Pompë vakum e aplikuar për çështjet e sigurisë së procesit gjysmëpërçues pompë vakum unazë ujivalvullidhje me fllanxha
Gjatë dekadave të fundit, me zhvillimin e shpejtë të teknologjisë gjysmëpërçuese, pajisjet gjysmëpërçuese janë gjithashtu në inovacion dhe zhvillim brez pas brezi. Në ditët e sotme, prodhimi dhe përdorimi i pajisjeve gjysmëpërçuese përfshin një sërë elementësh kimikë dhe shumë aspekte të tjera të teknologjisë së lartë, me një gjithëpërfshirje të fortë teknike. Jo vetëm si i tillë, zhvillimi i teknologjisë së pajisjeve gjysmëpërçuese integron gradualisht modularizimin e teknologjisë së procesit në pajisje, duke e bërë atë shumë të automatizuar dhe shumë inteligjente, duke ndryshuar gradualisht situatën e ndarjes natyrore të pajisjeve dhe procesit, dhe gjithmonë duke ecur në ballë të zhvillimit. të industrisë së prodhimit të sistemeve gjysmëpërçuese, duke luajtur një rol të veçantë të rëndësishëm. Me zhvillimin e mëtejshëm të pajisjeve gjysmëpërçuese, fusha e aplikimit të tij bëhet gjithnjë e më e gjerë. Në fusha të tjera të prodhimit të pajisjeve elektronike, pajisjet gjysmëpërçuese ose pajisjet e evoluara nga pajisjet gjysmëpërçuese janë miratuar gjithashtu në shkallë të ndryshme, duke u bërë një fushë e re e aplikimit të pajisjeve gjysmëpërçuese. Veçanërisht në fushën e pajisjeve elektronike mikro/nano, sistemet mikro/nano optoelektromekanike dhe prodhime të tjera në fushën e prodhimit me përmasa jashtëzakonisht të vogla dhe me precizion të lartë, ai ka një rëndësi jashtëzakonisht të rëndësishme për zhvillimin e komponentëve elektronikë.
Vakuumi i procesit gjysmëpërçues përdoret kryesisht në avullim, spërkatje, PECVD, gravurë të thatë me vakum, adsorbim me vakum, pajisje testimi, pastrim me vakum dhe procese të tjera lidhjeje, prodhimi dhe procesi i prodhimit të gjysmëpërçuesve prodhon lehtësisht gaz material të ndezshëm, shpërthyes dhe toksik, do të përbëjë një kërcënim për siguria e prodhimit dhe stafit, prandaj aplikimi i pompës vakum gjysmëpërçues duhet t'i kushtojë vëmendje disa çështjeve të sigurisë:
1. Filtroni dhe pastroni pompën e vakumit dhe aksesorët e tjerë, filtrin dhe tubin sipas planit për të shmangur presionin e tepërt:
Në aplikimin e pompës së vakumit gjysmëpërçues, përbërja e mediumit të nxjerrë përmes dhomës së reagimit dhe pompës vakum mund të jetë jashtëzakonisht komplekse. Për shembull, SiH4 dhe O2 formojnë SiO2 në portën e pompës dhe hidroliza e TiCl4 do të formojë HCl; Duke supozuar se pompa mekanike e llojit të vulës së vajit, këto substanca gazi mund të kthehen gjithashtu me vajin e pompës. Këto ndryshime supozojnë formimin e grimcave, materialit të koagulueshëm ose mediave gërryese, të cilat mund të bllokojnë pompën e vakumit ose sistemin e tubacioneve, të ndikojnë në funksionin e pompës vakum, të shkaktojnë rritje të presionit ose mbipresion dhe rreziku i përmendur në pikën e dytë është më i madh. Prandaj, është e nevojshme të pastroni në kohë dhe të vendosni pajisje filtrimi kur është e nevojshme.
