Icarymgeçiriji prosesiň howpsuzlygy üçin ulanylýan vakuum nasosy suw halkasy wakuum nasosyklapanflanes baglanyşygy
Icarymgeçiriji tehnologiýanyň çalt ösmegi bilen soňky onýyllyklaryň dowamynda ýarymgeçiriji enjamlar nesilden-nesle täzelenişden we ösüşden soň nesilden-nesle geçýär. Häzirki wagtda ýarymgeçiriji enjamlaryň öndürilmegi we ulanylmagy güýçli tehniki toplumlaýyn dürli himiki elementleri we ýokary tehnologiýanyň beýleki taraplaryny öz içine alýar. Diňe şeýle däl, ýarymgeçiriji enjam tehnologiýasynyň ösüşi proses tehnologiýasy modulizasiýasyny enjamlara kem-kemden birleşdirýär we ýokary awtomatlaşdyrylan we ýokary akylly bolýar, enjamlaryň we prosesleriň tebigy bölüniş ýagdaýyny kem-kemden üýtgedýär we hemişe ösüşiň başynda durýar. aýratyn möhüm rol oýnaýan ýarymgeçiriji ulgam önümçilik pudagy. Ondarymgeçiriji enjamlaryň mundan beýläk-de ösdürilmegi bilen, onuň ulanylyş meýdany has giňelýär. Beýleki elektron enjamlaryny öndürýän ugurlarda ýarymgeçiriji enjamlardan ýa-da ýarymgeçiriji enjamlardan emele gelen enjamlar hem dürli derejelere kabul edilýär we ýarymgeçiriji enjamlary ulanmagyň täze ugruna öwrülýär. Esasanam mikro / nano elektron enjamlarynda, mikro / nano optoelektromehaniki ulgamlarda we örän kiçi göwrümli we ýokary takyklygy öndürýän beýleki önümlerde, elektron bölekleriniň ösmegi üçin örän möhüm ähmiýete eýe.
Ondarymgeçiriji prosess wakuumy esasan bugarmak, tüýkürmek, PECVD, wakuum gury eriş, wakuum adsorbsiýasy, synag enjamlary, wakuum arassalamak we beýleki baglanyşyk proseslerinde ulanylýar, ýarymgeçirijiniň önümçiligi we önümçilik prosesi ýangyjy, partlaýjy we zäherli material gazyny aňsatlyk bilen öndürýär, howp döredýär. önümçilik we işgärleriň howpsuzlygy, şonuň üçin ýarymgeçiriji vakuum nasosynyň ulanylmagy birnäçe howpsuzlyk meselelerine üns bermelidir:
1. Wakuum nasosyny we beýleki esbaplary süzüň we arassalaň, aşa basyşdan gaça durmak üçin süzgüç we turba:
Ondarymgeçiriji wakuum nasosynyň ulanylyşynda reaksiýa kamerasy we wakuum nasosy arkaly çykarylýan serişdäniň düzümi gaty çylşyrymly bolup biler. Mysal üçin, SiH4 we O2 nasos portunda SiO2, TiCl4-iň gidrolizi bolsa HCl emele getirer; Seagly möhür görnüşli mehaniki nasos diýip çaklasak, bu gaz maddalary nasos ýagy bilen hem tersine bolup biler. Bu üýtgeşmeler wakuum nasosyny ýa-da turba geçiriji ulgamyny ýapyp bilýän, wakuum nasosynyň işine täsir edip biljek, basyşyň ýokarlanmagyna ýa-da aşa gysylmagyna sebäp bolup biljek bölejikleriň, ýygnanýan materialyň ýa-da eroziw mediýanyň emele gelmegini göz öňünde tutýar we ikinji nokatda agzalan töwekgelçilik has uludyr. Şonuň üçin wagtynda arassalamaly we zerur bolanda süzgüç enjamlaryny gurmaly.
