Pompa vakum dilarapkeun kana prosés semikonduktor masalah kaamanan ring cai pompa vakumklepsambungan flange
Sapanjang dekade kaliwat, kalawan ngembangkeun gancang tina téhnologi semikonduktor, parabot semikonduktor ogé dina generasi sanggeus inovasi generasi sarta ngembangkeun. Ayeuna, manufaktur sareng panggunaan alat semikonduktor ngalibatkeun rupa-rupa unsur kimia sareng seueur aspék téknologi luhur anu sanés, kalayan komprehensif téknis anu kuat. Henteu ngan ukur sapertos kitu, pamekaran téknologi peralatan semikonduktor laun-laun ngahijikeun modularisasi téknologi prosés kana alat-alat, ngajantenkeun éta otomatis pisan sareng cerdas, laun-laun ngarobih kaayaan pamisahan alami alat sareng prosés, sareng teras-terasan leumpang di payuneun pangwangunan. industri manufaktur sistem semikonduktor, maénkeun peran penting husus. Kalawan ngembangkeun salajengna tina parabot semikonduktor, widang aplikasi na jadi beuki loba lega. Dina widang manufaktur alat éléktronik lianna, alat-alat semikonduktor atawa parabot ngalobaan ti parabot semikonduktor ogé diadopsi kana varying darajat, jadi widang anyar aplikasi parabot semikonduktor. Utamana dina alat éléktronik mikro / nano, sistem optoelectromechanical mikro / nano jeung widang manufaktur produk lianna ukuranana leutik pisan jeung precision tinggi, éta boga significance penting pisan pikeun ngembangkeun komponén éléktronik.
vakum prosés semikonduktor utamana dipaké dina évaporasi, sputtering, PECVD, vakum etching garing, adsorption vakum, alat-alat uji, beberesih vakum jeung prosés beungkeutan séjén, produksi semikonduktor jeung prosés manufaktur gampang ngahasilkeun gas bahan kaduruk, ngabeledug jeung toksik, bakal pasang aksi anceman ka produksi jeung kaamanan staf, ku kituna, aplikasi pompa vakum semikonduktor kudu nengetan sababaraha hal kaamanan:
1. Nyaring sareng pompa vakum bersih sareng asesoris sanésna, saringan sareng pipa dina jadwal pikeun nyegah overpressure:
Dina aplikasi pompa vakum semikonduktor, komposisi medium sasari ngaliwatan chamber réaksi jeung pompa vakum bisa jadi pisan kompléks. Contona, SiH4 jeung O2 ngabentuk SiO2 dina port pompa, sarta hidrolisis TiCl4 bakal ngabentuk HCl; Anggap yén pompa mékanis tipe segel minyak, zat gas ieu ogé bisa dibalikkeun jeung minyak pompa. Parobahan ieu nganggap formasi partikel, bahan coagulable, atawa média erosive, nu bisa bakiak pompa vakum atawa sistem piping, mangaruhan fungsi pompa vakum, ngabalukarkeun naékna tekanan atawa overpressure, sarta résiko disebutkeun dina titik kadua leuwih gede. Ku alatan éta, perlu ngabersihan dina waktu, sarta nyetél parabot nyaring lamun perlu.
2, éncér éféktif konsentrasi gas ngabahayakeun:
Semikonduktor rawan ngahasilkeun gas anu kaduruk sareng ngabeledug, toksik sareng ngabahayakeun anu disebatkeun di luhur. Ku alatan éta, dina aplikasi pompa vakum semikonduktor, nalika extracting média ieu, perlu pikeun nyegah aranjeunna tina sababaraha réaksi teu bisa kakadalian dina pompa vakum atawa dina prosés knalpot. Sapertos SiH4, PH3, AsH3, B2H6 sareng zat sanésna, dina kontak sareng hawa atanapi oksigén, bakal nyababkeun durukan atanapi malah; Gas hidrogén ogé kaduruk nalika rasio campuran dina hawa ngahontal suhu nu tangtu. Éta sadayana gumantung kana jumlah zat sareng hubunganana sareng tekanan sareng suhu lingkungan. Ku alatan éta, nalika pompa vakum semikonduktor extracts média ieu, éta perlu ngagunakeun gas inert, kayaning nitrogén, pikeun éncér gas ieu ka rentang aman saméméh komprési.
3. Nengetan konsentrasi oksigén:
Upami oksigén dina hawa luhur teuing, durukan sareng résiko bakal kajantenan. Ku alatan éta, dina sababaraha kasus, perhatian kudu dibayar ka konsentrasi oksigén, ngagunakeun gas inert pikeun éncér, pikeun nyegah konsentrasi teuing tinggi; Anggap yén pompa mékanis segel minyak ogé bisa kudu ngagunakeun sababaraha minyak pompa vakum inert jeung oksigén cocog, sarta ngagantian timely of saringan minyak jeung produk minyak.
4, nyegah suhu luhur teuing:
Ieu gampang ngartos titik ieu. Dina aplikasi semikonduktor dina pompa vakum, aya gas leuwih ngabahayakeun. Naha pompa vakum garing masih mangrupa pompa mékanis segel minyak, suhu dina chamber pompa teuing tinggi, sarta kaduruk tur ngabeledug tur du gas bakal gampang jadi bahaya dina suhu luhur.
4 aspék di luhur mangrupikeun masalah kaamanan utama dina aplikasi pompa vakum semikonduktor. Sacara umum, pompa mékanis segel minyak kedah nengetan langkung rinci kaamanan tibatan pompa vakum garing, pembuangan langkung rumit. Nalika kami nganggo pompa vakum, urang kedah nengetan pancegahan kaamanan dina konduktor, sareng ngalakukeun padamelan anu saé dina manual operasi nalika nganggo engké. Kusabab masalah leutik dina operasi, kaluaran, efisiensi jeung kaamanan numbu, urang kedah manjangkeun umur layanan tina pompa vakum, narékahan pikeun koordinat kasaimbangan, mastikeun efisiensi sarta kaamanan.
Cai ring pompa vakum klep flange formulir sambungan
Numutkeun bentuk beungeut gabungan, éta bisa dibagi kana jenis handap:
1, tipe O-ring: ieu tipe anyar ring cai pompa vakum flange formulir sambungan, dituturkeun ku rupa-rupa karét O-ring ngembangkeun, éta leuwih dipercaya dina éfék sealing ti washer datar umum.
2, tipe alur trapezoidal: ring cai pompa vakum sambungan flange klep kalawan ring logam oval sakumaha washer a, dipaké pikeun tekanan gawé 64 kg / cm2 klep atawa klep suhu luhur
3. Mortise jeung alur tipe: The gasket kalawan deformasi palastik badag bisa dipaké dina medium corrosive. Pangaruh sealing pompa vakum ring cai téh hadé
4. Kerung jeung gilig tipe: tekanan kerja pompa vakum ring cai leuwih luhur, sarta washer teuas bisa dipaké
5, tipe lénsa: washer mangrupa bentuk lénsa, dijieunna tina logam. Klep tekanan tinggi atanapi klep suhu luhur kalayan tekanan kerja 100kg / cm2
6, tipe lemes: pikeun tekanan teu klep tinggi, ngolah leuwih merenah
Cai ring pompa vakum sambungan flange aya loba bentuk, tapi maranéhna boga kasempetan béda, dina pamakéan, urang kudu nengetan suitability sahiji kasempetan, mastikeun pangaruh sambungan, teu ngabalukarkeun gagalna sambungan, hasilna ruksakna cai. ring pompa vakum
waktos pos: Jan-07-2023