2, hollimi efektiv i përqendrimit të gazit të dëmshëm:
Gjysmëpërçuesi është i prirur të prodhojë gazet e ndezshme dhe shpërthyese, toksike dhe të dëmshme të lartpërmendura. Prandaj, në aplikimin e pompës së vakumit gjysmëpërçues, gjatë nxjerrjes së këtyre mediave, është e nevojshme të parandalohen që të kenë disa reagime të pakontrollueshme në pompën e vakumit ose në procesin e shkarkimit. Të tilla si SiH4, PH3, AsH3, B2H6 dhe substanca të tjera, në kontakt me ajrin ose oksigjenin, do të shkaktojnë djegie ose madje; Gazi hidrogjen digjet gjithashtu kur raporti i përzierjes në ajër arrin një temperaturë të caktuar. E gjitha varet nga sasia e substancës dhe lidhja e saj me presionin dhe temperaturën e mjedisit. Prandaj, kur pompa e vakumit gjysmëpërçues nxjerr këto media, duhet të përdorë një gaz inert, si azoti, për t'i holluar këto gaze në një interval të sigurt përpara ngjeshjes.
3. Kushtojini vëmendje përqendrimit të oksigjenit:
Nëse oksigjeni në ajër është shumë i lartë, do të ketë djegie dhe rrezik. Prandaj, në disa raste, duhet t'i kushtohet vëmendje përqendrimit të oksigjenit, duke përdorur gaz inert për t'u holluar, për të parandaluar përqendrimin shumë të lartë; Duke supozuar se pompa mekanike e vulës së vajit mund të ketë nevojë gjithashtu të përdorë pak vaj pompë vakumi të pajtueshëm me inerte dhe oksigjen dhe zëvendësimin në kohë të filtrave të vajit dhe produkteve të vajit.
4, parandaloni temperaturën shumë të lartë:
Është e lehtë të kuptohet kjo pikë. Në aplikimin e gjysmëpërçuesit në pompën vakum, ka më shumë gazra të dëmshëm. Nëse pompa e vakumit të thatë është ende një pompë mekanike e vulës së vajit, temperatura në dhomën e pompës është shumë e lartë dhe e ndezshme dhe shpërthyese dhe gazi i dyfishtë do të jenë lehtësisht të rrezikshëm në temperaturë të lartë.
4 aspektet e mësipërme janë çështjet kryesore të sigurisë në aplikimin e pompës vakum gjysmëpërçuese. Në përgjithësi, pompat mekanike të vulës së vajit duhet t'i kushtojnë vëmendje më shumë detajeve të sigurisë sesa pompave me vakum të thatë, asgjësimi është më kompleks. Kur përdorim pompa vakum, duhet t'u kushtojmë vëmendje masave paraprake të sigurisë në përcjellës dhe të bëjmë një punë të mirë në manualin e funksionimit kur përdorim më vonë. Për shkak të problemeve të vogla në funksionim, prodhim, efikasitet dhe siguri janë të lidhura, ne duhet të zgjasim jetën e shërbimit të pompës vakum, të përpiqemi të koordinojmë ekuilibrin, të sigurojmë efikasitet dhe siguri.
Forma e lidhjes së fllanxhës së valvulës së pompës së vakumit të unazës së ujit
Sipas formës së sipërfaqes së bashkimit, ajo mund të ndahet në llojet e mëposhtme:
1, lloji i unazës O: ky është një lloj i ri i lidhjes së fllanxhës së pompës vakum të unazës së ujit, i ndjekur nga një shumëllojshmëri zhvillimi i unazës O të gomës, është më i besueshëm në efektin e vulosjes sesa rondele e përgjithshme e sheshtë
2, lloji i brazdës trapezoidale: unazë uji, valvula e pompës vakumike lidhëse me fllanxha me unazë metalike ovale si rondele, përdoret për presion pune 64 kg/cm2 valvul ose valvul me temperaturë të lartë
3. Lloji i prerjes dhe brazdës: Guarnicioni me deformim të madh plastik mund të përdoret në mjedisin gërryes. Efekti mbyllës i pompës vakum me unazë uji është më i mirë
4. Lloji konkav dhe konveks: presioni i punës i pompës vakum me unazë uji është më i lartë dhe mund të përdoret rondele e fortë
5, lloji lente: rondele është forma e lente, e bërë prej metali. Valvola me presion të lartë ose valvola me temperaturë të lartë me presion pune 100kg/cm2
6, lloji i qetë: për presionin nuk është valvula e lartë, përpunimi më i përshtatshëm
Unaza e ujit të pompës vakum lidhëse me fllanxha ka shumë forma, por ato kanë raste të ndryshme, në përdorim, duhet t'i kushtojmë vëmendje përshtatshmërisë së rastit, të sigurojmë efektin e lidhjes, të mos shkaktojë dështim të lidhjes, duke rezultuar në dëmtim të ujit pompë vakum unaze
Koha e postimit: Jan-07-2023