2, zyýanly gazyň konsentrasiýasyny täsirli eritmek:
Ondarymgeçiriji ýokarda agzalan ýanýan we partlaýjy, zäherli we zyýanly gazlary öndürmäge ýykgyn edýär. Şonuň üçin ýarymgeçiriji vakuum nasosyny ulanmakda, bu serişdeleri çykaranda, wakuum nasosynda ýa-da işleýiş prosesinde käbir gözegçiliksiz reaksiýalaryň ýüze çykmagynyň öňüni almaly. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 we beýleki maddalar, howa ýa-da kislorod bilen kontaktda ýanmaga sebäp bolar; Wodorod gazy howadaky garyndynyň gatnaşygy belli bir temperatura ýetende ýanýar. Bularyň hemmesi maddanyň mukdaryna we daşky gurşawyň basyşyna we temperaturasyna baglydyr. Şonuň üçin ýarymgeçiriji wakuum nasosy bu serişdeleri çykaranda, bu gazlary gysylmazdan ozal howpsuz aralykda eritmek üçin azot ýaly inert gazy ulanmaly.
3. Kislorodyň konsentrasiýasyna üns beriň:
Howadaky kislorod gaty ýokary bolsa, ýanmak we töwekgelçilik ýüze çykar. Şonuň üçin käbir ýagdaýlarda kislorodyň konsentrasiýasyna üns bermeli, inert gazy suwuklandyrmak, aşa ýokary konsentrasiýanyň öňüni almak üçin; Möhür möhürleýji mehaniki nasosyň käbir inert we kislorod bilen gabat gelýän vakuum nasos ýagyny hem ulanmalydygyny, nebit süzgüçleriniň we nebit önümleriniň wagtynda çalşylmagynyň mümkindigini göz öňünde tutsak.
4, temperaturanyň aşa ýokary bolmagynyň öňüni alyň:
Bu meselä düşünmek aňsat. Wakuum nasosynda ýarymgeçirijini ulanmakda has zyýanly gazlar bar. Gury vakuum nasosy henizem ýag möhürleýji mehaniki nasosmy ýa-da nasos kamerasynyň temperaturasy gaty ýokary, ýangyjy we partlaýjy we du gaz ýokary temperaturada aňsat howply bolar.
Aboveokardaky 4 tarap ýarymgeçiriji vakuum nasosyny ulanmakda esasy howpsuzlyk meselesidir. Umuman, nebit möhürli mehaniki nasoslar gury vakuum nasoslaryndan has köp howpsuzlyk jikme-jikliklerine üns bermeli, ýok etmek has çylşyrymly. Wakuum nasoslaryny ulananymyzda, geçirijidäki howpsuzlyk çärelerine üns bermelidiris we soňra ulananyňyzda iş gollanmasynda gowy iş etmeli. Işleýiş, çykyş, netijelilik we howpsuzlyk bilen baglanyşykly ownuk meseleler sebäpli, wakuum nasosynyň hyzmat möhletini uzaltmaly, deňagramlylygy sazlamaga, netijeliligi we howpsuzlygy üpjün etmeli.
Suw halkasy wakuum nasos klapan flanes birikdiriş görnüşi
Birleşýän ýeriň görnüşine görä, ony aşakdaky görnüşlere bölmek bolar:
1, O-halka görnüşi: bu suw halkasy wakuum nasos flanes birikmesiniň täze görnüşi, dürli rezin O-halka ösüşi, umumy tekiz ýuwujydan has möhürlemek täsirinde has ygtybarlydyr.
2.
3. Mortis we truba görnüşi: Uly plastmassa deformasiýasy bolan gaz, poslaýjy gurşawda ulanylyp bilner. Suw halkasy wakuum nasosynyň möhürleme täsiri has gowudyr
4. Konkaw we konweks görnüşi: suw halkasy wakuum nasosynyň iş basyşy has ýokary we gaty ýuwujy ulanylyp bilner
5, obýektiw görnüşi: ýuwujy, metaldan ýasalan obýektiwiň görnüşidir. 100kg / cm2 iş basyşy bilen ýokary basyşly klapanlar ýa-da ýokary temperatura klapanlary
6, tekiz görnüş: basyş ýokary klapan däl, gaýtadan işlemek has amatly
Suw halkasy wakuum nasos flanes baglanyşygynyň köp görnüşi bar, ýöne olaryň dürli ýagdaýlary bar, ulanylanda, dabaranyň laýyklygyna üns bermelidiris, birikmäniň täsirini üpjün etmelidiris, birikmäniň kesilmegine sebäp bolmaz, suwuň zaýalanmagyna sebäp bolarys. halka vakuum nasosy
Iş wagty: -20anwar-07-2023
