത്ഥവുമായ വാതകം ഉണ്ടാക്കുന്നു. ഉൽപ്പാദനവും ജീവനക്കാരുടെ സുരക്ഷയും, അതിനാൽ, അർദ്ധചാലക വാക്വം പമ്പിൻ്റെ പ്രയോഗം നിരവധി സുരക്ഷാ കാര്യങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധിക്കേണ്ടതുണ്ട്:

1. അമിത മർദ്ദം ഒഴിവാക്കാൻ വാക്വം പമ്പും മറ്റ് ആക്സസറികളും ഫിൽട്ടറും പൈപ്പും ഷെഡ്യൂളിൽ ഫിൽട്ടർ ചെയ്ത് വൃത്തിയാക്കുക:

അർദ്ധചാലക വാക്വം പമ്പിൻ്റെ പ്രയോഗത്തിൽ, പ്രതികരണ അറയിലൂടെയും വാക്വം പമ്പിലൂടെയും വേർതിരിച്ചെടുക്കുന്ന മാധ്യമത്തിൻ്റെ ഘടന വളരെ സങ്കീർണ്ണമായേക്കാം. ഉദാഹരണത്തിന്, SiH4, O2 എന്നിവ പമ്പ് പോർട്ടിൽ SiO2 ഉണ്ടാക്കുന്നു, TiCl4 ൻ്റെ ജലവിശ്ലേഷണം HCl രൂപീകരിക്കും; ഓയിൽ സീൽ തരം മെക്കാനിക്കൽ പമ്പ് ആണെന്ന് കരുതുക, ഈ വാതക പദാർത്ഥങ്ങളും പമ്പ് ഓയിൽ ഉപയോഗിച്ച് വിപരീതമാക്കാം. ഈ മാറ്റങ്ങൾ വാക്വം പമ്പ് അല്ലെങ്കിൽ പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റത്തെ തടസ്സപ്പെടുത്തുകയും വാക്വം പമ്പിൻ്റെ പ്രവർത്തനത്തെ ബാധിക്കുകയും മർദ്ദം വർദ്ധിക്കുന്നതിനോ അമിത സമ്മർദ്ദത്തിനോ കാരണമാകുന്ന കണികകൾ, കട്ടപിടിക്കുന്ന വസ്തുക്കൾ അല്ലെങ്കിൽ മണ്ണൊലിപ്പ് മീഡിയ എന്നിവയുടെ രൂപീകരണം അനുമാനിക്കുന്നു, രണ്ടാമത്തെ പോയിൻ്റിൽ സൂചിപ്പിച്ചിരിക്കുന്ന അപകടസാധ്യത കൂടുതലാണ്. അതിനാൽ, കൃത്യസമയത്ത് വൃത്തിയാക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്, ആവശ്യമുള്ളപ്പോൾ ഫിൽട്ടറിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ സജ്ജമാക്കുക.

2, ഹാനികരമായ വാതക സാന്ദ്രത ഫലപ്രദമായി നേർപ്പിക്കുക:

മുകളിൽ സൂചിപ്പിച്ച ജ്വലിക്കുന്നതും സ്ഫോടനാത്മകവും വിഷവും ദോഷകരവുമായ വാതകങ്ങൾ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കാൻ അർദ്ധചാലകത്തിന് സാധ്യതയുണ്ട്. അതിനാൽ, അർദ്ധചാലക വാക്വം പമ്പിൻ്റെ പ്രയോഗത്തിൽ, ഈ മാധ്യമങ്ങൾ വേർതിരിച്ചെടുക്കുമ്പോൾ, വാക്വം പമ്പിലോ എക്‌സ്‌ഹോസ്റ്റ് പ്രക്രിയയിലോ അനിയന്ത്രിതമായ ചില പ്രതികരണങ്ങൾ ഉണ്ടാകുന്നത് തടയേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 എന്നിവയും മറ്റ് പദാർത്ഥങ്ങളും വായുവുമായോ ഓക്സിജനുമായോ സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്നത് ജ്വലനത്തിന് കാരണമാകും. വായുവിലെ മിശ്രിത അനുപാതം ഒരു നിശ്ചിത ഊഷ്മാവിൽ എത്തുമ്പോൾ ഹൈഡ്രജൻ വാതകവും കത്തുന്നു. ഇതെല്ലാം പദാർത്ഥത്തിൻ്റെ അളവും പരിസ്ഥിതിയുടെ സമ്മർദ്ദവും താപനിലയും തമ്മിലുള്ള ബന്ധത്തെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു. അതിനാൽ, അർദ്ധചാലക വാക്വം പമ്പ് ഈ മാധ്യമങ്ങളെ വേർതിരിച്ചെടുക്കുമ്പോൾ, കംപ്രഷനുമുമ്പ് ഈ വാതകങ്ങളെ ഒരു സുരക്ഷിത ശ്രേണിയിലേക്ക് നേർപ്പിക്കാൻ നൈട്രജൻ പോലുള്ള ഒരു നിഷ്ക്രിയ വാതകം ഉപയോഗിക്കേണ്ടതുണ്ട്.

3. ഓക്സിജൻ്റെ സാന്ദ്രത ശ്രദ്ധിക്കുക:

വായുവിൽ ഓക്സിജൻ വളരെ ഉയർന്നതാണെങ്കിൽ, ജ്വലനവും അപകടവും സംഭവിക്കും. അതിനാൽ, ചില സന്ദർഭങ്ങളിൽ, ഓക്സിജൻ്റെ സാന്ദ്രതയ്ക്ക് ശ്രദ്ധ നൽകണം, നിഷ്ക്രിയ വാതകം ഉപയോഗിച്ച് നേർപ്പിക്കുക, വളരെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത തടയുന്നതിന്; ഓയിൽ സീൽ മെക്കാനിക്കൽ പമ്പിന് ചില നിഷ്ക്രിയവും ഓക്സിജനും അനുയോജ്യമായ വാക്വം പമ്പ് ഓയിൽ ഉപയോഗിക്കേണ്ടതും ഓയിൽ ഫിൽട്ടറുകളും ഓയിൽ ഉൽപന്നങ്ങളും സമയബന്ധിതമായി മാറ്റിസ്ഥാപിക്കേണ്ടതുമാണ്.

4, ഉയർന്ന താപനില തടയുക:

ഈ പോയിൻ്റ് മനസ്സിലാക്കാൻ എളുപ്പമാണ്. വാക്വം പമ്പിൽ അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെ പ്രയോഗത്തിൽ, കൂടുതൽ ദോഷകരമായ വാതകങ്ങൾ ഉണ്ട്. ഡ്രൈ വാക്വം പമ്പ് ഇപ്പോഴും ഓയിൽ സീൽ മെക്കാനിക്കൽ പമ്പ് ആണെങ്കിലും, പമ്പ് ചേമ്പറിലെ താപനില വളരെ കൂടുതലാണ്, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ കത്തുന്നതും സ്ഫോടനാത്മകവും ഡു വാതകവും എളുപ്പത്തിൽ അപകടകരമാകും.

അർദ്ധചാലക വാക്വം പമ്പിൻ്റെ പ്രയോഗത്തിലെ പ്രധാന സുരക്ഷാ കാര്യങ്ങൾ മുകളിൽ പറഞ്ഞ 4 വശങ്ങളാണ്. പൊതുവേ, ഓയിൽ സീൽ മെക്കാനിക്കൽ പമ്പുകൾ ഡ്രൈ വാക്വം പമ്പുകളേക്കാൾ കൂടുതൽ സുരക്ഷാ വിശദാംശങ്ങൾ ശ്രദ്ധിക്കേണ്ടതുണ്ട്, നീക്കംചെയ്യൽ കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമാണ്. ഞങ്ങൾ വാക്വം പമ്പുകൾ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, കണ്ടക്ടറിലെ സുരക്ഷാ മുൻകരുതലുകൾ ശ്രദ്ധിക്കേണ്ടതുണ്ട്, പിന്നീട് ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ ഓപ്പറേഷൻ മാനുവലിൽ ഒരു നല്ല ജോലി ചെയ്യണം. ഓപ്പറേഷൻ, ഔട്ട്പുട്ട്, കാര്യക്ഷമത, സുരക്ഷ എന്നിവയിലെ ചെറിയ പ്രശ്നങ്ങൾ കാരണം, വാക്വം പമ്പിൻ്റെ സേവന ആയുസ്സ് നീട്ടുകയും ബാലൻസ് ഏകോപിപ്പിക്കുകയും കാര്യക്ഷമതയും സുരക്ഷയും ഉറപ്പാക്കുകയും വേണം.

വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പ് വാൽവ് ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷൻ ഫോം

സംയുക്ത ഉപരിതലത്തിൻ്റെ ആകൃതി അനുസരിച്ച്, അതിനെ ഇനിപ്പറയുന്ന തരങ്ങളായി തിരിക്കാം:

1, ഒ-റിംഗ് തരം: ഇതൊരു പുതിയ തരം വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പ് ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷൻ രൂപമാണ്, തുടർന്ന് വിവിധതരം റബ്ബർ ഒ-റിംഗ് വികസനം വരുന്നു, ഇത് സീലിംഗ് ഇഫക്റ്റിൽ സാധാരണ ഫ്ലാറ്റ് വാഷറിനേക്കാൾ കൂടുതൽ വിശ്വസനീയമാണ്

2, ട്രപസോയ്ഡൽ ഗ്രോവ് തരം: വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പ് വാൽവ് ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷൻ വാഷറായി ഓവൽ മെറ്റൽ റിംഗുമായി, പ്രവർത്തന മർദ്ദം 64 കി.ഗ്രാം / സെ.മീ 2 വാൽവ് അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന താപനില വാൽവ്

3. മോർട്ടൈസ് ആൻഡ് ഗ്രോവ് തരം: വലിയ പ്ലാസ്റ്റിക് രൂപഭേദം ഉള്ള ഗാസ്കറ്റ് നശിപ്പിക്കുന്ന മാധ്യമത്തിൽ ഉപയോഗിക്കാം. വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പിൻ്റെ സീലിംഗ് ഇഫക്റ്റ് മികച്ചതാണ്

4. കോൺകേവ്, കോൺവെക്സ് തരം: വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പിൻ്റെ പ്രവർത്തന മർദ്ദം കൂടുതലാണ്, ഹാർഡ് വാഷർ ഉപയോഗിക്കാം

5, ലെൻസ് തരം: വാഷർ എന്നത് ലോഹം കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ലെൻസിൻ്റെ ആകൃതിയാണ്. 100kg/cm2 പ്രവർത്തന സമ്മർദ്ദമുള്ള ഉയർന്ന മർദ്ദമുള്ള വാൽവുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന താപനില വാൽവുകൾ

6, മിനുസമാർന്ന തരം: സമ്മർദ്ദത്തിന് ഉയർന്ന വാൽവ് അല്ല, പ്രോസസ്സിംഗ് കൂടുതൽ സൗകര്യപ്രദമാണ്

വാട്ടർ റിംഗ് വാക്വം പമ്പ് ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷനിൽ നിരവധി രൂപങ്ങളുണ്ട്, പക്ഷേ അവയ്ക്ക് വ്യത്യസ്ത അവസരങ്ങളുണ്ട്, ഉപയോഗത്തിൽ, സന്ദർഭത്തിൻ്റെ അനുയോജ്യത ഞങ്ങൾ ശ്രദ്ധിക്കണം, കണക്ഷൻ്റെ പ്രഭാവം ഉറപ്പാക്കണം, കണക്ഷൻ പരാജയപ്പെടരുത്, ജലത്തിന് കേടുപാടുകൾ വരുത്തരുത് റിംഗ് വാക്വം പമ്പ്