Вакуумска пумпа се применува на полупроводничките процеси за безбедност на вакуумската пумпа за водавентилприрабничка врска
Во текот на изминатите децении, со брзиот развој на технологијата за полупроводници, опремата за полупроводници е исто така во генерација по генерација иновации и развој. Во денешно време, производството и употребата на полупроводничка опрема вклучува различни хемиски елементи и многу други аспекти на високата технологија, со силна техничка сеопфатна. Не само како таков, развојот на технологијата на полупроводничка опрема постепено ја интегрира модуларизацијата на процесната технологија во опремата, правејќи ја високо автоматизирана и високо интелигентна, постепено менувајќи ја ситуацијата на природно раздвојување на опремата и процесот и секогаш чекорејќи во првите редови на развојот на индустријата за производство на полупроводнички системи, играјќи посебна важна улога. Со понатамошниот развој на полупроводничката опрема, нејзиното поле на примена станува сè пошироко. Во други полиња за производство на електронски уреди, полупроводничката опрема или опремата која е еволуирала од полупроводничка опрема, исто така се усвоени во различни степени, станувајќи ново поле на примена на полупроводничка опрема. Особено во полето за производство на микро/нано електронски уреди, микро/нано оптоелектромеханички системи и други производи со исклучително мали димензии и висока прецизност, има исклучително важно значење за развојот на електронските компоненти.
Полупроводничкиот процесен вакуум главно се користи во испарување, прскање, PECVD, вакуумско суво офорт, вакуумска адсорпција, опрема за тестирање, чистење со правосмукалка и други процеси на сврзување, процесот на производство и производство на полупроводници лесно произведува запалив, експлозивен и токсичен гас, ќе претставува закана за безбедноста на производството и персоналот, затоа, при примената на полупроводничка вакуумска пумпа треба да се обрне внимание на неколку безбедносни прашања:
1. Филтрирајте и исчистете ја вакуумската пумпа и другите додатоци, филтерот и цевката според распоредот за да избегнете прекумерен притисок:
Во примената на полупроводничка вакуумска пумпа, составот на медиумот извлечен преку комората за реакција и вакуумската пумпа може да биде исклучително сложен. На пример, SiH4 и O2 формираат SiO2 на пумпната порта, а хидролизата на TiCl4 ќе формира HCl; Претпоставувајќи дека механичката пумпа од типот на заптивката за масло, овие гасни супстанции исто така може да се превртат со маслото на пумпата. Овие промени претпоставуваат формирање на честички, материјал што може да се коагулира или ерозивни медиуми, кои може да ја затнат вакуумската пумпа или системот за цевки, да влијаат на функцијата на вакуумската пумпа, да предизвикаат пораст на притисокот или прекумерен притисок, а ризикот споменат во втората точка е поголем. Затоа, потребно е да се исчисти навреме и да се постави опрема за филтрирање кога е потребно.
2, ефективно разредување на концентрацијата на штетни гасови:
Полупроводникот е склон да ги произведува горенаведените запаливи и експлозивни, токсични и штетни гасови. Затоа, при примената на полупроводничка вакуумска пумпа, при извлекување на овие подлоги, потребно е да се спречат да имаат некои неконтролирани реакции во вакуумската пумпа или во процесот на издувни гасови. Како што се SiH4, PH3, AsH3, B2H6 и други супстанции, во контакт со воздух или кислород, ќе предизвикаат согорување или дури; Водородниот гас гори и кога односот на смесата во воздухот ќе достигне одредена температура. Сè зависи од количината на супстанцијата и нејзиниот однос со притисокот и температурата на околината. Затоа, кога полупроводничката вакуумска пумпа ги извлекува овие медиуми, треба да користи инертен гас, како што е азот, за да ги разреди овие гасови до безбеден опсег пред компресија.
3. Обрнете внимание на концентрацијата на кислород:
Ако кислородот во воздухот е превисок, ќе дојде до согорување и ризик. Затоа, во некои случаи, треба да се обрне внимание на концентрацијата на кислород, користејќи инертен гас за разредување, за да се спречи премногу висока концентрација; Претпоставувајќи дека механичката пумпа за заптивка на маслото можеби ќе треба да користи инертно и кислородно компатибилно масло за вакуумска пумпа и навремена замена на филтрите за масло и нафтените производи.
4, спречете ја превисоката температура:
Лесно е да се разбере оваа точка. При примена на полупроводници во вакуум пумпа има повеќе штетни гасови. Без разлика дали сувата вакуумска пумпа е сè уште механичка пумпа за заптивка за масло, температурата во комората на пумпата е превисока, а запаливиот и експлозивниот гас и гасот лесно ќе бидат опасни на висока температура.
Горенаведените 4 аспекти се главните безбедносни работи при примената на полупроводничка вакуумска пумпа. Во принцип, механичките пумпи за заптивки за масло треба да обрнат внимание на повеќе безбедносни детали од сувите вакуумски пумпи, отстранувањето е покомплексно. Кога користиме вакуумски пумпи, треба да внимаваме на безбедносните мерки на спроводникот и добро да ја завршиме работата во прирачникот за работа кога се користи подоцна. Поради малите проблеми со работата, излезот, ефикасноста и безбедноста се поврзани, треба да го продолжиме работниот век на вакуумската пумпа, да се стремиме да ја координираме рамнотежата, да обезбедиме ефикасност и безбедност.
Образец за поврзување со прирабница на вентилот за вакуумска пумпа за вода
Според обликот на површината на зглобот, може да се подели на следниве типови:
1, О-прстен тип: ова е нов тип на вакуумска пумпа за поврзување со прирабница со прстен за вода, проследено со разновиден развој на гумени О-прстен, тој е посигурен во ефектот на запечатување од општата рамна мијалник
2, тип на трапезоиден жлеб: прирабничка врска на вентилот за вакуумска пумпа за вода со прстен со овален метален прстен како мијалник, се користи за работен притисок 64 kg/cm2 вентил или вентил со висока температура
3. Тип на жлеб и жлеб: Дихтунгот со голема пластична деформација може да се користи во корозивниот медиум. Ефектот на запечатување на вакуумската пумпа за прстен за вода е подобар
4. Конкавен и конвексен тип: работниот притисок на прстенестата вакуумска пумпа за вода е поголем, а тврдиот мијалник може да се користи
5, тип на леќа: мијалник е обликот на леќата, изработен од метал. Вентили со висок притисок или вентили за висока температура со работен притисок од 100kg/cm2
6, мазна тип: за притисок не е висок вентил, обработка поудобно
Вода прстен вакуум пумпа прирабница врска е има многу форми, но тие имаат различни прилики, во употреба, ние треба да се обрне внимание на соодветноста на прилика, да се обезбеди ефектот на поврзување, не предизвикува поврзување неуспех, што резултира со оштетување на водата прстенест вакуум пумпа
Време на објавување: Јан-07-2023 година
